反射镜、反射镜组及反射式光谱仪制造技术

技术编号:11246936 阅读:86 留言:0更新日期:2015-04-01 19:56
本实用新型专利技术公开了一种反射镜、反射镜组及反射式光谱仪;该反射镜由中心向外侧包括一中心透光区及一周边区,该中心透光区是环绕于一中心轴,该周边区则环绕该中心透光区;令该反射镜具有一对称轴,该周边区是以该对称轴为轴而线对称,该周边区包含一周边反射区及一周边透光区,该中心透光区及该周边透光区为中空。本实用新型专利技术藉由使反射镜中的周边透光区为中空结构,藉此移除周边透光区的玻璃介面,避免光线于周边透光区产生反射以减少反射杂散光的产生,藉此使量测数据更为准确。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种反射镜、反射镜组及反射式光谱仪;该反射镜由中心向外侧包括一中心透光区及一周边区,该中心透光区是环绕于一中心轴,该周边区则环绕该中心透光区;令该反射镜具有一对称轴,该周边区是以该对称轴为轴而线对称,该周边区包含一周边反射区及一周边透光区,该中心透光区及该周边透光区为中空。本技术藉由使反射镜中的周边透光区为中空结构,藉此移除周边透光区的玻璃介面,避免光线于周边透光区产生反射以减少反射杂散光的产生,藉此使量测数据更为准确。【专利说明】反射镜、反射镜组及反射式光谱仪
本技术涉及反射式量测仪器,特别是指反射式量测仪器中的反射镜,其是用 以引导量测仪器光源的光路。
技术介绍
传统的反射镜可用于许多量测仪器之中,主要是做为引导量测仪器的光路的功 能。 普通用于反射式量测仪器中的反射镜,为了达到引导光路的功能,且又能撷取到 欲量测样品上所反射的光线,通常会使用半反射镜的构造,请参阅图1及图2所示,其结构 为一圆盘状的透明玻璃本体10,并于可分为外环部11及中心部12,该外环部11的表面涂 布反射涂层13,该中心部12则为未配置反射涂层的透光区域。 然而,在量测反射光线时,因为反射镜为一透明平板玻璃,此平板具有两个与空气 的介面,分别是玻璃材质的中心部12及具有反射涂层13的外环部11,在接收由量测样品反 射的光线时,会造成二次或甚至第三次的反射,使得光线在穿透反射镜的中心部12的玻璃 表面时,会产生额外的反射杂散光,这部分的杂散光会进入到最终的光谱仪模组,而影响到 量测的结果,造成量测数据的偏差。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种反射镜结构,其主要目的是避免量 测仪器的光线在经过反射镜的穿透面时产生额外的杂散光,藉此减少进入最后的光谱仪模 组的杂散光,使量测数据更为准确。 为解决上述问题,本技术提供一种反射镜,具有一第一表面及一第二表面,该 第二表面是与该第一表面相互平行,该反射镜的中心位置具有一中心轴,该反射镜主要包 括:一中心透光区,环绕于该中心轴配置;一周边区,环绕该中心透光区,且该周边区包含 一周边反射区及一周边透光区;以及一对称轴,该对称轴经过该中心透光区的中心位置; 其中,该中心透光区为一孔洞,该周边区以该对称轴为轴而线对称,该周边透光区为中空, 该周边反射区是位于该第一表面。 为解决上述问题,本技术提供一种反射镜组,由中心向外侧包含:一中心透光 区,环绕一中心轴配置;以及一周边区,环绕该中心透光区,该周边区包括一第一反射镜、 一第二反射镜及一第三反射镜,其中,该第一反射镜、该第二反射镜及该第三反射镜是等距 分布环绕于该中心轴;其中,该中心透光区为中空。 为解决上述问题,本技术提供一种反射式光谱仪,包含:一反射镜,具有一第 一表面及一第二表面,该第二表面是与该第一表面相互平行,该反射镜的中心位置具有一 中心轴,该反射镜主要包括:一中心透光区,环绕于该中心轴配置;一周边区,环绕该中心 透光区,且该周边区包含一周边反射区及一周边透光区;以及一对称轴,该对称轴经过该中 心透光区的中心位置;其中,该中心透光区为一孔洞,该周边区以该对称轴为轴而线对称, 该周边透光区为中空,该周边反射区是位于该第一表面;另外,反射式光谱仪更包含一光 源,发出一照明光至该反射镜后产生一第一反射光;一物镜,是设置于该第一反射光的路径 上,并供该第一反射光通过;一量测平台,一待测物放置于该量测平台上,该量测平台位于 该第一反射光的路径上,且该物镜是位于该反射镜及该量测平台间,该第一反射光照射到 该待测物后,反射一第二反射光;该第二反射光是通过该物镜后,自该中心透光区及该周边 透光区射出;以及一光谱仪,用以接收该第二反射光。 