【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种激光微加工设备系统,其特征在于:包括工控机(1)和与所述工控机(1)相接的运动控制卡(2)、激光调Q控制卡(5),所述运动控制卡(2)的输出端与轴驱动模块(3)相接,所述轴驱动模块(3)由用于驱动工作台X轴方向运动的X轴驱动模块(3‑1)、用于驱动工作台Y轴方向运动的Y轴驱动模块(3‑2)、用于驱动激光器Z轴方向运动的Z轴驱动模块(3‑3)和用于驱动激光器θ轴旋转运动的θ轴驱动模块(3‑4)构成,所述X轴驱动模块(3‑1)由X轴驱动器(3‑11)和X轴电动机(3‑12)构成,所述Y轴驱动模块(3‑2)由Y轴驱动器(3‑21)和Y轴电动机(3‑22)构成,所述Z轴驱动模块(3‑3)由Z轴驱动器(3‑31)和Z轴电动机(3‑32)构成,所述θ轴驱动模块(3‑4)由θ轴驱动器(3‑41)和θ轴电动机(3‑42)构成,所述X轴电动机(3‑12)和Y轴电动机(3‑22)均与工作台(4)连接,工作台(4)上的X轴光栅尺和Y轴光栅尺均与运动控制卡(2)电连接,所述Z轴电动机(3‑32)和θ轴电动机(3‑42)均与激光器(7)连接,激光器(7)上的Z轴光栅尺和θ轴光栅尺均与运动控制卡(2)电连接, ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:常利利,
申请(专利权)人:西安中科麦特电子技术设备有限公司,
类型:发明
国别省市:陕西;61
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