【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种处理粗三氯氢硅的系统,该系统包括:气提装置;第一提纯装置,具有第一物料入口、第一塔顶气出口和第一塔底液出口;第二提纯装置,具有第二物料入口、第二塔顶气出口和第二塔底液出口,第二物料入口与第一塔顶气出口相连;混合装置,混合装置与第一塔底液出口和第二塔顶气出口相连;反歧化装置,具有混合物料入口、反歧化产物出口和过滤帽;第三提纯装置,具有第三物料入口和第三塔底液出口;第四提纯装置,具有第四物料入口、第四塔顶气出口和第四塔底液出口,第四物料入口分别与第二塔底液出口和第三塔底液出口相连,第四塔底液出口与第一物料入口相连。该系统可以有效解决粗三氯氢硅中二氯二氢硅和四氯化硅的富集问题。【专利说明】处理粗三氯氢硅的系统
本技术属于多晶硅生产
,具体而言,本技术涉及一种处理粗三氯氢硅的系统。
技术介绍
在多晶硅生产过程中合成、还原及冷氢化单元均会产生一定量的副产物二氯二氢硅,尤其以还原为主。二氯二氢硅与三氯氢硅相比,较易在还原炉壁上沉淀,产生无定形硅粉,因此要严格控制二氯二氢硅在一定浓度以下。在实际生产过程中还原回收三氯 ...
【技术保护点】
一种处理粗三氯氢硅的系统,其特征在于,包括:气提装置,所述气提装置具有粗三氯氢硅入口、混合物出口和杂质出口;第一提纯装置,所述第一提纯装置具有第一物料入口、第一塔顶气出口和第一塔底液出口,其中,所述第一物料入口与所述混合物出口相连;第二提纯装置,所述第二提纯装置具有第二物料入口、第二塔顶气出口和第二塔底液出口,其中,所述第二物料入口与所述第一塔顶气出口相连;混合装置,所述混合装置具有进料口和出料口,其中,所述进料口分别与所述第一塔底液出口和第二塔顶气出口相连;反歧化装置,所述反歧化装置具有混合物料入口、反歧化产物出口和装有负载的离子交换树脂的过滤帽,其中,所述混合物料入口与 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李锋,王利强,张艳春,王洪光,欧昌洪,濮希杰,彭述才,白竟超,
申请(专利权)人:国电内蒙古晶阳能源有限公司,
类型:新型
国别省市:内蒙古;15
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