感光性树脂组合物、感光性膜以及抗蚀图案的形成方法技术

本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)成分，具有酚性羟基的树脂；(B)成分，具有2个以上环氧乙烷环的脂肪族或脂环式环氧化合物；(C)成分，光敏性酸产生剂；以及(D)成分，溶剂，相对于上述(A)成分100质量份，含有上述(B)成分20～70质量份。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
目前，感光性树脂组合物在各种半导体和微细加工用途中被广泛使用。在这样的 用途中，利用活性光线对基板上的感光性树脂组合物进行曝光后，用适当的显影液进行处 理，从而选择性地去除曝光部或未曝光部，形成抗蚀图案。该处理中，通过诱发感光性树脂 组合物的溶解性变化来实现光加工。感光性树脂组合物可以为正型或负型的任一种，进行 使用活性光线的曝光是为了根据其用途分别增加或减少对显影液的溶解性。 以往，作为这些材料系列，使用组合了丙烯酸系光固化剂和环氧系热固化剂的材 料。例如，在专利文献1和3中，公开了含有酚醛清漆树脂、环氧树脂、光酸产生剂的感光性 树脂组合物，在专利文献4中，公开了含有具有羧基的碱溶性环氧化合物和光阳离子聚合 引发剂的感光性树脂组合物。此外，在专利文献2中，记载了与半导体的表面保护膜或层间 绝缘膜有关的感光性树脂组合物。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :日本特开平09-087366号公报 专利文献2 :日本特开2003-215802号公报 专利文献3 :日本特表2007-522531号公报 专利文献4 :国际公开第2008/010521号
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题 然而，伴随着电子设备的高速化，配线板材料的高密度化逐年发展。与此相伴，对 于配线板中所使用的阻焊膜（solder resist)和层间绝缘膜也提高了微细加工的要求。因 此，对于感光性树脂组合物，要求感光性、耐热性、电特性、机械特性等优异。然而，就上述现 有技术文献中所记载的感光性树脂组合物而言，虽然绝缘可靠性等优异，但在厚膜化时难 以实现高分辨率化。例如，就专利文献1中所记载的感光性树脂组合物而言，涂膜的厚度为 50 ym时，只能得到间距宽为40 ym左右的分辨力。此外，就专利文献2中所记载的感光性 树脂组合物而言，涂膜的厚度为10 y m时，虽然能够得到间距宽为5 y m左右的良好的分辨 力，但在厚膜化时无法得到良好的分辨力。 本专利技术的目的在于提供一种感光性树脂组合物，其解决如上所述的现有技术所伴 随的问题，即使是形成了具有超过20 ym的厚度的涂膜的情况，分辨力和耐热性也优异。进 而，本专利技术的目的在于提供使这样的感光性树脂组合物固化而成的固化物（绝缘膜）。 用于解决技术问题的方法 本专利技术人等为了解决上述问题而进行深入研宄，结果发现了具有优异的特性的感 光性树脂组合物。即，本专利技术的感光性树脂组合物的特征在于，含有：(A)成分，具有酚性羟 基的树脂；(B)成分，具有2个以上环氧乙烷环的脂肪族或脂环式环氧化合物；（C)成分，光 敏性酸产生剂；以及（D)成分，溶剂，相对于上述（A)成分100质量份，含有上述（B)成分 20~70质量份。 上述⑶成分优选具有2个以上缩水甘油醚基，进一步优选具有3个以上缩水甘 油醚基。 本专利技术还提供一种感光性膜，其具备支撑体和设置于该支撑体上的由上述感光性 树脂组合物形成的感光层。 进而，本专利技术提供一种上述感光性树脂组合物的固化物。该固化物可以适合用作 阻焊膜或层间绝缘膜。 本专利技术提供一种抗蚀图案的形成方法，其包括：将上述感光性树脂组合物涂布在 基材上，对所涂布的感光性树脂组合物进行干燥而形成感光层的工序；将上述感光层曝光 为规定的图案，曝光后进行加热处理（以下，也将该加热处理称为"曝光后烘烤"。）的工序； 以及对加热处理后的感光层进行显影，对所得到的树脂图案进行加热处理的工序。 进而，本专利技术提供一种抗蚀图案的形成方法，其包括：在基板上形成上述感光性膜 的感光层的工序；将上述感光层曝光为规定的图案，曝光后进行加热处理的工序；以及对 加热处理后的感光层进行显影，对所得到的树脂图案进行加热处理的工序。 