【技术实现步骤摘要】
空间滤波器的调试装置和调试方法
本专利技术涉及空间滤波器,特别是一种空间滤波器的调试装置和调试方法。
技术介绍
空间滤波器是激光装置中的核心光学系统。它用于抑制非线性效应,提高系统安全运行通量,对高频信息进行滤波截止,保护激光工作介质。通常情况下,激光装置中都有大量且不同口径的空间滤波器,空间滤波器的性能及其调试对于装置的研制和后期运行是至关重要;空间滤波器的核心光学元件为具备不同口径和焦距的输入和输出光学凸透镜,因此空间滤波器的性能主要取决于其输入和输出凸透镜的精密调试和定位安装。目前光学加工技术水平,透镜焦距加工普遍存在1‰~5‰的误差。为了降低该误差对空间滤波器在线调试和安装带来的不利影响,通常条件下,空间滤波器的调试安装采用在大气环境下利用刀口法找出输入凸透镜的焦点,再调节输出透镜的位置,实现输入和输出凸透镜在大气条件下具备共焦和共轴特征,然后根据大气和真空中不同的折射率计算出真空管道处于真空状态时两个透镜的具体位置,从而完成空间滤波器的调试安装。但这种调试方法难于保证在空间滤波器真空管道腔内为真空条件下和在激光装置中应用时,输入和输出透镜具备良好的共焦共轴特征,进而对激光装置的工程研制和后期安全运行带来极大的风险。因此,需要研制适用于激光驱动器且行之有效的空间滤波器调试装置及其方法,以实现空间滤波器精密调试并同时简化其在线装校方式,最终提升激光系统输出光束质量和安全运行能力。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服上述空间滤波器在大气环境下进行调试的不足,提出一种在真空条件下运行的空间滤波器的调试装置和调试方法,该装置和方法具备结构简单,调整方便,调试 ...
【技术保护点】
一种空间滤波器的调试装置,其特征在于:该装置包括光纤点光源(1),沿该光纤点光源(1)激光输出方向依次是准直透镜(2)、空间滤波器调整架及支撑平台(3)、剪切干涉板(4)、毛玻璃屏(5)和CCD(6),该CCD(6)的输出端继接实时图像采集计算机(7),所述的空间滤波器调整架及支撑平台(3)供待调整的空间滤波器(8)置放和调整,待调整的空间滤波器(8)通过真空波纹管与低温泵高真空机组(9)连接,所述的点光源(1)是纤芯直径为5.8μm光纤点光源,位于所述的准直透镜(2)光轴上的前焦点位置,光纤点光源(1)与准直透镜(2)固定在同一块光学平台上;所述的空间滤波器调整架及支撑平台(3)是由放置待调试的空间滤波器支撑台面和调节空间滤波器调整架组成,调整架可在水平、竖直、偏摆和俯仰四维方向整体调节待测空间滤波器;所述的剪切干涉板(4)为45°放置的反射式的楔形玻璃板,前表面镀半透半反膜,后表面镀全反膜。
【技术特征摘要】
1.一种空间滤波器的调试装置,其特征在于:该装置包括光纤点光源(1),沿该光纤点光源(1)激光输出方向依次是准直透镜(2)、空间滤波器调整架及支撑平台(3)、剪切干涉板(4)、毛玻璃屏(5)和CCD(6),该CCD(6)的输出端继接实时图像采集计算机(7),所述的空间滤波器调整架及支撑平台(3)供待调整的空间滤波器(8)置放和调整,待调整的空间滤波器(8)通过真空波纹管与低温泵高真空机组(9)连接,所述的点光源(1)是纤芯直径为5.8μm光纤点光源,位于所述的准直透镜(2)光轴上的前焦点位置,光纤点光源(1)与准直透镜(2)固定在同一块光学平台上;光纤点光源(1)纤芯直径小于准直透镜(2)的远场焦斑的一倍衍射极限,光纤点光源(1)调节至准直透镜(2)焦点位置后,光束经准直透镜(2)后出射近似平面波;所述的空间滤波器调整架及支撑平台(3)是由放置待调试的空间滤波器支撑台面和调节空间滤波器调整架组成,调整架可在水平、竖直、偏摆和俯仰四维方向整体调节待测空间滤波器;所述的剪切干涉板(4)为45°放置的反射式的楔形玻璃板,前表面镀半透半反膜,后表面镀全反膜。2.利用权利要求1所述的空间滤波器的调试装置对空间滤波器的调整方法,其特征在于该方法包括下列步骤:①精细调节光纤点光源(1),使光纤点光源(1)位于所述的准直透镜(2)的前焦点,光纤点光源(1)的发散激光光束经过准直透镜(2)后准直产生高质量近似平面波的平行激光光束,随后固定光纤点光源(1)和高质量准直透镜(2)在同一光学平台台面;光纤点光源(1)纤芯直径小于高质量准直透镜(2)的远场焦斑的一倍衍射极限;②将待调整的空间滤波器(8)安放在空间滤波器调整架上,精细调节空间滤波器的调整架保证光纤点光源(1)和高质量准直透镜(2)组成高质量平行光源顺利通过空间滤波器的输入机械盖板法兰和输出机械盖板法兰中心轴线处的通光小孔和空间滤波器内部的滤波小孔,以实现空间滤波器与高质量平行光源同轴;③拆除待调整的空间滤波器(8)的输入机械盖板法兰和输出机械...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱海东,郭爱林,谢兴龙,朱健强,杨庆伟,高奇,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:发明
国别省市:上海;31
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