【技术实现步骤摘要】
一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构
本专利技术属于半导体晶圆清洗领域,具体地说是一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构。
技术介绍
目前,在半导体工艺中,对晶圆夹持方式主要为真空吸附。现有的这种真空吸附晶圆的方式对晶圆表面清洗的技术要求高,不能采用接触真空吸附方式进行夹持,现有的技术不能完全满足需求。
技术实现思路
为了克服现有采用真空吸附夹持晶圆存在的上述问题,本专利技术的目的在于提供一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构。该夹持机构解决了在全自动清洗中,晶圆边缘夹持的问题,能够实现对晶圆边缘的自动夹持与松开。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本专利技术包括夹持器、顶针及升降气缸,其中夹持器为多个、沿离心机单元中承片台的边缘均布,所述离心机单元中机壳外安装有数量与所述夹持器数量相等的升降气缸,每个所述升降气缸的输出端均设有顶针;所述夹持器包括弹簧套筒、弹簧、限位套及弹簧导向杆,该限位套安装在所述承片台的边缘,所述弹簧套筒罩在限位套外,所述弹簧导向杆位于弹簧套筒的内部、通过所述限位套支撑,所述弹簧套设在弹簧导向杆上,两端分别抵接于所述弹簧套筒及弹簧导向杆;所述升降气缸驱动顶针升降,所述顶针由限位套穿过、带动弹簧导向杆升降,放置在所述承片台上的晶圆的边缘由所述弹簧导向杆夹持。其中:所述弹簧套筒朝向晶圆的内侧沿轴向开有条形口,所述弹簧导向杆的下端沿晶圆径向向内侧延伸、形成延伸部,所述延伸部由所述条形口穿出,并设有橡胶垫;所述弹簧套筒、弹簧导向杆、限位套及顶针的轴向中心线共线,所述弹簧导向杆通过由升降气缸驱动的顶针的带动沿轴向升降;所述弹簧导向杆的上端由弹簧套筒穿出,下端与所 ...
【技术保护点】
一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构,其特征在于:包括夹持器(1)、顶针(3)及升降气缸(4),其中夹持器(1)为多个、沿离心机单元中承片台(6)的边缘均布,所述离心机单元中机壳外安装有数量与所述夹持器(1)数量相等的升降气缸(4),每个所述升降气缸(4)的输出端均设有顶针(3);所述夹持器(1)包括弹簧套筒(8)、弹簧(9)、限位套(10)及弹簧导向杆(11),该限位套(10)安装在所述承片台(6)的边缘,所述弹簧套筒(8)罩在限位套(10)外,所述弹簧导向杆(11)位于弹簧套筒(8)的内部、通过所述限位套(10)支撑,所述弹簧(9)套设在弹簧导向杆(11)上,两端分别抵接于所述弹簧套筒(8)及弹簧导向杆(11);所述升降气缸(4)驱动顶针(3)升降,所述顶针(3)由限位套(10)穿过、带动弹簧导向杆(11)升降,放置在所述承片台(6)上的晶圆(2)的边缘由所述弹簧导向杆(11)夹持。
【技术特征摘要】
1.一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构,其特征在于:包括夹持器(1)、顶针(3)及升降气缸(4),其中夹持器(1)为多个、沿离心机单元中承片台(6)的边缘均布,所述离心机单元中机壳外安装有数量与所述夹持器(1)数量相等的升降气缸(4),每个所述升降气缸(4)的输出端均设有顶针(3);所述夹持器(1)包括弹簧套筒(8)、弹簧(9)、限位套(10)及弹簧导向杆(11),该限位套(10)安装在所述承片台(6)的边缘,所述弹簧套筒(8)罩在限位套(10)外,所述弹簧导向杆(11)可沿轴向方向升降地位于弹簧套筒(8)的内部,在最低时下端通过所述限位套(10)支撑,所述弹簧套筒(8)朝向晶圆(2)的内侧沿轴向开有条形口(14),所述弹簧导向杆(11)的下端沿晶圆径向向内侧延伸、形成延伸部,该延伸部由所述条形口(14)穿出;所述弹簧(9)套设在弹簧导向杆(11)上,上端抵接于所述弹簧套筒(8)顶部的内表面,下端抵接于弹簧导向杆(11)的下端;所述升降气缸(4)驱动顶针(3)升降,所述顶针(3)由限位套(10)穿过、带动弹簧导向杆(11)升降,放置在所述承片台(6)上的晶圆(2)的边缘由所述弹簧导向杆(11)夹持。2.按权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:耿克涛,李晓飞,
申请(专利权)人:沈阳芯源微电子设备有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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