洁净装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种能够效率高地去除尘埃，能够实现装置的成本削减且小型化的洁净装置，利用静电力去除被洁净体S表面上存在的尘埃的洁净装置1，装备有与被洁净体表面S1接触的洁净滚轮2以及与所述洁净滚轮2接触的去除洁净滚轮2表面上的尘埃的刷滚轮3A、3B。因为洁净滚轮2表面上的尘埃被刷滚轮3A、3B除去，所以能够效率高地去除尘埃。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】洁净装置
本专利技术涉及利用静电力去除存在于被洁净体表面上的尘埃的洁净装置，更具体地，涉及当被洁净体是例如玻璃基板、印刷电路板(PCB、PCBA等)、薄膜、薄片、塑料板等表面平滑性比较高的材料时能够适用的洁净装置。
技术介绍
已知有一种洁净系统，是一边使洁净滚轮与被洁净体的表面的接触的同时旋转，一边利用静电力去除附着在被洁净体表面上的尘埃等的异物的(参照专利文献I)。 在上述洁净系统中，由于所述异物会逐渐地蓄积在洁净滚轮表面，所以有必要定期地进行从其表面去除异物的维护作业。因此，本专利技术的 申请人:为了不用定期地实施上述维护作业，就能够长期稳定地持续进行通过洁净滚轮的吸附去除尘埃的动作，已经就另外设置有与洁净滚轮接触的转印滚轮和带电控制滚轮等的洁净装置先提出了申请(参照专利文献2) ο 图8是示意性地显示了构成已知的洁净装置100的主要部件的配置的侧面图。洁净装置100是包括洁净滚轮111、转印滚轮112、带电控制滚轮113、刷滚轮114、金属滚轮115以及洁净刀片116而构成。 洁净滚轮111是能够在表面上带有利用静电力来吸附附着在被洁净体S表面SI上的尘埃的电荷的滚轮。在洁净滚轮111的与被洁净体S的相反一侧，设有一边与洁净滚轮111的表面接触一边旋转的转印滚轮112和一边与所述转印滚轮112的表面接触一边旋转的带电控制滚轮113。 转印滚轮112是使用可在表面上带有利用静电力来吸附附着在洁净滚轮111的表面上的尘埃的材料形成的。转印滚轮112通过一边与洁净滚轮111的表面接触一边旋转，根据洁净滚轮111与转印滚轮112的表面的特性的差异，在转印滚轮112与洁净滚轮111之间产生电位差。 为了能够将利用静电力来吸附附着在被洁净体S的表面SI上的尘埃的电荷施加给洁净滚轮111以及转印滚轮112，在带电控制滚轮113的芯金113a上，连接外部电源120。 另外，以与转印滚轮112接触且可旋转的方式设置有刷滚轮114，该刷滚轮114是朝着与转印滚轮112的连动旋转方向相反的方向旋转，用来刮掉附着在转印滚轮112表面上的尘埃。 金属滚轮115以与刷滚轮114接触的方式设置，朝上述刷滚轮114的连动旋转方向旋转。为了在与转印滚轮112之间产生电位差，施加电压，在金属滚轮115上连接外部电源121。此外，在金属滚轮115的附近，设置有用来刮除尘埃的洁净刀片116。 在上述洁净装置100中，在洁净滚轮111表面上附着的尘埃被静电力转印(转移)至转印滚轮112，被转印至转印滚轮112的尘埃被刷滚轮114刮除。被该刷滚轮114刮除的尘埃被静电力吸附至金属滚轮115，吸附在金属滚轮115上的尘埃被洁净刀片116从金属滚轮115上刮除。 但是，在洁净装置100中，由于是将附着在洁净滚轮111上的尘埃转印至转印滚轮112的，为了不降低尘埃的从洁净滚轮111朝转印滚轮112的转印效率，必须适当地选择、设定转印滚轮112的材质和表面特性等。如果这些条件不适当，那么就会有尘埃从洁净滚轮111向转印滚轮112的转印效率降低，洁净滚轮111的洁净度降低的危险。 另外，在洁净装置100中，由于设置转印滚轮112，不仅花费部件成本，而且也需要配置的空间，所以，期望更进一步的改良来实现装置成本的削减和构造的小型化。 另外，上述洁净装置100是设想在被洁净体S朝一个方向搬送的情形时构成的，期望实现一种不但在被洁净体S朝一个方向搬送的情形，即使朝两个方向搬送的情形下也能够适当使用的洁净装置。 [专利文献1]日本特开2010-99565号公报 [专利文献2]日本特许第4886097号公报
