面发光激光器以及原子振荡器制造技术

本发明专利技术提供一种面发光激光器以及原子振荡器。面发光激光器能够提高电场分布相对于共振部的对称性。面发光激光器(100)包括：基板、被设置于上述基板上方的第一反射镜层(20)、被设置于第一反射镜层上方的活性层、被设置于上述活性层上方的第二反射镜层、电连接于第一反射镜层并被设置为相互分离的第一电极(80)及第二电极(81)、及电连接于第二反射镜层的第三电极(82)，第一反射镜层、上述活性层以及上述第二反射镜层构成层叠体(2)，层叠体(2)具有使在上述活性层产生的光共振的共振部，在俯视时，设置有包围层叠体(2)的绝缘层(70)，在俯视时，绝缘层被设置于第一电极(80)与第二电极(81)之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及面发光激光器以及原子振荡器。
技术介绍
面发光激光器(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser垂直腔面发射激光器)例如使用为利用了作为量子干涉效应之一的CPT(Coherent Populat1n Trapping相干布居俘获)的原子振荡器的光源。例如在专利文献I中记载有具备构成为包括第一反射镜的一部分、活性层、以及第二反射镜的柱状部(垂直共振器)、被设置于第一反射镜上的电极、以及被设置于第二反射镜上的电极的面发光激光器。专利文献1:日本特开2007-165501号公报然而，在专利文献I所记载的面发光激光器中，存在被设置于第一反射镜上的电极仅被配置于垂直共振器的一侧，从而相对于垂直共振器的电场分布成为非对称的情况。若相对于垂直共振器的电场分布成为非对称，则例如存在从垂直共振器射出的激光的强度成为非对称的情况。
技术实现思路
本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于提供一种能够提高电场分布相对于共振部的对称性的面发光激光器。另外，本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于提供一种包括上述面发光激光器的原子振荡器。本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种面发光激光器，其特征在于，包括：基板；第一反射镜层，其被设置于所述基板上方；活性层，其被设置于所述第一反射镜层上方；第二反射镜层，其被设置于所述活性层上方；第一电极以及第二电极，它们电连接于所述第一反射镜层，并被设置为相互分离；以及第三电极，其电连接于所述第二反射镜层，所述第一反射镜层、所述活性层、以及所述第二反射镜层构成层叠体，所述层叠体具有使在所述活性层中产生的光共振的共振部，在俯视时，设置有包围所述层叠体的绝缘层，在所述俯视时，所述绝缘层被设置于所述第一电极与所述第二电极之间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：竹中敏，仓知祐司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP