检查装置以及异常检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供检查装置以及异常检测方法。根据一个实施方式，检查装置具备：设置部，用于设置被检查物；振动检测部，输出与上述被检查物的振动相对应的信号；判断部，基于上述检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，并且对上述被检查物相对于上述设置部设置时的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成对上述设置部的构成要素各自的固有振动频率的振动功率进行表示的振动信息，基于上述振动信息来判断上述检查装置有无异常；以及传递部，将上述检测部的输出信号朝上述判断部传递。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】关联申请的引用:本申请以2014年3月19日提交的在先日本专利申请2014-056319号的优先权为基础，且要求其优先权利益，其全部内容通过弓I用而包含于本申请。
此处说明的实施方式涉及检查被检查物的检查装置、以及对检查被检查物的检查装置的异常进行检测的异常检测方法。
技术介绍
例如，在制造工序内的检查工序等中，使用各种传感器进行品质检查。作为一例，在检测振动的装置中，使用加速度传感器等，基于所检测到的振动实施品质的检查。这种检查装置具有:对产品产生的振动进行检测的例如加速度传感器等的振动检测部；基于振动检测部的检测结果来判断有无异常的判断部；以及将振动检测部的检测结果朝判断部传递的传递布线。在产品存在异常的情况下，例如具有进行旋转的部件的产品为，当存在异常时，在动作时会产生异常的振动。当振动检测部检测到异常的振动时、即检测到在通常动作时不会产生的振动时，判断装置判断为产品存在异常。另一方面，在振动检测部发生故障的情况下，即便产品产生异常的振动，振动检测部也无法检测出该振动。或者，在传递布线例如发生断线等故障的情况下，无法将振动检测部的检测结果朝判断部传递。这样，即便产品产生异常的振动，在该异常的振动无法朝判断部传递的情况下，判断部判断为产品无异常。
技术实现思路
本专利技术要解决的课题在于，提供能够提高检测精度的。根据一个实施方式，检查装置具备:设置部，用于设置被检查物；振动检测部，输出与上述被检查物的振动相对应的信号；判断部，基于上述检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，并且对上述被检查物相对于上述设置部设置时的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成对上述设置部的构成要素各自的固有振动频率的振动功率进行表示的振动信息，并基于上述振动信息来判断上述检查装置有无异常；以及传递部，将上述检测部的输出信号朝上述判断部传递。专利技术的效果本专利技术能够提高的检测灵敏度。【附图说明】图1是表示第一实施方式的检查装置的立体图。图2是表示该检查装置的动作的流程图。图3是具体地表示该流程图的步骤STlO的流程图。图4是表示该检查装置的控制装置对第二夹持部发送控制信号以使其从解除位置移动至夹持位置之后、振动检测传感器输出的信号的图表。图5是表示振动信息的图表。图6是表示对该振动信息与第一允许范围以及第二允许范围进行比较的情况的图表。图7是表示该振动检测传感器或者该检查装置的传递布线存在异常的情况下的振动信息的图表。图8是表示第二实施方式的检查装置的立体图。图9是表示该检查装置的动作的流程图的步骤STlO的流程图。【具体实施方式】以下，参照附图对多个实施例进行说明。在附图中，相同符号表示相同或者类似的部分。参照图1至7对第一实施方式的进行说明。图1是表示本实施方式的检查装置10的立体图。作为一例，本实施方式的异常检测方法是对检查装置10的异常进行检测的方法。检查装置10形成为，能够对被检查物的一例即产品5动作时产品产生的振动进行检测，并能够基于检测结果来判断产品有无异常。如图1所示，检查装置10具有:振动测定器(设置部)20，形成为用于设置产品5，并且能够测定产品5的动作时的振动；输送装置30，形成为能够将产品5输送至振动测定器20的附近；机械手40，形成为能够将产品5从输送装置30移动至振动测定器20 ;通报装置50，具有形成为能够点亮的灯；控制装置(判断部)60，形成为能够基于来自振动测定器20的信号进行各种判断，并且形成为能够控制输送装置30、机械手40以及通报装置50的动作；以及存储部70，存储表示振动测定器20的异常时的状态的信息。