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本实用新型适用微电子领域，提供了一种微小高度的检测系统，所述系统包括：数字相机和阵列光源装置；其中，该阵列光源装置与待检测物体表面呈一斜角；该阵列光源装置从内到外依次包括：高亮度光源、平行光透镜和高分辨率液晶屏；该阵列光源装置还包括：液晶片...
该专利属于罗艺所有，仅供学习研究参考，未经过罗艺授权不得商用。

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