一种光学元件的精密对心粘胶装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光学元件的精密对心粘胶装置，所述装置用于将第一镜片对心粘胶于镜筒，所述装置包括：底座、V型或U型导轨、第一镜片夹持定位机构和第一锁紧机构；V型或U型导轨垂直固定在底座上；第一镜片夹持定位机构用于夹持第一镜片，第一镜片夹持定位机构与V型或U型导轨连接，并可带动第一镜片沿V型或U型导轨移动；第一锁紧机构用于将镜筒固定在V型或U型导轨上；其中第一镜片夹持定位机构与镜筒同轴；第一镜片夹持定位机构用于将第一镜片送入镜筒中，使第一镜片与镜筒接触并同轴对心进行粘胶。本发明专利技术通过镜片和镜片夹持定位机构同轴以及镜筒和镜片夹持定位机构同轴，保证镜筒和所述镜片同轴对心，并且对心精确，操作简单。

【技术实现步骤摘要】
一种光学元件的精密对心粘胶装置
本专利技术涉及光学
，尤其涉及一种光学元件的精密对心粘胶装置。
技术介绍
光学系统各分立元件的对心质量直接关系到整个系统的最终成像质量和精度，因此各分立光学元件的对心问题一直是高质量光学系统需要解决的问题。以IC芯片制造为例，IC芯片制造需经历材料制备、掩模、光刻、清洗、刻蚀、掺杂、化学机械抛光等数十种工艺流程，其中尤以光刻工艺最为关键，光刻机是光刻工艺不可或缺的核心设备之一，其中光学系统是其灵魂，光刻机中的核心部件投影物镜元件个数就超过20多个，波像差优于1nm。由于各个镜片的偏心将对波像差产生很大的影响，因此在如此高精度的要求之下，对各个镜片的对心精度提出了更高要求。为了解决光学系统光学元件的精密对心粘胶这一类问题，目前多数采用人工对心的方法，既费时又费力，而且不能保证光学元件的对心精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种对心精确、操作简单的光学元件的精密对心粘胶装置。为了达到上述目的，本专利技术采用的技术方案为：一种光学元件的精密对心粘胶装置，用于将第一镜片对心粘胶于镜筒，所述装置包括：底座；V型或U型导轨，所述V型或U型导轨垂直固定在所述底座上；第一镜片夹持定位机构，用于夹持所述第一镜片，所述第一镜片夹持定位机构与所述V型或U型导轨连接，并可带动所述第一镜片沿所述V型或U型导轨移动；第一锁紧机构，用于将所述镜筒固定在所述V型或U型导轨上；其中，所述第一镜片夹持定位机构的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离，与所述镜筒的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离相等，使得所述第一镜片夹持定位机构与所述镜筒同轴；所述第一镜片夹持定位机构用于将所述第一镜片送入所述镜筒中，使所述第一镜片与所述镜筒接触并同轴对心进行粘胶。进一步地，所述装置还包括第二锁紧机构，用于将所述第一镜片夹持定位机构固定在所述V型或U型导轨上。进一步地，所述装置还包括第二镜片夹持定位机构，用于夹持第二镜片，所述第二镜片夹持定位机构与所述V型或U型导轨连接，并可带动所述第二镜片沿所述V型或U型导轨移动；所述第二镜片夹持定位机构与所述第一镜片夹持定位机构分别位于所述镜筒的两端，所述第二镜片夹持定位机构的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离，与所述镜筒的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离相等，使得所述第二镜片夹持定位机构与所述镜筒同轴；所述第二镜片夹持定位机构用于将所述第二镜片送入所述镜筒中，使所述第二镜片与所述镜筒接触并同轴对心进行粘胶。进一步地，所述装置还包括第三锁紧机构，用于将所述第二镜片夹持定位机构固定在所述V型或U型导轨上。进一步地，所述第一镜片夹持定位机构包括：定位筒，所述定位筒与所述V型或U型导轨连接；导向杆，所述导向杆位于所述定位筒内，且所述导向杆的外壁与所述定位筒的内壁滑动配合；夹持卡具，用于夹持所述第一镜片，所述夹持卡具位于所述导向杆的前端。进一步地，所述导向杆的后端与所述定位筒之间设有第一弹簧，所述第一弹簧用于缓解当所述第一镜片夹持定位机构带动所述第一镜片与所述镜筒接触时对所述第一镜片的冲击力；所述第一弹簧在所述第一镜片与所述镜筒粘胶时为压缩状态，用于对第一镜片施加力。进一步地，所述夹持卡具与所述导向杆之间设有第二弹簧，所述第二弹簧用于缓解当所述第一镜片夹持定位机构带动所述第一镜片与所述镜筒接触时对所述第一镜片的冲击力；所述第二弹簧在所述第一镜片与所述镜筒粘胶时为压缩状态，用于对第一镜片施加力。进一步地，所述定位筒上设有第一限位槽，所述导向杆上设有第一限位销钉，所述第一限位销钉位于所述第一限位槽内，用于限制所述导向杆的行程，防止从所述定位筒中脱出。进一步地，所述导向杆上设有第二限位槽，所述夹持卡具上设有第二限位销钉，所述第二限位销钉位于所述第二限位槽内，用于限制所述夹持卡具的行程，防止从所述导向杆中脱出。进一步地，所述夹持卡具为爪式卡具或真空吸附式卡具。进一步地，所述镜筒内壁设有若干与所述第一镜片接触面同曲率的凸台。进一步地，所述导向杆的前端设有若干与所述第一镜片接触面同曲率的凸台。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术提出的光学元件精密对心粘胶装置，采用机械的方法实现光学元件对心粘胶，通过镜片和镜片夹持定位机构同轴以及镜筒和镜片夹持定位机构同轴，保证镜筒和所述镜片同轴对心，并且对心精确，操作简单。附图说明图1为本专利技术实施例中光学元件对心粘胶装置的结构示意图图；图2为本专利技术实施例的镜片夹持定位机构结构示意图；图3为本专利技术实施例中光学元件对心粘胶装置的俯视图。具体实施方式为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。实施例1：如图1、图3所示，本专利技术实施例公开了一种光学元件的精密对心粘胶装置，用于将第一镜片对心粘胶于镜筒，所述装置包括：底座7、V型或U型导轨、第一镜片夹持定位机构4和第一锁紧机构3。所述V型或U型导轨6垂直固定在所述底座7上，具体地，图3中所示为V型导轨；第一镜片夹持定位机构4用于夹持所述第一镜片1，第一镜片1侧面是圆柱形，且以轴线中心对称，所述第一镜片夹持定位机构4与所述V型或U型导轨6连接，并可带动所述第一镜片1沿所述V型或U型导轨6移动；第一锁紧机构3用于将所述镜筒2固定在所述V型或U型导轨6上；所述镜筒2外壁的上下部分有两处精加工面，保证所述镜筒2可以与V型或U型导轨6的精密导轨面完全贴合。其中，所述第一镜片夹持定位机构4的轴线和所述V型或U型导轨6之间的距离，与所述镜筒2的轴线和所述V型或U型导轨6之间的距离相等，使得所述第一镜片夹持定位机构4与所述镜筒2同轴；所述第一镜片夹持定位机构4用于将所述第一镜片1送入所述镜筒2中，使所述第一镜片1与所述镜筒2接触并同轴对心进行粘胶。本实施例中，所述第一镜片夹持定位机构4可以位于所述镜筒2的上方或下方，图1所示为所述第一镜片夹持定位机构4位于所述镜筒2的上方。本实施例中，所述装置还包括第二锁紧机构5，用于将所述第一镜片夹持定位机构4固定在所述V型或U型导轨6上。第二锁紧机构5可以是一个，也可以是多个。如图2所示，本实施例中，所述第一镜片夹持定位机构4包括：定位筒42、导向杆43和夹持卡具41；所述定位筒42与所述V型或U型导轨6连接，所述定位筒42外壁的上下部分有两处精加工面，保证所述定位筒42可以与所述V型或U型导轨6的精密导轨面完全贴合。所述导向杆43位于所述定位筒42内，且所述导向杆43的外壁与所述定位筒42的内壁滑动配合；夹持卡具41用于夹持所述第一镜片1，所述夹持卡具41位于所述导向杆43的前端。