使用集成MEMS开关的pMUT阵列制造技术

描述了可开关微机械转换器阵列，其中微电机械系统(MEMS)开关或继电器与转换器元件单片集成。在实施方式中，MEMS开关被实施在与转换器阵列相同的基板，以实施一个或多个逻辑、寻址或转换器控制功能。在实施方式中，阵列的每个转换器元件是耦合到至少一个MEMS开关的压电元件以在阵列内提供元件级寻址。在某些实施方式中，在转换器中使用的相同的压电材料被用在MEMS开关中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施方式主要涉及压电转换器阵列，且更具体地涉及微电机械(MEM)开关2D压电转换器阵列。
技术介绍
转换器阵列在许多应用中被使用。例如喷墨打印机或3D打印机的印刷头是一种普遍应用。在超音速成像中也可以发现有应用转换器阵列。转换器阵列经常使用电容式或压电转换器元件。通常，压电转换器元件包括压电膜，其能够响应于时变驱动电压而发生膜的机械偏向。对于印刷头，该膜以可控制方式被驱动以喷出墨水或其他流体，对于超音速压电转换器设备来说该膜被驱动以在与转换器元件的被暴露的外表面接触的传播介质(例如，空气、水或体组织)中生成高频压波。该高频压波能够传播到其他介质。同样的压电膜还能够从传播介质接收反射的压波并将接收到的压波转变成电信号。电信号能够与驱动电压信号一起被处理以得到关于在传播介质中密度变化或弹性模数的信息。虽然使用压电膜的许多转换器设备可以通过机械地将大压电材料切成小块或通过注塑灌注有压电陶瓷晶体的载体材料来形成，但是使用各种微机械技术(例如，材料处置，光刻图形，蚀刻特征成形等)这些设备能被有利地低价制造达到超高尺寸容差，通常称为压电微机械转换器(PMUT)，且更具体地当本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电微机械转换器(pMUT)阵列，包括：转换器基板；设置在所述转换器基板的第一区域上的多个压电转换器；以及耦合到所述多个转换器的多个MEMS开关，其中所述MEMS开关的状态控制对所述多个压电转换器中单独的转换器的接入。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·哈贾蒂，
申请(专利权)人：富士胶片戴麦提克斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US