工程变更临界点的确认系统及确认方法技术方案

本发明专利技术揭示了一种工程变更临界点的确认系统及确认方法，所述确认系统包括产品成熟信息系统，集成系统及客户端；所述产品成熟信息系统作为产品成熟度的信息知识库，维护在生产线上生产的产品，并定义产品成熟度的等级状态；所述客户端通过集成系统与所述产品成熟信息系统互通。在该确认系统中，利用集成系统从客户端获取信息，在产品成熟信息系统中设置相关产品的产品成熟度的等级状态，并将设置产品成熟度的等级状态后的产品信息传递至客户端，从而找到有效的工艺变更的临界点，改善了生产效率，降低了风险。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体产品工艺管控体系
，特别是涉及以产品的成熟度作为。
技术介绍
半导体的工艺流程及其复杂，变更各种参数对制程影响的范围较大，一个错误的变更很可能会影响产品的良率，导致生产效率的低下，降低客户满意度。因此，工艺变更需要通过完整的体系和系统对其进行控制和评测。由于集成电路不断发展，产品不断更新换代，Fab (工厂)经常会研发生产很多新产品。由于制造的过程相当复杂，一个新的产品在生产过程中会频繁发生工程变更，从而不断的改善制程，达到提升良率及生产效率的目的，使产品逐渐成熟。产品初期研发的工艺变更需要完整的体系和系统控制，否则会导致研发生产周期变长。产品初期的工艺变更具有影响小，频率高的特点，需要通过不断的工程试验，调整参数，及时找出工艺流程中存在的问题，通过工艺变更不断的使得工艺流程符合标准。稳定成熟的产品工艺变更具有影响大，频率低的特点。因此，需要找到有效的工艺变更的临界点，不仅能够提闻效率又能有效控制风险。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种，以改善生产效率，降低风险。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种工程变更临界点的确认系统，包括:产品成熟信息系统，集成系统及客户端；所述产品成熟信息系统作为产品成熟度的信息知识库，维护在生产线上生产的产品，并定义产品成熟度的等级状态；所述客户端通过集成系统与所述产品成熟信息系统互通。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认系统，所述产品成熟度的等级状态包括:产生状态，表示新的产品，未达到工艺变更系统化的临界点；冻结状态，表示成熟产品，达到工艺变更系统化的临界点；解冻状态，表示将成熟产品返回到工艺变更且不用系统化。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认系统，所述客户端包括报表系统，制造执行系统及工艺变更需求系统。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认系统，所述集成系统定期从报表系统获得各个产品的当日的批数量，统计该产品的总产量，并更新信息知识库。本专利技术提供一种工程变更临界点的确认方法，包括；利用集成系统从客户端获取信息，在产品成熟信息系统中设置相关产品的产品成熟度的等级状态，并将设置产品成熟度的等级状态后的产品信息传递至客户端。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，产品成熟度的等级状态包括:产生状态，表示新的产品，未达到工艺变更系统化的临界点；冻结状态，表示成熟产品，达到工艺变更系统化的临界点；解冻状态，表示将成熟产品返回到工艺变更且不用系统化。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，所述客户端包括报表系统，所述集成系统从报表系统获取产品信息，当产品达到设定规格时，设置为冻结状态。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，所述客户端还包括制造执行系统，所述集成系统将产品成熟度的等级状态传递至制造执行系统，进行自动化的处理。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，所述客户端还包括工艺变更需求系统，所述集成系统将产品成熟度的等级状态传递至工艺变更需求系统，以决定产品的工程变更流程管控。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，若设置为冻结状态，则之后该产品的工程变更需要通过FECP的系统流程管控。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，对于设置为冻结状态的产品，能够根据工艺需求而被设置为解冻状态。可选的，对于所述的工程变更临界点的确认方法，所述解冻状态存在一解冻期限，设置为解冻状态的产品在该解冻期限内回归冻结状态。与现有技术相比，本专利技术提供的中，通过广品成熟?目息系统对广品的成熟度定义等级状态，使得客户端能够得知相关广品的等级状态，从而找到有效的工艺变更的临界点；进一步的，所述客户端还包括制造执行系统，所述集成系统将产品成熟度的状态传递至制造执行系统，从而进行自动化的处理，提高了生产效率；进一步的，所述客户端还包括工艺变更需求系统，所述集成系统将产品成熟度的状态传递至工艺变更需求系统，以决定产品的工程变更流程管控，从而有效的控制了风险。【附图说明】图1为本专利技术中工程变更临界点的确认系统的方块图；图2为本专利技术中工程变更临界点的确认方法的流程图。【具体实施方式】下面将结合示意图对本专利技术的进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术，而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本专利技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本专利技术。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。本专利技术的核心思想在于，提供一种，所述工程变更临界点的确认系统包括:产品成熟信息系统，集成系统及客户端；所述产品成熟信息系统作为产品成熟度的信息知识库，维护在生产线上生产的产品，并定义产品成熟度的等级状态；所述客户端通过集成系统与所述产品成熟信息系统互通。所述工程变更临界点的确认方法包括:利用集成系统从客户端获取信息，在产品成熟信息系统中设置相关产品的产品成熟度的等级状态，并将设置产品成熟度的等级状态后的产品信息传递至客户端。以下列举所述的较优实施例，以清楚说明本专利技术的内容，应当明确的是，本专利技术的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本专利技术的思想范围之内。基于上述思想，下面提供工程变更临界点的确认系统当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工程变更临界点的确认系统，包括：产品成熟信息系统，集成系统及客户端；所述产品成熟信息系统作为产品成熟度的信息知识库，维护在生产线上生产的产品，并定义产品成熟度的等级状态；所述客户端通过集成系统与所述产品成熟信息系统互通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐梅，张哲，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31