具有单色F-θ物镜的无色扫描装置制造方法及图纸

一种无色扫描装置，其中该上游光学扫描器件(2)及该下游光学扫描器件(4)采用某个设计方案及相对布置方案，使得针对映射至该目标表面(5)的光束(1.1)而言，该上游光学扫描器件的第一影像平面(BEpreλ1)与该下游光学扫描器件的针对一第一射束分量(1.1.1)的第一物镜平面(OEpostλ1)叠合，该上游光学扫描器件的第二影像平面(BEpreλ2)与该下游光学扫描器件的针对一第二射束分量(1.1.2)的第二物镜平面(OEpostλ2)叠合，其中，该下游光学扫描器件的该第一物镜平面(OEpostλ1)及该下游光学扫描器件的该第二物镜平面(OEpostλ2)分配有该下游光学扫描器件的一位于该目标表面(5)上的影像平面(BEpost)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种无色扫描装置，其中该上游光学扫描器件(2)及该下游光学扫描器件(4)采用某个设计方案及相对布置方案，使得针对映射至该目标表面(5)的光束(1.1)而言，该上游光学扫描器件的第一影像平面(BEpreλ1)与该下游光学扫描器件的针对一第一射束分量(1.1.1)的第一物镜平面(OEpostλ1)叠合，该上游光学扫描器件的第二影像平面(BEpreλ2)与该下游光学扫描器件的针对一第二射束分量(1.1.2)的第二物镜平面(OEpostλ2)叠合，其中，该下游光学扫描器件的该第一物镜平面(OEpostλ1)及该下游光学扫描器件的该第二物镜平面(OEpostλ2)分配有该下游光学扫描器件的一位于该目标表面(5)上的影像平面(BEpost)。【专利说明】具有单色f- e物镜的无色扫描装置
本专利技术是有关于一种与专利公开案DE 603 02 183 T2所揭露的无色扫描装置同 类型的无色扫描装置。
技术介绍
专利公开案DE 603 02 183 T2公开一种具有经色彩校正的F-theta物镜（也称 F-0物镜）的无色扫描装置（该案中是光学扫描仪）。 D本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无色扫描装置，其具有一光源(1)，一包含一旋转式多面镜(3.1)且具一导线角(Wp)的扫描单元(3)、一布置于该多面镜(3.1)上游的上游光学扫描器件(2)以及一布置于该多面镜(3.1)下游的下游光学扫描器件(4)，该上游光学扫描器件用于成型一由该光源(1)所发射的光束(1.1)并将其导引至该多面镜(3.1)，其中该光束(1.1)具有一包含第一波长(λ1)的第一射束分量(1.1.1)及一包含第二波长(λ2)的第二射束分量(1.1.2)，该下游光学扫描器件由一F‑θ物镜构成，该F‑θ物镜用于成型被该多面镜(3.1)沿扫描方向(R)所偏转的光束(1.1)并将其导引至一目标表面(5)，该目标表面...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：乌尔利希·克洛伊格，汤玛士·德烈斯勒，史戴芬·海纳曼，
申请(专利权)人：耶恩光学系统公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE