一种高效芯片清洗液及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种高效芯片清洗液及其制备方法，所述高效芯片清洗液包括脂肪醇聚氧乙烯醚、有机含氯溶剂、叔胺、低级醇、缓蚀剂、C2-C3饱和烷基C2-C3羧酸酯、去离子水。所述高效芯片清洗液具有良好的清洗能力，且对芯片无损伤，具有良好的工业应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，属于精密工业清洗领域。
技术介绍
目前，各个领域使用大量的芯片，例如计算机工业、工业控制、机械、电子、航空等众多领域。由于芯片的精密性和高性能性，因此在制备过程中，需要对其进行严格的清洗，否则便可对其性能产生严重的影响，无法达到使用要求。 例如，需要在制造过程中清洗掉芯片表面的多种杂质，如蜡质、成膜剂、灰尘、无机杂质、金属粒子等多种污染物。因此，在整个芯片工业的流程中，清洗是非常重要的步骤和处理工序，而在此处理步骤中，需要大量的、不同类型的清洗液进行清洗。因此，清洗液的质量、效果便显得非常重要和关键。 目前而言，我国的芯片清洗液，尤其是高端的芯片清洗液，基本上全部依赖进口，导致我国在这方面受制于人，芯片工业的安全存在一定的隐患。。 因此，在芯片清洗液领域，为了开发新的芯片清洗液，仍存在继续改进的必要和需求，正是在该需求下，本专利技术人完成了本专利技术。
技术实现思路
如上所述，为了开发新的催芯片清洗液，本专利技术人进行了大量的深入研究，从而完成了本专利技术。 具体而言，第一个方面，本专利技术提供了一种高效芯片清洗液，所述芯片清洗液包括脂肪醇聚氧乙烯醚、有机含氯溶剂、叔胺、低级醇、缓蚀剂、C2-C3饱和烷基C2-C3羧酸酯、去离子水。 更具体而言，本专利技术的所述高效芯片清洗液的各组分质量份为:2-10份脂肪醇聚氧乙烯醚、30-50份有机含氯溶剂、3-8份叔胺、10-20份低级醇、1_4份缓蚀剂、4_10份C2-C3饱和烷基C2-C3羧酸酯、30-40份去离子水。 在本专利技术的所述高效芯片清洗液中，所述脂肪醇聚氧乙烯醚中的脂肪醇为碳原子数2-6的脂肪醇。 在本专利技术的所述高效芯片清洗液中，所述有机含氯溶剂为二氯甲烷、三氯甲烷、四氯化碳、1，2- 二氯乙烷、1，I, 2-三氯乙烷中的任何一种或多种的混合物。 在本专利技术的所述高效芯片清洗液中，所述叔胺为三乙胺、三乙醇胺、三异丙醇胺中的任何一种或多种的混合物。 在本专利技术的所述高效芯片清洗液中，所述缓蚀剂为柠檬酸、乳酸、酒石酸、甘氨酸中的任何一种或多种的混合物。 在本专利技术的所述高效芯片清洗液中，所述低级醇选自甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、异丁醇、仲丁醇、叔丁醇中的任何一种或多种的混合物。 在本专利技术的所述高效芯片清洗液中，所述C2-C3饱和烷基C2-C3羧酸酯为乙酸乙酯、乙酸丙酯、丙酸乙酯、丙酸丙酯中的任何一种或多种的混合物。 第二个方面，本专利技术还涉及所述高效芯片清洗液的制备方法，所述方法如下:将脂肪醇聚氧乙烯醚、有机含氯溶齐?、叔胺、低级醇、缓蚀齐?、C2-C3饱和烷基C2-C3羧酸酯加入到去离子水中，搅拌均匀即可。 本专利技术的高效芯片清洗液制备方法简单、清洗效果好、性价比高，具有非常广阔的应用潜力和前景。 