【技术实现步骤摘要】
石英舟
本技术涉及太阳能电池制造领域,特别是涉及一种扩散工序使用的石英舟。
技术介绍
太阳能电池片制造领域中,扩散工序采用高温长时间将杂质原子扩散进硅片中,整体耗能较高。 传统的扩散工序使用的石英舟槽数为100槽,由于石英舟槽数目较少,单次扩散工序能够完成的硅片数量相应较少,扩散工序耗能较高。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种能够降低耗能的扩散工序使用的石英舟。 一种石英舟,用于承载硅片,包括:支撑腿、固定在所述支撑腿上的石英框架以及设置在所述石英框架上的第一石英柱和第二石英柱; 所述第一石英柱沿着所述石英舟的长度方向设置,并且所述第一石英柱和所述第二石英柱平行; 所述第一石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第一石英舟槽,所述第二石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第二石英舟槽,所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽对应设置,所述硅片通过所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽被承载在所述石英舟上。 在一个实施例中,所述第一石英舟槽的长度与所述第一石英柱的宽度相同,所述第二石英舟槽的长度与所述第二石英柱的宽度的比为1:2?4。 在一个实施例中,所述第一石英舟槽的长度方向与所述第一石英柱的长度方向的夹角为75°?85°。 在一个实施例中,相邻的两个所述第一石英舟槽的间距为2.33mm?2.43mm。 在一个实施例中,每个所述第一石英舟槽的宽度为0.3mm?0.7mm。 这种石英舟通过对应设置的180个第一石英舟槽和180个第二石英舟槽,从而完成了硅片的承载。相对于传统的100槽的石英舟,这种石英舟单次扩散工序能够完成的 ...
【技术保护点】
一种石英舟,用于承载硅片,其特征在于,包括:支撑腿、固定在所述支撑腿上的石英框架以及设置在所述石英框架上的第一石英柱和第二石英柱;所述第一石英柱沿着所述石英舟的长度方向设置,并且所述第一石英柱和所述第二石英柱平行;所述第一石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第一石英舟槽,所述第二石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第二石英舟槽,所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽对应设置,所述硅片通过所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽被承载在所述石英舟上。
【技术特征摘要】
1.一种石英舟,用于承载硅片,其特征在于,包括:支撑腿、固定在所述支撑腿上的石英框架以及设置在所述石英框架上的第一石英柱和第二石英柱; 所述第一石英柱沿着所述石英舟的长度方向设置,并且所述第一石英柱和所述第二石英柱平行; 所述第一石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第一石英舟槽,所述第二石英柱上设置有180个彼此平行且等距的第二石英舟槽,所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽对应设置,所述硅片通过所述第一石英舟槽和所述第二石英舟槽被承载在所述石英舟上。2.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁杭伟,钱大富,廖辉,叶雄新,孙小菩,彭华,
申请(专利权)人:东莞南玻光伏科技有限公司,中国南玻集团股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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