用于引线接合的超声波换能器与使用超声波换能器形成引线接合的方法技术

本发明专利技术提供了一种使用耦合至换能器的接合工具来形成引线接合的方法。该方法包括以下步骤：(1)施加第一频率的电能给该换能器的驱动器；及(2)在施加该第一频率的电能的同时施加第二频率的电能给该驱动器，该第一频率与该第二频率彼此不同。

【技术实现步骤摘要】
用于引线接合的超声波换能器与使用超声波换能器形成引线接合的方法本申请为分案申请，其原申请是于2012年2月10日(国际申请日为2010年8月10日)向中国专利局提交的专利申请，申请号为201080035549.4，专利技术名称为“用于引线接合的超声波换能器与使用超声波换能器形成引线接合的方法”。相关申请的交叉引用本申请主张2009年8月12日提出申请的美国临时申请第61/233,237号案的权益，其内容在此并入本文以作为参考。
本专利技术涉及引线接合机的操作，且更特定地涉及改进的超声波换能器及与引线接合的形成相关联的操作超声波换能器的方法。
技术介绍
在半导体元件的加工及封装中，引线接合仍旧是在封装内的两个位置之间(例如，半导体管芯的管芯焊盘与导线架的导线之间)提供电气互连的主要方法。更特别地是，使用引线接合器(亦称为引线接合机)，线弧在将被电气互连的个别位置之间形成。引线接合机也可用以形成导电凸块(凸块可与、或可不与线弧共同使用)。一示范性的公知引线接合顺序包括：(1)在延伸自接合工具的引线一端上形成线尾结球；(2)使用该线尾结球在半导体管芯的管芯焊盘上形成第一接合；(3)在该管芯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使用耦合至引线接合机的换能器的接合工具来形成引线接合的方法，所述换能器包括驱动器，所述方法包括以下步骤：(1)施加第一频率的电能给所述驱动器；以及(2)在施加所述第一频率的所述电能的同时施加第二频率的电能给所述驱动器，所述第一频率与所述第二频率彼此不同。

【技术特征摘要】
2009.08.12 US 61/233,2371.一种使用耦合至引线接合机的换能器的接合工具来形成引线接合的方法，所述换能器包括驱动器，所述方法包括以下步骤：(1)施加第一频率的电能给所述驱动器；以及(2)在施加所述第一频率的所述电能的同时施加第二频率的电能给所述驱动器，所述第一频率与所述第二频率彼此不同，其中所述方法进一步包括使所述驱动器包括多个压电元件，各所述多个压电元件被分成至少两个彼此电气隔离的区域的步骤，并且其中步骤(1)包括施加所述第一频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第一区域，且步骤(2)包括施加所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第二区域。2.如权利要求1所述的方法，其中步骤(1)包括施加115kHz的第一频率的电能给所述驱动器。3.如权利要求1所述的方法，其中步骤(2)包括施加120kHz的第二频率的电能给所述驱动器。4.如权利要求1所述的方法，其中步骤(1)包括施加115kHz的第一频率的电能给所述驱动器，且步骤(2)包括施加120kHz的第二频率的电能给所述驱动器。5.如权利要求1所述的方法，其中步骤(1)包括施加所述第一频率及所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第一区域，且步骤(2)包括施加所述第一频率及所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第二区域。6.如权利要求5所述的方法，其中施加给所述第一区域及所述第二区域的所述第一频率的电能彼此同相，且施加给所述第一区域及所述第二区域的所述第二频率的电能彼此异相。7.如权利要求1所述的方法，其中施加所述第一频率及所述第二频率的电能给所述驱动器导致由所述接合工具的尖端产生非线性刷磨。8.一种使用耦合至引线接合机的换能器的接合工具来形成引线接合的方法，所述换能器包括驱动器，所述方法包括以下步骤：(1)施加第一频率的电能给所述驱动器以在第一方向上驱动所述接合工具的尖端；以及(2)施加第二频率的电能给所述驱动器以在第二方向上驱动所述接合工具的尖端，所述第一方向不同于所述第二方向，其中所述方法进一步包括使所述驱动器包括多个压电元件，各所述多个压电元件被分成至少两个彼此电气隔离的区域的步骤，并且其中步骤(1)包括施加所述第一频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第一区域，且步骤(2)包括施加所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第二区域。9.如权利要求8所述的方法，其中对所述驱动器施加所述第一频率的电能与对所述驱动器施加所述第二频率的电能是同时发生。10.如权利要求8所述的方法，其中对所述驱动器施加所述第一频率的电能与对所述驱动器施加所述第二频率的电能不是同时发生。11.如权利要求8所述的方法，其中步骤(1)包括施加115kHz的第一频率的电能给所述驱动器。12.如权利要求8所述的方法，其中步骤(2)包括施加120kHz的第二频率的电能给所述驱动器。13.如权利要求8所述的方法，其中步骤(1)包括施加115kHz的第一频率的电能给所述驱动器，且步骤(2)包括施加120kHz的第二频率的电能给所述驱动器。14.如权利要求8所述的方法，其中步骤(1)中的所述电能的施加导致所述接合工具的尖端产生大致沿所述引线接合机的X轴的刷磨，且其中步骤(2)中的所述电能的施加导致所述接合工具的尖端产生大致沿所述引线接合机的Y轴的刷磨。15.如权利要求8所述的方法，其中步骤(1)包括施加所述第一频率及所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第一区域，且步骤(2)包括施加所述第一频率及所述第二频率的电能给各所述多个压电元件的所述至少两个区域中的第二区域。16.如权利要求15所述的方法，其中施加给所述第一区域的所述第一频率的电能与施加给所述第二区域的所述第一频率的电能彼此同相，且施加给所述第一区域的所述第二频率的电能与施加给所述第二区域的所述第二频率的电能彼此异相。17.如权利要求8所述的方法，其中对所述驱动器的所述第一频率及所述第二频率的电能的施加导致由所述接合工具的尖端产生非线性刷磨。18.一种供使用在引线接合操作中的换能器，所述换能器包括：(a)经配置以支撑接合工具的细长本体部分；以及(b)用以提供振动给所述细长本体部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·A·迪安杰利斯，G·W·舒尔策，
申请(专利权)人：库利克和索夫工业公司，
类型：发明
国别省市：美国;US