【技术实现步骤摘要】
本技术属于微电子领域，尤其涉及一种微小高度的检测系统。
技术介绍
对于微电子领域，微小高度的测量属于实际技术中的常见问题，现有的微小高度的测量方法主要采用线性角度光源测量方法，即三角原理的测量，其原理具体如下:如图1所示，如果要测量如图1所示的B的高度，无法用普通的卡尺等测量；故一般采用角度光源，用三角原理测量高度；如图1所示:一个线性光源，以一个角度a照射到被测物体表面。在物体表面和标准平面都产生投影。从待测物体上方相机观察投影，会产生如右图2所示的线性直线；在物体表面的投影与在标准平面的投影间隔A的两条直线；分别是被测物体上方的线条和标准平面的线条。根据三角函数关系，待测物体高度B =A*tag(a);该测量在微小物体高度测量上是标准计算方法。在实现现有技术的方案中，发现现有技术存在如下技术问题:为了提高测量精度，测量的线一般采用单束线条激光，但是，对需要测量区域较大的情况下，则需要多束激光，或者其它方式的条纹光。多个光栅之间容易出现计算光栅的配对问题，所以，在测试前都采用测量标准高度量块，获得物体表面光栅在不同高度下坐标位置关系。但是，条纹光栅测量...
【技术保护点】
一种微小高度的检测系统，其特征在于，所述系统包括：数字相机和阵列光源装置；其中，该阵列光源装置与待检测物体表面呈一斜角；该阵列光源装置从内到外依次包括：高亮度光源、平行光透镜和高分辨率液晶屏；该阵列光源装置还包括：液晶片驱动电路。
【技术特征摘要】
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