振动测定器20具有:振动检测台21，形成为能够载放产品5 ;卡盘装置22，设置于振动检测台21，形成为能够将产品5固定于振动检测台21 ;振动检测传感器(振动检测部)23，形成为能够输出与振动检测台21的振动相对应的信号；以及传递布线(传递部)24，将振动检测传感器23的输出信号朝控制装置60传递。振动检测台21具有:载台25，具有用于设置产品5的设置面28 ;多个腿部26，支承载台25 ;以及减振橡胶27，设置在腿部26与载台25之间。载台25具有用于载放产品5的设置面28。腿部26例如通过螺栓29连结固定于载台25的下表面。螺栓29是将腿部26固定于载台25的固定构件的一例。减振橡胶27设置在设置面6与腿部26之间。设置面6是用于设置振动测定器20的面。减振橡胶27与设置面6以及腿部26接触。减振橡胶27形成为，能够吸收从设置面6朝向振动检测台21的振动，防止该振动朝振动检测台21传递。卡盘装置22具有:第一夹持部22a，固定于载台25 ；以及第二夹持部22b，以能够相对于第一夹持部22a移动的方式支承于设置面28。第二夹持部22b形成为能够在夹持位置与解除位置之间移动。夹持位置是能够在第二夹持部22b与第一夹持部22a之间夹持被检查物的位置。解除位置是相对于夹持位置从第一夹持部22a离开的位置，是解除在与第一夹持部22a之间夹持被检查物的位置。振动检测传感器23设置在设置面28上。振动检测传感器23作为一例是加速度传感器，振动检测传感器23形成为能够检测振动检测台21的振动，并输出与该振动相对应的信号。传递布线24形成为能够将振动检测传感器23的输出信号朝控制装置60传递。输送装置30具有:环形状的输送带31，用于载放产品5 ;以及驱动装置32，形成为能够使输送带31沿其周方向进行旋转。驱动装置32例如是电动马达。机械手40形成为，能够把持输送带31上的产品5，并能够将所把持的产品5移动至设定在振动检测台21的设置面28上的产品设置位置。通报装置50具有:第一灯51，形成为在振动检测传感器23或者传递布线24存在异常的情况下能够点亮；第二灯52，形成为在腿部26存在异常的情况下能够点亮；以及第三灯53，形成为在第二夹持部22b存在异常的情况下能够点亮。控制装置60形成为，能够驱动输送装置30的驱动装置32、卡盘装置22的第二夹持部22b、以及机械手40。此外，控制装置60形成为，能够基于由设置于设置面28的产品5的动作所引起的振动检测传感器23的输出结果，来判断产品5有无异常。此外，控制装置60形成为，能够基于振动检测传感器23的输出结果，来判断振动检测传感器23或者传递布线24有无异常。具体而言，控制装置60形成为，能够通过对振动检测传感器23的输出信号进行傅里叶变换，由此制作对振动测定器20的构成要素的固有振动频率的振动功率进行表示的振动信息。在振动信息中，在振动测定器20的各构成要素的固有振动频率中，振动功率成为峰值。该固有振动频率是构成为振动测定器20的状态下的各构成要素的固有振动频率，而不是被分解的状态下的各构成要素的固有振动频率。另外，之后说明的图5所示的振动信息表示:以振动测定器20的构成要素的一例、即腿部26的固有振动频率以及第二夹持部22b的固有振动频率为代表，在这些固有振动频率中，振动功率为峰值。控制装置60将振动信息所表示的振动功率与后述的阈值进行比较，并基于比较结果来判断振动检测传感器23或者传递布线24有无异常。此外，控制装置60形成为，能够对腿部26、第二夹持部22b有无异常进行判断。对腿部26有无异常的判断进行具体说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查装置，其特征在于，具备：设置部，用于设置被检查物；振动检测部，输出与上述被检查物的振动相对应的信号；判断部，基于上述检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，并且对上述被检查物相对于上述设置部设置时的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成对上述设置部的构成要素各自的固有振动频率的振动功率进行表示的振动信息，并基于上述振动信息来判断上述检查装置有无异常；以及传递部，将上述检测部的输出信号朝上述判断部传递。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：曾根聪史，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP