一种MEMS武器安保装置制造方法及图纸

一种MEMS武器安保装置，包括单晶硅衬底，在单晶硅衬底依次制作二氧化硅绝缘层以及单晶硅结构层，单晶硅衬底制作有圆形加速膛孔，在单晶硅结构层中制作卡销机构、棘爪机构以及隔断机构，其中卡销机构中的可动卡销、棘爪机构中的棘爪以及隔断机构中的防爆隔板通过齿状结构相啮合，防爆隔板将加速膛膛孔遮挡，并通过S型硅弹簧与单晶硅结构层连接，飞片孔与加速膛膛孔错位放置，卡销机构与棘爪机构均利用热电效应驱动，在相应的工作电压下V型热电执行器会产生一定的热变形量，通过杠杆放大装置将热变形放大并以此驱动卡销与棘爪完成相应的动作，本发明专利技术具有低成本、高智能、易集成的特点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种MEMS武器安保装置，包括单晶硅衬底(1)，其特征在于：在单晶硅衬底(1)依次制作二氧化硅绝缘层(2)以及单晶硅结构层(3)，单晶硅衬底(1)的厚度为400～500um，其中制作有直径为300～400um的圆形加速膛孔(5)，二氧化硅绝缘层(2)的厚度为2～3um，单晶硅结构层(3)的厚度为50～100um；在单晶硅结构层(3)中制作卡销机构(Ⅰ)、棘爪机构(Ⅱ)以及隔断机构(Ⅲ)，其中卡销机构(Ⅰ)中的可动卡销(10)、棘爪机构(Ⅱ)中的棘爪(20)以及隔断(Ⅲ)中的防爆隔板(30)通过齿状结构相啮合，防爆隔板(30)将加速膛膛孔(5)遮挡，并通过S型硅弹簧(29)与单晶硅结构层(3)连接，飞片孔(4)与加速膛膛孔(5)错位放置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉龙，胡腾江，白颖伟，解瑞珍，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61