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使用集成MEMS开关的pMUT阵列制造技术
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下载使用集成MEMS开关的pMUT阵列的技术资料
文档序号:12065603
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描述了可开关微机械转换器阵列,其中微电机械系统(MEMS)开关或继电器与转换器元件单片集成。在实施方式中,MEMS开关被实施在与转换器阵列相同的基板,以实施一个或多个逻辑、寻址或转换器控制功能。在实施方式中,阵列的每个转换器元件是耦合到至少...
该专利属于富士胶片戴麦提克斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片戴麦提克斯公司授权不得商用。
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