【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种利用废旧护板拼接组合式坩埚护板框,其特征是:包括框体(1),框体(1)由左护板(11)、右护板(12)、前护板(13)和后护板(14)围合而成,左护板(11)、右护板(12)、前护板(13)和后护板(14)之间通过紧固螺丝(2)固定连接,其中,左护板(11)、右护板(12)、前护板(13)和后护板(14)任意护板可为整块或由上护板(15)和下护板(16)拼接而成,上护板(15)和下护板(16)之间通过限位咬合结构(3)拼接成石英坩埚的石墨护板,在上护板(15)和下护板(16)的一侧设置有连接通孔(4),在上护板(15)和下护板(16)的另一侧端面对应相邻的上护板(15)和下护板(16)的连接通孔(4)处设置有螺纹孔(5)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:谈军,王庆锋,孙修柱,刘荣建,丁海涛,
申请(专利权)人:国电兆晶光电科技江苏有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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