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够提高附着在洁净滚轮表面上的尘埃的除去效率，提高洁净滚轮的洁净度，能够实现装置的成本削减以及构造的小型化，而且不仅在被洁净体朝一个方向，即使是朝两个方向搬送的情形下也能适合使用的方便性高的洁净装置。 为了达到上述目的，本专利技术涉及的洁净装置⑴，其特征在于，是利用静电力去除在被洁净体表面存在的尘埃的洁净装置，具有与所述被洁净体表面接触的洁净滚轮以及与所述洁净滚轮接触而去除所述洁净滚轮表面上的尘埃的刷体。 根据上述洁净装置(1)，由于所述刷体与所述洁净滚轮接触，因此能够通过所述刷体去除在所述洁净滚轮表面上存在的尘埃，从而能够比已知的设有转印滚轮的装置提高所述尘埃的去除效率，能够提高所述洁净滚轮表面的洁净度。此处，被洁净体表面是指，成为被洁净体与外部空间的边界的面，不但包含一个方向的面(上侧)，也包含另一个方向的面(下侧)的情形。 此外，本专利技术涉及的洁净装置(2)，其特征在于，在所述洁净装置(1)上，还具有与所述刷体接触，从所述刷体接受尘埃的金属滚轮和去除附着在所述金属滚轮上的尘埃的刀片体；以及为所述洁净滚轮、所述刷体和所述金属滚轮施加电荷的电荷施加构件。 根据上述洁净装置(2)，通过静电力附着在所述洁净滚轮表面上的尘埃被所述刷体刮除，由所述刷体刮除的尘埃通过静电力被吸附到所述金属滚轮，被所述金属滚轮吸附的尘埃被所述刀体从所述金属滚轮上刮除。因此，通过所述洁净滚轮的尘埃的吸附除去动作不仅能够稳定持续进行，而且是省略了已知所使用转印滚轮的构造，从而能够实现装置的成本削减以及构造的小型化。 此外，本专利技术涉及的洁净装置(3)，其特征在于，在所述洁净装置(1)或者(2)中，装备有复数个所述刷体。 根据上述洁净装置(3)，由于装备有复数个所述刷体，所以能够在复数个地方使刷体相对于所述洁净滚轮滑动接触，能够提高附着在所述洁净滚轮表面的尘埃的除去效率，能够提高所述洁净滚轮的洁净度。 此外，所谓装备有复数个所述刷体的形态，不但包括装备有复数个与所述洁净滚轮大致相同长度的所述刷体的形态，也包括长度比所述洁净滚轮短(比如一半左右)的复数个的所述刷体，配设在与所述洁净滚轮的轴方向错开的位置的形态。 此外，本专利技术涉及的洁净装置(4)，其特征在于，在所述洁净装置(3)中，复数个所述刷体是以相互朝相反方向进行旋转的方式构成的。 根据上述洁净装置(4)，由于是复数个所述刷体以相互朝相反方向进行旋转的方式构成的，例如，在使用2支刷体时，通过在各个刷体的旋转速度之间设定差，能够使所述洁净滚轮朝旋转速度大的一方的刷体的连动旋转方向旋转。从而，通过设定各刷体的旋转速度，不仅能够使所述洁净滚轮朝一个方向，而且也能够使其朝相反方向旋转，不需选择被洁净体的搬送方向，即，能够作为在任意搬送方向都能够应对的便利性高的装置。 此外，本专利技术涉及的洁净装置(5)，其特征在于，在上述洁净装置(3)中，复数个的所述刷体是朝同一方向进行旋转的方式构成的。 根据上述洁净装置(5)，在被洁净体的搬送方向是一个方向即可的情况时，由于只需使洁净滚轮朝一个方向旋转即可，所以通过设为使复数个所述刷体向同一方向旋转的构成，能够更加简化装置的构成，实现成本削减。 此外，本专利技术涉及的洁净装置￠)，其特征在于，在上述洁净装置(I)?(5)的任一装置中，所述刷体的旋转速度可以任意设定。 根据上述洁净装置(6)，由于所述刷体的旋转速度可以任意设定，所以通过设定所述刷体的旋转速度及其旋转方向，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用静电力去除在被洁净体表面上存在的尘埃的洁净装置，其特征在于，具有与所述被洁净体表面接触的洁净滚轮以及与所述洁净滚轮接触而去除所述洁净滚轮表面上的尘埃的刷体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.06.06 JP 2012-1293411.一种利用静电力去除在被洁净体表面上存在的尘埃的洁净装置，其特征在于，具有与所述被洁净体表面接触的洁净滚轮以及与所述洁净滚轮接触而去除所述洁净滚轮表面上的尘埃的刷体。2.根据权利要求1所述的洁净装置，其特征在于，还具有与所述刷体接触而从所述刷体收取尘埃的金属滚轮；用来去除附着在所述金属滚轮上的尘埃的刀片体以及为所述洁净滚轮、所述刷体和所述金属滚轮施加电荷的电荷施加机构。3.根据权利要求1或者权利要求2所述的洁净装置，其特征在于，装备有复数个所述刷体。4.根据权利要求3所述的洁净装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本英树，
申请(专利权)人：阪东化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP