一种设备的全局设备效率报表的生成方法技术

本发明专利技术公开了一种设备的全局设备效率报表的生成方法，涉及半导体制造领域。该方法为：根据每个芯片生产过程中的状态，将所述芯片生产的总时间根据生产芯片的设备状态划分为多个单元；将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先权代码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态；计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。本发明专利技术通过细化和量化设备状态，生成细化精准的设备OEE报表,以便生产管理者能够精准掌握生产设备状态，合理安排生产计划或实时调整生产计划，或即时发现设备生产问题及即时纠正。提高设备利用效率。

【技术实现步骤摘要】
_种设备的全局设备效率报表的生成方法
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种全局设备效率报表的生成方法。
技术介绍
由于半导体设备极其昂贵，所以芯片生产厂商需要通过精细掌握设备的利用状况 来实现设备利用率的最大化，目前国际半导体设备材料产业协会（SEMI)对于设备的状态 有一个ElO划分标准，但是这个划分标准是一个国际通用标准，具体到每个芯片生产工厂， 特别芯片代工厂可能还是不够细化精准。 中国专利（CN101196732A)公开了一种半导体生产线的监控方法，包括：获取生产 线中各个半导体设备的状态信息；建立所述各个半导体设备的状态信息和其相应的信息标 识的链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息。 该专利可监测整个生产线的各个设备的状态信息的问题。但并没有解决具体到每 个芯片生产工厂，特别芯片代工厂可能还是不够细化精准的问题。 中国专利（CN1492474A)公开了半导体生产设备管理系统，该系统包括采集设备、 故障、备品备件、采购信息外，该系统还有一个实现建立数据传输通道、设计制作数据分析 模块、快速实时获指定的设备管理参数。 该专利能在具有完备的设备相关数据条件下，运用通用软件工具，设计实现快速 多层次的分析、计算、汇总、查询功能，从而使用用户获得所要求的各类统计结果，并输出用 户最终要求文件格式的报表。该系统通用性强，操作方便，投入使用后大大提高了设备的管 理水平。但并没有解决具体到每个芯片生产工厂，特别芯片代工厂可能还是不够细化精准 的问题。
技术实现思路
本专利技术为解决设备状态划分不够精准的问题，从而提供一种设备的全局设备效率 (Overall Equipment Effectiveness，OEE)报表的生成方法的技术方案。 本专利技术所述，包括下述步骤： 步骤1.根据每个芯片生产过程中的状态，将所述芯片生产的总时间根据生产芯 片的设备状态划分为多个单元； 步骤2.将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先 权代码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状 态； 步骤3.计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。 优选的，所述总时间包括：操作时间和停机时间，所述总时间根据优先权依次分 为：所述操作时间和所述设备停机时间。 优选的，所述设备停机时间对应的设备状态为：关机。 优选的，所述操作时间包括：运行时间和停机时间，所述操作时间根据优先权依次 分为：所述运行时间和所述停机时间。 优选的，所述运行时间包括：制造时间和管理时间，所述运行时间根据优先权依次 分为：所述制造时间和所述管理时间。 优选的，所述制造时间包括：生产时间和待机时间，所述制造时间根据优先权依次 分为：所述生产时间和所述待机时间； 所述生产时间包括五种设备状态，根据优先权依次分为：生产产品片、其它制造生 产、制备非产品片、生产工程批和研发部人员借机； 所述待机时间对应的设备状态为：设备空闲。 优选的，所述管理时间包括三种设备状态，根据优先权依次分为：设备部人员借 机、设备工艺转换以及转换后的检验和工艺部人员借机。 优选的，所述停机时间包括：预设停机时间和计划外的停机时间，所述停机时间根 据优先权依次分为：所述预设停机时间和所述计划外的停机时间。 优选的，所述预设停机时间包括三种设备状态，根据优先权依次分为：预防性保 养、预防性保养后的检测和日常点检。 优选的，所述计划外的停机时间包括八种设备状态，根据优先权依次分为：设备宕 机维修后的检测、等待设备部人员响应、等待制造部人员响应、等待工艺部人员响应、由于 缺少日产生产方式停机、设备宕机、由于动力系统故障导致的宕机和计算机控制与监控制 造工艺有关。 本专利技术的有益效果： 本专利技术通过细化和量化设备状态，生成细化精准的设备OEE报表，以便生产管理 者能够精准掌握生产设备状态，合理安排生产计划或实时调整生产计划，或即时发现设备 生产问题及即时纠正。提高设备利用效率。 【附图说明】 图1为本专利技术所述设备的全局设备效率报表的生成方法流程图； 图2为总时间划分框图。 【具体实施方式】 下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。 如图1和图2所示，本专利技术提供，包括下 述步骤： 步骤1.根据每个芯片生产过程中的状态，将芯片生产的总时间（Total Time)根 据生产芯片的设备状态划分为多个单元； 总时间包括：操作时间（Operations Time)和设备停机时间（Non-Scheduled Time)； 操作时间包括：运行时间（Uptime)和停机时间（Downtime); 运行时间包括：制造时间（Manufacturing Time)和管理时间（Engineering Time)； 制造时间包括：生产时间（Productive Time)和待机时间（Standby Time); 停机时间包括：预设停机时间（Scheduled Downtime)和计划外的停机时间 (Unscheduled Downtime)； 步骤2.将设备状态采用优先权的方式进行划分，每个单元与一个优先权代码相 对应，优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态，通过引入 数字类型优先权来量化设备状态的优先级别，确定在多批次加工工时的设备状态计算方 法； 总时间根据优先权依次分为：操作时间和停机时间； 操作时间根据优先权依次分为：运行时间、预设停机时间和计划外的停机时间； 运行时间根据优先权依次分为：制造时间和管理时间； 制造时间根据优先权依次分为：生产时间和待机时间，生产时间包括五种设备状 态，根据优先权依次分为：生产产品片、其它制造生产、制备非产品片、生产工程批和研发部 人员借机；待机时间对应的设备状态为：设备空闲； 管理时间包括三种设备状态，根据优先权依次分为：设备部人员借机（改进、改进 后的调试，影响正常生产）、设备工艺转换以及转换后的检验和工艺部人员借机（影响正常 生产）； 停机时间根据优先权依次分为：预设停机时间和计划外的停机时间； 预设停机时间包括三种设备状态，根据优先权依次分为：预防性保养、预防性保养 后的检测和日常点检； 计划外的停机时间包括八种设备状态，根据优先权依次分为：设备宕机维修后的 检测、等待设备部人员响应、等待制造部人员响应、等待工艺部人员响应、由于缺少日产生 产方式（NPW)停机（hold)、设备宕机、由于动力系统故障导致的宕机和计算机控制与监控 制造工艺（CM)有关； 设备停机时间对应的设备状态为：关机； 步骤3.计算机将设备状态按照优先权的顺序生成全局设备效率报表如表1所示， 表1表不全局设备效率报表。 表 1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，包括下述步骤：步骤1.根据每个芯片生产过程中的状态，将所述芯片生产的总时间根据生产芯片的设备状态划分为多个单元；步骤2.将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先权代码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态；步骤3.计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。

【技术特征摘要】
1. 一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，包括下述步骤： 步骤1.根据每个巧片生产过程中的状态，将所述巧片生产的总时间根据生产巧片的 设备状态划分为多个单元； 步骤2.将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先权代 码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态； 步骤3.计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。2. 如权利要求1所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述总 时间包括；操作时间和设备停机时间，所述总时间根据优先权依次分为：所述操作时间和 所述停机时间。3. 如权利要求2所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述设 备停机时间对应的设备状态为；关机。4. 如权利要求2所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述操 作时间包括；运行时间和停机时间，所述操作时间根据优先权依次分为：所述运行时间和 所述停机时间。5. 如权利要求4所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述运 行时间包括；制造时间和管理时间，所述运行时间根据优先权依次分为：所述制造时间和 所述管理时间。6. 如权利要求5所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述制 造时间...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨习刚，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31