本实施例中，所述导向杆43的后端与所述定位筒42之间设有第一弹簧44，当第一镜片夹持定位机构4向下移动时，第一弹簧44对导向杆43的移动起到缓冲作用，使得第一镜片1与镜筒2内凸台接触时，避免了冲击力对第一镜片1造成损伤；当第一镜片夹持定位机构4移动至第一弹簧44处于压缩状态的位置时，第二锁紧机构5将第一镜片夹持定位机构4固定在V型或U型导轨6上，此时，第一弹簧44用于在第一镜片1和镜筒2粘胶固化过程中通过导向杆43对第一镜片1施加力。本实施例中，所述夹持卡具41与所述导向杆43之间设有第二弹簧46，当第一镜片夹持定位机构4向下移动时，第二弹簧46本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学元件的精密对心粘胶装置，用于将第一镜片对心粘胶于镜筒，其特征在于，所述装置包括：底座；V型或U型导轨，所述V型或U型导轨垂直固定在所述底座上；第一镜片夹持定位机构，用于夹持所述第一镜片，所述第一镜片夹持定位机构与所述V型或U型导轨连接，并可带动所述第一镜片沿所述V型或U型导轨移动；第一锁紧机构，用于将所述镜筒固定在所述V型或U型导轨上；其中，所述第一镜片夹持定位机构的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离，与所述镜筒的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离相等，使得所述第一镜片夹持定位机构与所述镜筒同轴；所述第一镜片夹持定位机构用于将所述第一镜片送入所述镜筒中，使所述第一镜片与所述镜筒接触并同轴对心进行粘胶。

【技术特征摘要】
1.一种光学元件的精密对心粘胶装置，用于将第一镜片对心粘胶于镜筒，其特征在于，所述装置包括：底座；V型或U型导轨，所述V型或U型导轨垂直固定在所述底座上；第一镜片夹持定位机构，用于夹持所述第一镜片，所述第一镜片夹持定位机构与所述V型或U型导轨连接，并可带动所述第一镜片沿所述V型或U型导轨移动；第一锁紧机构，用于将所述镜筒固定在所述V型或U型导轨上；其中，所述第一镜片夹持定位机构的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离，与所述镜筒的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离相等，使得所述第一镜片夹持定位机构与所述镜筒同轴；所述第一镜片夹持定位机构用于将所述第一镜片送入所述镜筒中，使所述第一镜片与所述镜筒接触并同轴对心进行粘胶；其中，所述第一镜片夹持定位机构包括：定位筒，所述定位筒与所述V型或U型导轨连接；导向杆，所述导向杆位于所述定位筒内，且所述导向杆的外壁与所述定位筒的内壁滑动配合；夹持卡具，用于夹持所述第一镜片，所述夹持卡具位于所述导向杆的前端。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第二锁紧机构，用于将所述第一镜片夹持定位机构固定在所述V型或U型导轨上。3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第二镜片夹持定位机构，用于夹持第二镜片，所述第二镜片夹持定位机构与所述V型或U型导轨连接，并可带动所述第二镜片沿所述V型或U型导轨移动；所述第二镜片夹持定位机构与所述第一镜片夹持定位机构分别位于所述镜筒的两端，所述第二镜片夹持定位机构的轴线和所述V型或U型导轨之间的距离，与所述镜筒的轴线和所述V型或U型导轨之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗明成，魏志国，李世光，孙裕文，宋泽宇，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11