一种激光匀化系统技术方案

技术编号:11038227 阅读:157 留言:0更新日期:2015-02-12 01:24
本实用新型专利技术公开了一种激光匀化系统,包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、均光型衍射光学元件和聚焦镜,所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端,所述扩束输出镜、所述光阑和所述扩散性衍射光学元件依次设置于所述镜架内。本实用新型专利技术通过将一束激光通过扩束镜,经过扩束准直的激光通过光阑形成面积合适的光斑,再通过匀光型衍射光学元件后形成光强匀化的光束,最后通过聚焦镜将光束聚焦成目标面积的光斑。

【技术实现步骤摘要】
一种激光匀化系统
本技术涉及一种光匀化系统,尤其涉及一种激光匀化系统。
技术介绍
衍射光学元件(DOE:Diffractive Optical Elements),是基于光波的衍射理论,利用计算机辅助设计,并通过半导体芯片制造工艺,在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生台阶型或连续浮雕结构,形成同轴再现、且具有极高衍射效率的一类光学元件,而现阶段的衍射光学元件不能够进行激光匀化,给科学实验带来了不便。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种激光匀化系统。 本技术通过以下技术方案来实现上述目的: 本技术包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、均光型衍射光学元件和聚焦镜,所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端,所述扩束输出镜、所述光阑和所述扩散性衍射光学元件依次设置于所述镜架内。 本技术的有益效果在于: 本技术通过将一束激光通过扩束镜,经过扩束准直的激光通过光阑形成面积合适的光斑,再通过匀光型衍射光学元件后形成光强匀化的光束,最后通过聚焦镜将光束聚焦成目标面积的光斑。 【附图说明】 图1是本技术所述一种激光匀化系统的结构示意图。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术作进一步说明: 如图1所示:本技术包括镜架2、扩束输入镜1、扩束输出镜3、光阑4、均光型衍射光学兀件5和聚焦镜6,扩束输入镜I和聚焦镜6分别设置于镜架2的两端,扩束输出镜3、光阑4和扩散性衍射光学元件5依次设置于镜架2内。 本技术的工作原理如下: 本技术包括一组扩束镜,一个光阑,一个匀光型衍射光学元件,一个聚焦镜组成,其中扩束透镜包括扩束输入镜、扩束输出镜。扩束镜的作用是扩束和准直,光阑的作用是获得面积合适的光斑,匀光型衍射光学元件的作用是获得均匀的光强分布,聚焦镜的作用是通过聚焦获得目标光斑大小。 首先根据入射激光的波长,工作距离等参数,通过衍射光学设计出相应的全息结构,然后利用光刻和刻蚀的方法将其转移和制作在石英基材表面上,得到匀光型衍射光学元件。 工作时,一束激光通过扩束镜,经过扩束准直的激光通过光阑形成面积合适的光斑,再通过匀光型衍射光学元件后形成光强匀化的光束,最后通过聚焦镜将光束聚焦成目标面积的光斑。 本领域技术人员不脱离本技术的实质和精神,可以有多种变形方案实现本技术,以上所述仅为本技术较佳可行的实施例而已,并非因此局限本技术的权利范围,凡运用本技术说明书及附图内容所作的等效结构变化,均包含于本技术的权利范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光匀化系统,其特征在于:包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、均光型衍射光学元件和聚焦镜,所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端,所述扩束输出镜、所述光阑和所述平顶型衍射光学元件依次设置于所述镜架内。

【技术特征摘要】
1.一种激光勻化系统,其特征在于:包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、均光型衍射光学元件和聚焦镜,所述扩束输...

【专利技术属性】
技术研发人员:马衍强
申请(专利权)人:北京润和微光科技有限公司
类型:新型
国别省市:北京;11

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