【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及干燥装置
,具体而言,涉及一种干燥器。
技术介绍
多晶硅是一种超高纯材料,其纯度为9N-1 IN。冶金级硅粉经过一系列的物理、化学过程提炼,便可得到多晶硅。由于冶金级硅粉纯度不高,含有铁、铝、钙、钛等金属元素,在多晶硅生产过程中难免将粉尘及金属杂质带入高纯系统中,这些粉尘及金属杂质对高纯多晶硅的制备产生一定的影响。因此,为了减少这些影响,在多晶硅制备工艺中的四氯化硅冷氢化系统、三氯氢硅合成系统或精馏提纯系统适当位置排放一定量的氯硅烷残液,残液含有大量的氯硅烷,还含有细微的硅粉和金属化合物。因含有粉尘及金属化合物,氯硅烷残液容易堵塞设备和管道,而且回收困难。若此部分液体直接外排处理,一方面造成氯硅烷原料的损失,更重要的是氯硅烷属于有毒物质,与空气或水接触后,形成酸雾,造成环境污染。2011年,严大洲等人提出了一种用于处理含有四氯化硅的溶液的方法,该方法是将四氯化硅残液经过蒸发装置蒸发后得到四氯化硅蒸汽和残液,四氯化硅蒸汽经过湿法除尘、冷凝后得到纯净的四氯化硅。此方法解决了残液回收的问题。干燥器是实现残液回收的重要设备,需要长期连续稳定运 ...
【技术保护点】
一种干燥器,其特征在于,包括:壳体(10),所述壳体(10)围设形成干燥腔(11);壳套(20),所述壳套(20)围设在所述壳体(10)的外周并与所述壳体(10)之间形成第一加热空腔(21),所述壳套(20)上设置有与所述第一加热空腔(21)连通的蒸汽口(22);搅拌加热组件(30),所述搅拌加热组件(30)设置在所述干燥腔(11)内以对所述干燥腔(11)内的物料进行搅拌和加热;驱动装置(40),所述驱动装置(40)用于驱动所述搅拌加热组件(30)在所述干燥腔(11)内转动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:曾晓国,万烨,严大洲,杨永亮,
申请(专利权)人:中国恩菲工程技术有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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