下载具有单色F-θ物镜的无色扫描装置的技术资料

文档序号:11284951

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一种无色扫描装置,其中该上游光学扫描器件(2)及该下游光学扫描器件(4)采用某个设计方案及相对布置方案,使得针对映射至该目标表面(5)的光束(1.1)而言,该上游光学扫描器件的第一影像平面(BEpreλ1)与该下游光学扫描器件的针对一第一射...
该专利属于耶恩光学系统公司所有,仅供学习研究参考,未经过耶恩光学系统公司授权不得商用。

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