专利技术效果 在包含需要高密度互连体的先进的电子封装体的制作的用途中，要求能够形成高 长宽比（被定义为"所形成的像的高度/所形成的像的宽度"）的抗蚀图案的感光性树脂组 合物。根据本专利技术的感光性树脂组合物，即使是形成了具有超过20 y m的厚度的涂膜的情 况，分辨力和耐热性也优异，能够形成高长宽比的抗蚀图案。【附图说明】 图1是表示本专利技术一个实施方式的多层印刷配线板的制造方法的示意图。 图2是表示使用实施例4的感光性树脂组合物形成树脂图案时的金属显微镜照 片。 图3是表示使用实施例4的感光性树脂组合物形成树脂图案时的扫描式电子显微 镜照片。 图4是表示使用比较例3的感光性树脂组合物形成树脂图案时的金属显微镜照 片。【具体实施方式】 以下，对本专利技术的一个实施方式进行具体说明，但本专利技术并不限于此。 本实施方式的感光性树脂组合物含有：(A)具有酚性羟基的树脂、（B)具有2个以 上环氧乙烷环的脂肪族或脂环式环氧化合物、（C)光敏性酸产生剂、以及（D)溶剂。此外， 本实施方式的感光性树脂组合物根据需要也可以含有（E)成分：交联剂、（F)成分：增敏剂 等。 关于根据本实施方式的感光性树脂组合物能够形成高长宽比的树脂图案的理由， 本专利技术人等认为如下。首先，对于未曝光部而言，通过添加（B)成分，（A)具有酚性羟基的 树脂相对于显影液的溶解性大幅提高。其次，对于曝光部而言，通过由（C)光敏性酸产生剂 产生的酸，不仅（B)成分中的2个以上环氧乙烷环进行反应而交联，而且与（A)成分的酚性 羟基进行反应，组合物相对于显影液的溶解性大幅降低。由此，本专利技术人等推测，在进行显 影时，未曝光部和曝光部相对于显影液的溶解性差异变得显著，得到充分的分辨力，此外， 通过显影后图案的加热处理，（B)成分的交联、与（A)成分的反应进一步进行，得到具有充 分的耐热性的树脂图案。 <⑷成分> 作为（A)成分即具有酚性羟基的树脂，没有特别限定，但优选为可溶于碱水溶液 的树脂，特别优选为酚醛清漆树脂。这样的酚醛清漆树脂可以通过在催化剂的存在下使酚 类与醛类缩合而得到。 作为上述酚类，例如可以举出苯酚、邻甲酚、间甲酚、对甲酚、邻乙基苯酚、间乙 基苯酚、对乙基苯酚、邻丁基苯酚、间丁基苯酚、对丁基苯酚、2, 3-二甲苯酚、2, 4-二甲苯 酚、2, 5-二甲苯酚、2, 6-二甲苯酚、3, 4-二甲苯酚、3, 5-二甲苯酚、2, 3, 5-三甲基苯酚、 3, 4, 5-三甲基苯酚、邻苯二酚、间苯二酚、邻苯三酚、a-萘酚、萘酚等。 此外，作为上述醛类，例如可以举出甲醛、低聚甲醛、乙醛、苯甲醛等。 作为这样的酚醛清漆树脂的具体例，可以举出苯酚/甲醛缩合酚醛清漆树脂、甲 酚/甲醛缩合酚醛清漆树脂、苯酚-萘酚/甲醛缩合酚醛清漆树脂等。 此外，作为酚醛清漆树脂以外的（A)成分，例如可以举出聚羟基苯乙烯及其共聚 物、苯酚-亚二甲苯基二甲醇缩合树脂、甲酚-亚二甲苯基二甲醇缩合树脂、苯酚-二环戊 二烯缩合树脂等。（A)成分可以单独使用1种或者将2种以上混合使用。 关于（A)成分，从所得到的固化膜的分辨力、显影性、热冲击性、耐热性等观点考 虑，重均分子量优选小于或等于100000,更优选为1000~80000,进一步优选为2000~ 50000,特别优选为2000~20000,极其优选为5000~15000。 在本实施方式的感光性树脂组合物中，相对于排除（D)成分的感光性树脂组合物 的总量100质量份，⑷成分的含量优选为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其含有：(A)成分，具有酚性羟基的树脂；(B)成分，具有2个以上环氧乙烷环的脂肪族或脂环式环氧化合物；(C)成分，光敏性酸产生剂；以及(D)成分，溶剂，相对于所述(A)成分100质量份，含有所述(B)成分20～70质量份。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩下健一，村上泰治，赖华子，加藤哲也，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP