液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备技术

本发明专利技术提供一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备，其中方法包括：在基底上形成压力发生部件；在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室；在所述压力腔室和公共腔室远离所述基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层；对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在所述喷孔胶层上与所述压力腔室对应的位置处形成锥形的喷孔，沿远离所述压力腔室的方向，所述喷孔的横截面积逐渐减小。本发明专利技术提供的液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备能够解决现有的液体喷墨头喷射精度较差的问题，以提高打印速度和打印精度，还能避免采用粘合剂导致的打印质量降低的问题，且能够提高压力腔室的机械强度。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备，其中方法包括：在基底上形成压力发生部件；在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室；在所述压力腔室和公共腔室远离所述基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层；对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在所述喷孔胶层上与所述压力腔室对应的位置处形成锥形的喷孔，沿远离所述压力腔室的方向，所述喷孔的横截面积逐渐减小。本专利技术提供的液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备能够解决现有的液体喷墨头喷射精度较差的问题，以提高打印速度和打印精度，还能避免采用粘合剂导致的打印质量降低的问题，且能够提高压力腔室的机械强度。【专利说明】液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备
本专利技术涉及打印机制造技术，尤其涉及一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备。
技术介绍
打印机是一种常用的办公设备，随着打印机技术的逐渐进步，文件处理速度以及打印速度越来越受到重视。现有技术中，打印机的液体喷墨头结构通常包括基底、粘接在基底第一表面上的喷孔板、以及设置在基底上与第一表面相对的第二表面的振动板和压电元件。液体喷墨头的加工方法通常为:在基底的第二表面上形成振动板和压电元件，在第一表面上采用蚀刻工艺形成多个与压电元件位置相对应的压力腔室，以及与供墨孔相对应的公共腔室，该压力腔室和公共腔室用于存储液体，最后粘接喷孔板。 但是由于现有的液体喷墨头中喷孔板上的喷孔形成为圆柱形，其喷出的墨滴直径较大，且其喷射精度较差，容易出现墨滴落在打印介质上的非预定位置，会影响打印速度和打印精度。并且，对于现有的液体喷墨头而言，为了提高打印分辨率，需要增加压力腔室的数量，在相同表面面积的硅基底上蚀刻压力腔室，必然要减小压力腔室壁的厚度，因此会导致基底的机械强度下降，在加工过程中会出现基底破损而降低成品率，增加制造成本。另夕卜，现有的液体喷墨头的喷孔板是采用粘合剂粘接在压力腔室表面，对粘接工艺的要求非常高，若一旦有粘合剂流入压力腔室中，会影响打印质量。
技术实现思路
本专利技术提供一种液体喷墨头的制造方法、液体喷墨头和打印设备，用于解决现有的液体喷墨头喷射精度较差的问题，以提高打印速度和打印精度。还能避免采用粘合剂导致的打印质量降低的问题，且能够提高压力腔室的机械强度。 本专利技术实施例提供一种液体喷墨头的制造方法，包括: 在基底上形成压力发生部件； 在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室； 在所述压力腔室和公共腔室远离所述基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层； 对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在所述喷孔胶层上与所述压力腔室对应的位置处形成锥形的喷孔，沿远离所述压力腔室的方向，所述喷孔的横截面积逐渐减小。 本专利技术实施例还提供一种液体喷墨头，所述液体喷墨头采用如上所述的液体喷墨头的制造方法制成。 本专利技术实施例还提供一种打印设备，包括如上所述的液体喷墨头。 本专利技术实施例通过提供了一种形成锥形喷孔的技术方案，能够提高喷射的精度，使墨滴准确滴落在打印介质上的预定位置，进而提高打印速度和打印精度。 且本专利技术实施例采用的技术方案依次在基底上形成压力发生部件，在基底上形成压力腔室和梯形状的公共腔室，其中，梯形状的公共腔室靠近基底的表面面积小于远离基底的表面面积，之后分别形成喷孔板和供墨孔，能够解决现有的液体喷墨头容易导致液体墨水从公共腔室回流到供墨孔的问题，提高了打印速度。 本专利技术实施例提供的技术方案可形成一体成型的喷墨头，并采用正性光敏树脂形成压力腔室壁，能根据打印分辨率的需要增加压力腔室的数量，而不会产生压力腔室壁和基底机械强度下降的问题。一体成型的结构也避免了使用粘合剂而影响打印效果的问题。 【专利附图】【附图说明】 图1为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法的流程图； 图2为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中压力发生部件形成方法的流程图； 图3八为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上蚀刻形成凹槽的结构不意图； 图38为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成压电元件的结构不意图； 图3(:为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在压电元件上形成振动板的结构示意图； 图4八为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成第一胶层的结构不意图； 图48为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层的第一区域进行曝光处理的结构示意图； 图扣为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层进行显影处理形成公共腔室的结构示意图； 图40为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层的第二区域进行曝光处理的结构示意图； 图42为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中对第一胶层进行显影处理形成压力腔室的结构示意图； 图4？为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成喷孔的结构示意图； 图5为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成供墨孔的结构示意图； 图6为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成液体喷墨头的结构示意图； 图7为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成盖板的结构示意图； 图8为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成阶梯锥形喷孔的结构示意图一； 图9为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法形成阶梯锥形喷孔的结构不意图~-； 图10为本专利技术实施例二提供的液体喷墨头的制造方法中在基底表面形成振动板的结构不意图； 图11为本专利技术实施例二提供的液体喷墨头的制造方法中在振动板表面形成压电元件的结构示意图； 图12为本专利技术实施例二提供的液体喷墨头的制造方法形成的液体喷墨头的结构示意图； 图13为本专利技术实施例三提供的液体喷墨头的制造方法中在基底上形成薄膜电阻层的结构示意图； 图14为本专利技术实施例三提供的液体喷墨头的制造方法形成液体喷墨头的结构示意图。 附图标记: 1-基底；2-凹槽；3-压电元件； 4-振动板；5-第一胶层；6-第一掩膜； 7-公共腔室；8-公共腔室壁； 9-第二掩膜； 10-压力腔室；11-压力腔室壁； 12-喷孔胶层； 13-第二掩膜；14-喷孔；15-供墨孔； 16-盖板；17-振动空间；18-缝隙； 19-薄膜电阻层。 【具体实施方式】 实施例一 图1为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法的流程图。如图1所示，该液体喷墨头的制造方法可以包括: 步骤10、在基底上形成压力发生部件。 步骤20、在基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室。 步骤30、在压力腔室和公共腔室远离基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层。 步骤40、对喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在喷孔胶层上与压力腔室对于的位置处形成锥形的喷孔，沿远离压力腔室的方向，喷孔的横截面积逐渐减小。 上述基底可以为硅基底或玻璃基底，本实施例采用硅基底。压力发生部件的作用是驱使压力腔室中的墨水从喷孔喷出，印在打印介质上，可以为多种形式的器件，例如压电元件、薄膜电阻等。本实施例以压电元件为例来具体说明压力发生部件的形成方法。 具体的，可参照图2，图2为本专利技术实施例一提供的液体喷墨头的制造方法中压力本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷墨头的制造方法，其特征在于，包括：在基底上形成压力发生部件；在所述基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室；在所述压力腔室和公共腔室远离所述基底的表面上涂覆第一树脂胶，形成喷孔胶层；对所述喷孔胶层进行灰度曝光处理，以在所述喷孔胶层上与所述压力腔室对应的位置处形成锥形的喷孔，沿远离所述压力腔室的方向，所述喷孔的横截面积逐渐减小。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李越，
申请(专利权)人：珠海纳思达企业管理有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44