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本发明公开了一种激光微加工设备系统，包括工控机，轴驱动模块，运动控制卡和激光调Q控制卡，运动控制卡的输出端接有轴驱动模块，轴驱动模块由X轴驱动模块、Y轴驱动模块、Z轴驱动模块和θ轴驱动模块构成，轴驱动模块由伺服驱动器和伺服电动机构成，X轴电...
该专利属于西安中科麦特电子技术设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安中科麦特电子技术设备有限公司授权不得商用。

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