本实用新型专利技术提供了一种密封阀门，包括：一气缸及一阀杆，所述气缸上设置有一凸出开口，所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸，所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动，所述气缸上设置有多个安全锁，所述安全锁均匀分布于所述凸出开口周围，所述安全锁位于所述气缸轴和所述气缸之间；所述气缸上还设置有两个进气管，第一进气管和第二进气管，所述第一进气管位于靠近所述凸出开口一端，所述第二进气管位于远离所述凸出开口一端，所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀，所述第二进气管上设置有第二气动阀。当所述密封阀门两侧的压力平衡时，所述密封阀门可以自由打开，当所述密封阀门两侧的压力不平衡时，所述密封阀门不能打开。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造
，尤其是一种密封阀门。
技术介绍
如图1所示，现有的密封阀门包括一气缸101及一阀杆102，所述气缸101上设置有一凸出开口 103，所述阀杆102通过一气缸轴104连接于所述气缸101，所述气缸轴104沿着所述凸出开口 103外表面移动，所述气缸101上还设置有两个进气管，第一进气管105和第二进气管105，所述第一进气管105位于靠近所述凸出开口 103—端，所述第二进气管106位于远离所述凸出开口 103—端。当通过所述第一进气管105向所述气缸101内充气，因为所述第一进气管105靠近气缸101设置所述凸出开口 103的一端，使得气缸101内靠近所述凸出开口 103—侧的气压增大，所述气缸101内靠近所述凸出开口 103—侧的气体挤压远离所述凸出开口 103一侧的气体，从而使得所述气缸轴104沿着所述凸出开口 103外表面向所述气缸101滑动，即所述气缸阀门打开。当通过所述第二进气管106向所述气缸101内充气，因为所述第二进气管106远离所述气缸101设置有所述凸出开口 103的一端，使得气缸101内远离所述凸出开口 103 —侧的气压增大，所述气缸101内远离所述凸出开口 103—侧的气体挤压靠近所述凸出开口 103—侧的气体，从而使得所述气缸轴104沿着所述凸出开口 103外表向背离所述气缸101的方向滑动，即所述气缸阀门关闭。在设备维修过程中，操作人员需要将密封阀门打开以排除故障。当遇到紧急情况，比如腔体中晶圆的位置发生偏移或者控制器无法获取机械手臂的具体位置时，需要通过数据输入输出口(D1，Data Input Output)设置将所述密封阀门打开以排除上述各种故障。但在实际操作过程中，数据输入输出口设置总是会忽略互锁，从而导致所述密封阀门被误打开，而导致与所述密封阀门连接的腔体内的晶圆爆裂。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种密封阀门，以解决腔体内的晶圆爆裂的问题。为了达到上述目的，本技术提供了一种密封阀门，包括:一气缸及一阀杆，所述气缸上设置有一凸出开口，所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸，所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动，所述气缸上还设置有第一进气管和第二进气管，所述第一进气管位于所述第二进气管靠近所述凸出开口的一侧，所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀，所述第二进气管上设置有第二气动阀。优选的，在上述的密封阀门中，所述气缸上还设置有多个安全锁，所述安全锁均匀分布于所述凸出开口周围，当所述密封阀门两侧压力不平衡时，所述安全锁位于所述气缸轴和所述气缸之间顶住所述气缸轴。优选的，在上述的密封阀门中，所述安全锁包括电磁线圈、弹簧及金属块，所述弹簧与所述金属块连接，所述金属块位于所述气缸轴与所述气缸之间顶住所述气缸轴。优选的，在上述的密封阀门中，所述密封阀门还包括第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器分别位于与所述密封阀门连接的两个腔体内。优选的，在上述的密封阀门中，所述密封阀门还包括一比较器，所述比较器分别连接于所述第一压力传感器、所述第二传感器和所述电磁线圈。 优选的，在上述的密封阀门中，所述安全锁的个数为三个。优选的，在上述的密封阀门中，所述气缸呈长方体形，所述凸出开口及所述安全锁位于所述气缸的同一面上。优选的，在上述的密封阀门中，所述第一进气管和所述第二进气管位于所述气缸的同一面上。优选的，在上述的密封阀门中，所述凸出开口所在的气缸的一面与所述第一进气管所在的一面相互垂直。优选的，在上述的密封阀门中，所述凸出开口与所述气缸套均呈圆柱体形。在本技术提供的密封阀门中，当密封阀门两侧的压力平衡时，所述第二进气阀一直打开，所述气缸轴可以自由移动。当密封阀门两侧的压力不平衡时，所述第一进气阀打开，所述第二进气阀关闭，气体通过所述第一进气管和所述第二进气管同时进入所述气缸内，所述气缸内靠近所述凸出开口一端和背离所述凸出开口一端的压强相等，使得所述气缸轴不能向靠近所述气缸方向移动，即所述密封阀门不能打开，从而避免腔体内的晶圆爆裂。【附图说明】图1为现有技术中密封阀门的结构示意图；图2为本技术实施例中密封阀门的结构示意图；图3为本技术实施例中气缸的俯视图；图中:101-气缸；102-阀杆；103-凸出开口 ；104_气缸轴；105_第一进气管；106-第二进气管；201-气缸；202-阀杆；203_凸出开口 ；204_气缸轴；205_第一进气管；206_第二进气管；207_安全锁；208_第一气动阀；209_第二气动阀；210_电磁线圈；211_弹簧；212-金属块。【具体实施方式】下面将结合示意图对本技术的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。本技术提供了一种密封阀门，包括:一气缸201及一阀杆202，所述气缸201上设置有一凸出开口 203，所述阀杆通过一气缸轴204连接于所述气缸201，所述气缸轴204沿着所述凸出开口 203外表面移动，所述气缸201上设置有多个安全锁207，所述安全锁207均匀分布于所述凸出开口 203周围，当所述密封阀门两侧压力不平衡时，所述安全锁207位于所述气缸轴204和所述气缸201之间顶住所述气缸轴204。具体的，所述气缸201呈长方体形，所述凸出开口 203及所述安全锁207位于所述气缸201的同一面上。在本实施例中，所述安全锁207的个数为三个。在本技术的其他实施例中，所述安全锁207的个数还可以是2个、4个或者其他的数目，在本实施例中提供的3个已经可以起到很好的固定作用。进一步的，如图3所示，所述安全锁207包括电磁线圈210、弹簧211及金属块212，所述电磁线圈210与所述金属块212通过所述弹簧211连接，所述金属块212位于所述气缸轴204与所述气缸201之间。所述密封阀门还包括第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器分别位于与所述密封阀门连接的两个腔体内。所述密封阀门用于将两个腔体连接密封，当所述气缸轴202沿着所述凸出开口 203外表面向靠近所述气缸201的方向滑动时，所述密封阀门打开，使得所述密封阀门连接的两个腔体连通。当所述气缸轴202沿着所述凸出开口 203的外表面向背离所述气缸201的方向滑动时，所述密封阀门关闭，使得所述密封阀门连接的两个腔体隔离开来。所述当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种密封阀门，其特征在于，包括：一气缸及一阀杆，所述气缸上设置有一凸出开口，所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸，所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动，所述气缸上设置有第一进气管和第二进气管，所述第一进气管位于所述第二进气管靠近所述凸出开口的一侧，所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀，所述第二进气管上设置有第二气动阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周琦，计骏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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