无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜制造技术

本发明专利技术公开了一种无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，该模块包含有一微处理单元、一无线广播单元、一天线单元、一电源管理单元及一流量端口，且天线单元通过无线广播单元与微处理单元连接，又电源管理单元亦与微处理单元连接，以提供整个模块所需的电力，再者该流量端口可用于接收一充气座对应流量计的流量信号。借此，可利用本发明专利技术无线传输模块检知充气座的气体流量，并以无线方式传递数据，且通过本发明专利技术的模块化设计，可有效减少信号线的使用量，如此不仅可便于装配，且进一步可易于查检与维修，能有效降低安装、维护与维修的成本。

【技术实现步骤摘要】
无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜
本专利技术关于一种无线传输的监控技术，具体而言涉及一种可简化配线的无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，借以能达到易于安装与检修的目的。
技术介绍
为了满足电子产品轻薄短小、高频、高效能等特性的发展，用于电子产品中的核心芯片就需微小化与具有高效能，而欲使芯片微小化、且具高效能，则需使芯片上的集成电路线径微细化。而在集成电路微细化及降低成本的考虑下，晶圆的尺寸越来越大，且每一晶圆上的芯片数量也越来越多，因此晶圆的价值不断提高，故制程中晶圆上的任何问题都可能造成极大的损失。然而，晶圆/光罩于制作、清洗、操作与储存、运输的过程中，主要置于移转容器内部或无尘室环境中，其均存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质在经长时间储存或曝光制程的加热后，会于晶圆或光罩表面产生微粒附着、结晶、又或雾化等现象，以光罩应用于黄光微影制程为例，其会直接影响到光罩的透光率，使光罩上的图形失真，造成晶圆良率降低的现象，且增加清理与改善的时间，降低生产效率，相对上也会提高营运的成本。为了解决这个问题，而在半导体制程中，运用自动化物料搬运系统（AutomatedMaterialHandlingSystem，AMHS），与隔离进出料标准机械接口（StandardMechanicalInterface，SMIF）设备，来进行光罩于不使用期间的维护与运送，不但能取代传统人工搬运、降低无尘室设备的建置与维护成本，还能提升晶圆/光罩的洁净度，达到超高生产良率，故近年来，AMHS与SMIF已被列为是国际间半导体厂的标准设备规范。根据上述技术概念，晶圆/光罩除了在制程使用中，于一般运送或保存期间，都必须将晶圆/光罩放置在一个高洁净度、气密性佳与低气体逸出（Outgassing）的密封式载具内，如晶圆传送盒（FOUP）、晶圆运输盒（FOSB）、光罩传送盒（ReticleSMIFPod，RSP），例如美国专利第US4532970号与美国专利第US4534389号的晶圆、光置密闭移转系统，有效防止晶圆与光罩受到污染，以确保周圆环境的微粒不致进入紧邻光罩与晶圆的环境中。而为了提高前述密封式载具的洁净度，通常会在前述密封式载具内充填干净的气体（例如氮气(N2)），使该载具内部形成正压，以减少有害气体渗入为害，然受限于载具气密性不足的问题，通常在一段时间后，即会因漏气而失去效果，故近年来业界进一步在其运送设备上或储存设备上设置一充气座，通过充气座不断的对各该密封式载具进行持续性的充气，以维持该密封式载具内部的洁净。然而现有的充气座因设计问题，其仅能进行持续性的充气，使气体不断的连续性排出，造成不必要的惰性气体浪费，不仅增加材料成本，同时大量的惰性气体排入工作环境中，也会对工作人员的健康造成威胁。另外充气座一般会在进气回路上设计流量计，以监控其充气的流量，避免因流量过大造成气流损伤晶圆/光罩、又或因流量过小无法形成正压，但一个大型的晶圆/光罩储存柜体通常具有数百个充气座，每一个充气座设一个流量计，其数量极为庞大，造成操作人员查检的不便，如将其以信号线逐一拉出至一个计算机系统上，虽可获得完整的数据，但其光要布置这些信号线就是极大的工程，且日后维护、维修上也是极大的不便，因此如何能让工作人员实时掌控每一个充气座的充气状况，同时具有易于安装与维护之效，是相当重要的课题。因此，本专利技术人乃借由长期从事相关产业的研发与制作经验，并依据前述的需求深入探讨，而由本专利技术经不断努力的改良，终于成功开发一种无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，借以克服现有晶圆/光罩充气座无法进行充气管理的不便与困扰。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种可监控充气状况的无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，借以使得每一个晶圆/光罩的载具在储存过程中，可确保其充气效率及有效性，进而提升制程良率。本专利技术的再一目的在于提供一种可降低成本的无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，使其能模块化设计，于检修时无需进行信号线的查修，有效降低维护与维修的成本。本专利技术的另一主要目的在于提供一种可提高效能的无线传输模块及应用其的充气座以及充气柜，其能供远程操控与管理，增进整体制程管理的效能，并可减少气材的浪费。为了达到上述目的，本专利技术提供一种无线传输模块，其包含有：一微处理单元；一无线广播单元，该无线广播单元连接于微处理单元；一天线单元连接该无线广播单元，以收发一信号；一流量端口，该流量端口连接该微处理单元，且该流量端口可供与一设于外部流量计选择性连接；一数据端口，该数据端口连接该微处理单元，且该数据端口可供与一设于外部的RFID读取组件选择性连接；一电源管理单元，该电源管理单元连接前述的微处理单元，该电源管理单元可提供无线传输模块所需的电源。该无线广播单元选自WiFi通讯模式。该无线广播单元选自蓝芽通讯模式。该微处理单元具有一气流控制单元，该气流控制单元连接一设于外部的控制驱动组件，控制驱动组件设于一外部的流量控制阀上，令控制驱动组件可带动流量控制阀调整流量大小。该控制驱动组件与该流量控制阀分别具有一可相互啮合的齿轮。一种充气座，其中包含：一基体，该基体上分设有至少一连接供气回路的充气阀件及至少一连接排气回路的排气阀件，基体上另设有一连接供气回路的流量计，且充气座的基体上设有一RFID的读取组件；及至少一所述的无线传输模块，固设于该基体中，对应地针对流经该充气座的气体产生并发射一信号。该基体的供气回路于流量计前方设有一流量控制阀。一种充气柜，其中包含：一柜体，该柜体具有至少一架杆，且架杆外部周围覆设有一侧板；至少一所述的充气座，固设于该柜体的架杆中；一无线接收模块，该无线接收模块设于柜体内部，用以无线接收并传递该信号予各该充气座的无线传输模块；及一处理模块，该处理模块设于柜体外部，且处理模块利用一信号连接该无线接收模块。一种充气柜，其中包含：一柜体，该柜体具有至少一架杆，且架杆外部周围覆设有一侧板；至少一所述的充气座，固设于该柜体的架杆中；一无线中继接收器，该无线中继接收器设于柜体内部，用以无线方式接收并传递该信号予各该充气座的无线传输模块；一无线接收模块，该无线接收模块设于柜体外部，用以无线方式接收并传递该信号予该无线中继接收器；及一处理模块，该处理模块设于柜体外部，且处理模块利用一信号连接该无线接收模块。采用上述方案后，本专利技术通过前述技术手段的展现，使得本专利技术无线传输模块在载具置于充气座上进行充气时，可通过流量端口实时检知充气座对载具的供气状况，且可通过无线广播单元实时传递至外部，而可供远程警示监控，使得晶圆/光罩的载具在储存过程中，能被有效的监控其储存状况，增进整体制程管理的效能，且可供远程操控与管理，并可减少气材的浪费。本专利技术的进一步有益效果是：本专利技术的充气座的无线传输模块以无线方式传递数据，而无需使用信号线，如此不仅可便于装配，且由于其模块化设计，故检修时无需进行信号线的查修，有效降低维护与维修的成本。附图说明图1为本专利技术无线传输模块的简要架构示意图；图2为本专利技术应用无线传输模块的充气座的外观示意图；图3为本专利技术应用无线传输模块的充气储存柜体的外观示意图；图4为本专利技术应用无线传输模块的充气储存柜体的线路配置示意图；图5为本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无线传输模块，其特征在于：其包含有：一微处理单元；一无线广播单元，该无线广播单元连接于微处理单元；一天线单元连接该无线广播单元，以收发一信号；一流量端口，该流量端口连接该微处理单元，且该流量端口可供与一设于外部流量计选择性连接；一数据端口，该数据端口连接该微处理单元，且该数据端口可供与一设于外部的RFID读取组件选择性连接；一电源管理单元，该电源管理单元连接前述的微处理单元，该电源管理单元可提供无线传输模块所需的电源。

