【技术实现步骤摘要】
一种ITO靶材的阴极座优化方法
本专利技术涉及ITO导电玻璃的制作领域,特别涉及一种ITO靶材的阴极座优化方法。
技术介绍
目前,ITO导电玻璃的制作是通过连续式磁控溅射镀膜线制作生产的,现有的在连续式磁控溅射镀膜线上安装的一套ITO靶材阴极座的数量及其规格为10片50*50*6mm+9片310*60*6mm,这样一套ITO靶材的重量为8.84kg;在连续式磁控溅射镀膜线上装满ITO靶材阴极座的重量就相当大了,然而,在不影响制作ITO导电玻璃的前提下,ITO靶材阴极座的规格和重量可减少适当的范围,以降低ITO靶材阴极座的制作成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术的上述缺陷,提供一种ITO靶材的阴极座优化方法。该方法可大大减少每套ITO靶的重量,降低制作成本。为解决现有技术的上述缺陷,本专利技术提供的技术方案是:一种ITO靶材的阴极座优化方法,包括以下步骤:(1)、将若干套ITO靶材的阴极座装在连续式磁控溅射镀膜线上,每套ITO靶材的阴极座上设置三排磁铁,其中两排磁铁的个数为10片,中间一排磁铁的个数为9片;(2)、设置在阴极座两侧的两排磁铁与中间一排磁铁的距离均为75mm~85mm;(3)、调节ITO靶材的阴极座上的三排磁铁之间的间距,将阴极座两侧的两排磁铁之间的间距缩小为20mm~60mm。作为本专利技术ITO靶材的阴极座优化方法的一种改进,第(1)步所述阴极座两侧的两排磁铁的磁铁尺寸为50mm×65mm×6mm。作为本专利技术ITO靶材的阴极座优化方法的一种改进,第(1)步所述中间一排磁铁的磁铁尺寸为300mm×50mm×6mm。作为本专利技 ...
【技术保护点】
一种ITO靶材的阴极座优化方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、将若干套ITO靶材的阴极座装在连续式磁控溅射镀膜线上,每套ITO靶材的阴极座上设置三排磁铁,其中两排磁铁的个数为10片,中间一排磁铁的个数为9片;(2)、设置在阴极座两侧的两排磁铁与中间一排磁铁的距离均为75mm~85mm;(3)、调节ITO靶材的阴极座上的三排磁铁之间的间距,将阴极座两侧的两排磁铁之间的间距缩小为20mm~60mm。
【技术特征摘要】
1.一种ITO靶材的阴极座优化方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、将若干套ITO靶材的阴极座装在连续式磁控溅射镀膜线上,每套ITO靶材的阴极座上设置三排磁铁,其中两排磁铁的个数为10片,中间一排磁铁的个数为9片;(2)、设置在阴极座两侧的两排磁铁与中间一排磁铁的距离均为75mm~85mm;(3)、调节ITO靶材的阴极座上的三排磁铁之间的间距,将阴极座两侧的两排磁铁之间的间距缩小为20mm~60mm。2.根据权利要求1所述的ITO靶材的阴极座优化方法,...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈建湘,陈新文,卢玮杰,薛仁奎,
申请(专利权)人:永州市新辉开科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南;43
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