【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗废水回收再利用系统
本实用涉及一种废水回收再利用系统,特别是,涉及一种硅片清洗废水回收再利用系统。
技术介绍
硅片清洗机水浪费是很严重的,每台清洗机单耗水量为3m3/h,每台清洗机每天排放的废水约为72吨。硅片车间需要用水较多的项目大致分为三类:清洗硅片、清洗硅块、清洗设备及工装。其中清洗硅片为最后一道工序,需要的水洁净度较高,清洗硅块要求使用水的洁净度较低,清洗设备及工装主要包括过滤网的冲洗、超声波水槽、化胶槽以及预清洗设备,对水质要求不高。而且,清洗硅片后废水温度在30°C左右,正符合生产中其他清洗环节对水温的要求,直接排放造成水资源的浪费。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种硅片清洗废水回收再利用系统,将清洗硅片后的废水重新收集后用于其他清洗环节,节约了用水的同时,也减少了其他清洗环节前水加温的成本,不仅提高了设备工作效率,也降低了电能的消耗,为车间降低了生产成本。 为解决上述问题,本技术所采用的技术方案如下: 一种硅片清洗废水回收再利用系统,包括回收装置、预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网,所述回收装置通过管道分别与预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网连接;所述回收装置包括用于向储水罐抽送硅片清洗后废水的抽水泵、储水罐和分配水泵,所述抽水泵、储水罐和分配水泵通过管道依次连接。 优选的,所述回收装置还包括过滤器,所述过滤器设置在抽水泵前端的管道上。 优选的,所述回收装置还包括液位传感器,所述液位传感器设置在储水罐上部。 优选的,所述回收装置还包括时间继电器,所述时间继电器与液 ...
【技术保护点】
一种硅片清洗废水回收再利用系统,其特征在于,包括回收装置(1)、预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网(5),所述回收装置(1)通过管道分别与预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网连接(5);所述回收装置(1)包括用于向储水罐(102)抽送硅片清洗后废水的抽水泵(101)、储水罐(102)和分配水泵(103),所述抽水泵(101)、储水罐(102)和分配水泵(103)通过管道依次连接。
【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗废水回收再利用系统,其特征在于,包括回收装置(I)、预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网(5),所述回收装置(I)通过管道分别与预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网连接(5);所述回收装置(I)包括用于向储水罐(102)抽送硅片清洗后废水的抽水泵(101)、储水罐(102)和分配水泵(103),所述抽水泵(101)、储水罐(102)和分配水泵(103)通过管道依次连接。2.如权利要求1所述的硅片清洗废水回收再利用系统,其特征在于,所述回收装置(I)还包括过滤器(104),所述过滤器(10...
【专利技术属性】
技术研发人员:张建,狄红祥,靳达兴,
申请(专利权)人:中卫市银阳新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:宁夏;64
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