【技术特征摘要】
1.一种无线传输模块，其特征在于：其包含有：一微处理单元；一无线广播单元，该无线广播单元连接于微处理单元；一天线单元连接该无线广播单元，以收发一信号；一流量端口，该流量端口连接该微处理单元，且该流量端口可供与一设于外部流量计选择性连接；一数据端口，该数据端口连接该微处理单元，且该数据端口可供与一设于外部的RFID读取组件选择性连接；一电源管理单元，该电源管理单元连接前述的微处理单元，该电源管理单元可提供无线传输模块所需的电源；所述微处理单元还具有一气流控制单元，该气流控制单元连接一设于外部的控制驱动组件，控制驱动组件设于一外部的流量控制阀上，令控制驱动组件可带动流量控制阀调整流量大小。2.如权利要求1所述的无线传输模块，其特征在于：该无线广播单元选自WiFi通讯模式。3.如权利要求1所述的无线传输模块，其特征在于：该无线广播单元选自蓝牙通讯模式。4.如权利要求1所述的无线传输模块，其特征在于：该控制驱动组件与该流量控制阀分别具有一可相互啮合的齿轮。5.一种充气座，其特征在于：包含：一基体，该基体上分设有至少一连接供气回路的充气阀件及至少一连接排气回路的排气阀件，基体上另设有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈明生，刘宏伟，郑友玄，
申请(专利权)人：陈明生，刘宏伟，郑友玄，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71