【具体实施方式】 以下实施例详细说明了本专利技术，但应该理解，这只是对本专利技术的示例性例举，而非用来限制本专利技术，更非意图限制本专利技术如权利要求所述的保护范围。 实施例1 一种高效芯片清洗液，所述芯片清洗液包括2份乙醇聚氧乙烯醚、30份二氯甲烷、3份三乙胺、10份甲醇、I份柠檬酸、4份乙酸乙酯、30份去离子水。 其制备方法如下:将上述重量的乙醇聚氧乙烯醚、二氯甲烷、三乙胺、甲醇、柠檬酸、乙酸乙酯分散在去离子水中，搅拌均匀即可。 实施例2 一种高效芯片清洗液，所述芯片清洗液包括5份正丁醇聚氧乙烯醚、40份四氯化碳、5份三乙醇胺、15份乙醇、2份乳酸、6份乙酸丙酯、35份去离子水。 其制备方法如下:将上述重量的正丁醇聚氧乙烯醚、二氯甲烷四氯化碳、三乙醇胺、乙醇、乳酸、乙酸丙酯分散在去离子水中，搅拌均匀即可。 实施例3 一种高效芯片清洗液，所述芯片清洗液包括7份正己醇聚氧乙烯醚、50份1，2- 二氯乙烷、7份三异丙醇胺、20份正丁醇、3份酒石酸、8份丙酸乙酯、40份去离子水。 其制备方法如下:将上述重量的正己醇聚氧乙烯醚、1，2-二氯乙烷、三异丙醇胺、正丁醇、酒石酸、丙酸乙酯分散在去离子水中，搅拌均匀即可。 实施例4 一种高效芯片清洗液，所述芯片清洗液包括10份丁醇聚氧乙烯醚、35份三氯甲烷、8份三乙胺、12份正丙醇、4份酒石酸、5份丙酸丙酯、40份去离子水。 其制备方法如下:将上述重量的丁醇聚氧乙烯醚、三氯甲烷、三乙胺、正丙醇、酒石酸、丙酸丙酯分散在去离子水中，搅拌均匀即可。 实施例5 一种高效芯片清洗液，所述芯片清洗液包括7份丙醇聚氧乙烯醚、30份1，2- 二氯乙烷、7份三乙醇胺、11份正戊醇、4份甘氨酸、5份乙酸乙酯、40份去离子水。 其制备方法如下:将上述重量的丙醇聚氧乙烯醚、1，2-二氯乙烷、三乙醇胺、正戊醇、甘氨酸、乙酸乙酯分散在去离子水中，搅拌均匀即可。 应当理解，这些实施例的用途仅用于说明本专利技术而非意欲限制本专利技术的保护范围。此外，也应理解，在阅读了本专利技术的
技术实现思路
之后，本领域技术人员可以对本专利技术作各种改动、修改和/或变型，所有的这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高效芯片清洗液，所述高效芯片清洗液包括脂肪醇聚氧乙烯醚、有机含氯溶剂、叔胺、低级醇、缓蚀剂、C2‑C3饱和烷基C2‑C3羧酸酯、去离子水。

【技术特征摘要】
1.一种高效芯片清洗液，所述高效芯片清洗液包括脂肪醇聚氧乙烯醚、有机含氯溶剂、叔胺、低级醇、缓蚀剂、C2-C3饱和烷基C2-C3羧酸酯、去离子水。2.根据权利要求1所述的高效芯片清洗液，其特征在于:所述高效芯片清洗液的各组分质量份为:2-10份脂肪醇聚氧乙烯醚、30-50份有机含氯溶剂、3-8份叔胺、10-20份低级醇、1-4份缓蚀剂、4-10份C2-C3饱和烷基C2-C3羧酸酯、30-40份去离子水。3.根据权利要求1或2所述的高效芯片清洗液，其特征在于:所述脂肪醇聚氧乙烯醚中的脂肪醇为碳原子数2-6的脂肪醇。4.根据权利要1-3任一项所述的高效芯片清洗液，其特征在于:所述有机含氯溶剂为二氯甲烷、三氯甲烷、四氯化碳、1，2-二氯乙烷、1，1,2-三氯乙烷中的任何一种或多种的混合物。5.根据权利要求1-4任一项所述的高效...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓伟，
申请(专利权)人：王晓伟，
类型：发明
国别省市：山东;37