本技术利用所提供的反射镜、反射镜组及反射式光谱仪,可以获得的功效在 于:藉由移除中心透光区以及周边透光区的玻璃介面,使反射镜中的中心透光区为孔洞,反 射镜的周边透光区为中空,藉此避免光线于中心透光区以及周边透光区产生反射以减少反 射杂散光的产生,使量测数据更为准确。 【专利附图】【附图说明】 图1是普通反射镜的正面视图。 图2是普通反射镜的侧面视图。 图3是本技术第一实施例的正面视图。 图4是本技术第一实施例的侧面视图。 图5是本技术第一实施例参数定义的正面视图。 图6是本技术第一实施例参数定义的侧面视图。 图7A是本技术第一实施例的正面视图。 图7B是本技术第二实施例的正面视图。 图7C是本技术第三实施例的正面视图。 图7D是本技术第四实施例的正面视图。 图7E是本技术第五实施例的正面视图。 图7F是本技术第六实施例的正面视图。 图7G是本技术第七实施例的正面视图。 图7H是本技术第八实施例的正面视图。 图8是本技术第九实施例的正面视图。 图9是本技术第九实施例的侧面视图。 图10是应用本技术的反射镜的反射式光谱仪的示意图。 图11是图10中,量测平台上形成一投影照亮区域的示意图。 图12是本技术反射镜与普通反射镜的波长所对应反射率的关系图。图13是 本技术反射镜的波长对应反射率消减率的关系图。 附图标记说明 10本体 11外环部 12中心部 13反射涂层 20反射镜 21第一表面 22第二表面 23内孔斜面 30中心透光区 40周边区 41周边反射区 411反射区块 42周边透光区 421透光区块 43反射区块连接部 44外环区 441外环反射区块 442外环透光区块 45环形连接部 50反射镜组 51第一反射镜 52第二反射镜 53第三反射镜 54中心透光区 55周边区 56周边透光区 61光源 62物镜 63量测平台 64光谱仪 65投影照亮区域 C中心轴 S对称轴 T 厚度 L反射镜的最大外径 W反射镜的最小外径 Dmax中心透光区的最大内径 Dmin中心透光区的最小内径 a第一夹角 0第二夹角 【具体实施方式】 在本技术被详细描述之前,要注意的是在以下的说明内容中,类似的元件是 以相同的编号来表不。 本技术反射镜20的第一实施例如图3至图7A所示,是由将平面玻璃的部分 切割移除所构成,其外观轮廓为椭圆形,该反射镜20具有一第一表面21及相对于该第一表 面21的一第二表面22,该第一表面21与该第二表面22是相互平行,该反射镜20的中心位 置具有一中心轴C,该反射镜20由中心向外侧主要包括一中心透光区30、一周边区40以及 一对称轴S,其中: 该中心透光区30是环绕于该中心轴C配置,该中心透光区30为平面玻璃被切割 后所移除的部分,故为一孔洞结构; 该周边区40则环绕该中心透光区30,且该周边区40包含一周边反射区41及一周 边透光区42,该周边透光区42为平面玻璃被切割后所移除的部分而为中空,该周边反射区 41则为切割后保留的部分,且该周边反射区41的表面可使用高反射率镀膜覆盖,以提高反 射的效果,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反射镜,其特征在于,具有一第一表面及一第二表面,该第二表面是与该第一表面相互平行,该反射镜的中心位置具有一中心轴,该反射镜主要包括:一中心透光区,环绕于该中心轴配置;一周边区,环绕该中心透光区,且该周边区包含一周边反射区及一周边透光区;以及一对称轴,该对称轴经过该中心透光区的中心位置;其中,该中心透光区为一孔洞,该周边区以该对称轴为轴而线对称,该周边透光区为中空,该周边反射区是位于该第一表面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:张建邦朱国强
申请(专利权)人:大立光电股份有限公司
类型:新型
国别省市:中国台湾;71

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