一种湿度监测装置制造方法及图纸

技术编号:10811148 阅读:80 留言:0更新日期:2014-12-24 16:33
本发明专利技术涉及一种湿度监测装置,包括陶瓷基板,所述陶瓷基板一端上设置有阳极引线、阴极引线,所述阳极引线、阴极引线分别与第一接触点、第二接触点连接,所述第一接触点、第二接触点设置在第一梳形电极、第二梳形电极上,所述第一梳形电极、第二梳形电极前端设置有厚膜感应层,所述厚膜感应层上方设置有滤光器。本发明专利技术结构简单、制造成本低廉、自清洁能力强、监测灵敏、可靠。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种湿度监测装置,包括陶瓷基板,所述陶瓷基板一端上设置有阳极引线、阴极引线,所述阳极引线、阴极引线分别与第一接触点、第二接触点连接,所述第一接触点、第二接触点设置在第一梳形电极、第二梳形电极上,所述第一梳形电极、第二梳形电极前端设置有厚膜感应层,所述厚膜感应层上方设置有滤光器。本专利技术结构简单、制造成本低廉、自清洁能力强、监测灵敏、可靠。【专利说明】一种湿度监测装置
本专利技术涉及一种监测装置,尤其涉及一种湿度监测装置。
技术介绍
在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门,经常需要对环境湿度进行测量及控制。但在常规的环境参数中,湿度是最难准确测量的一个参数。用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法,早已无法满足现代科技发展的需要。这是因为测量湿度要比测量温度复杂的多,温度是个独立的被测量,而湿度却受其他因素(大气压强、温度)的影响。此外,湿度的标准也是一个难题。国外生产的湿度标定设备价格十分昂贵。 近年来,国内外在湿度传感器研发领域取得了长足进步。湿敏传感器正从简单的湿敏元件向集成化、智能化、多参数检测的方向迅速发展,为开发新一代湿度/温度测控系统创造了有利条件,也将湿度测量技术提高到新的水平。但目前湿度传感器技术还不完善,主要有如下问题:装置结构复杂、去污能力弱、监测不灵敏、寿命短等问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制造成本低廉、自清洁能力强、监测灵敏、可靠的湿度监测装置。 本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种湿度监测装置,包括陶瓷基板,所述陶瓷基板一端上设置有阳极引线、阴极引线,所述阳极引线、阴极引线分别与第一接触点、第二接触点连接,所述第一接触点、第二接触点设置在第一梳形电极、第二梳形电极上,所述第一梳形电极、第二梳形电极前端设置有厚膜感应层,所述厚膜感应层上方设置有滤光器。 所述厚膜感应层将吸收的水分,电离产生氢气,所述电离的氢气改变厚膜感应层的阻抗,并将监测到的电信号通过第一梳形电极、第二梳形电极输出,实现湿度与电信号的转换,所述过滤器用于防止膜感应层被污染。 在上述技术方案的基础上,本专利技术还可以做如下改进。 进一步,所述厚膜感应层厚度为I?10 μ m,所述厚膜感应层太薄不利于水分的吸收与电离,太厚不利于电阻抗变化的感应,本专利技术所述厚膜感应层最佳厚度为I?ΙΟμπι,但不局限于此。 进一步,所述厚膜感应层为多孔结构的ZrO2厚膜,所述多孔结构的ZrO2厚膜,由于有较大表面积的多孔结构,有利于水分的吸收,并且ZrO2厚膜可以将水分电离。 进一步,所述厚膜感应层设置有碱金属层,用于稳定阻抗值的调整过程。 进一步,所述阳极引线、阴极引线为铜金属线,所述铜金属线电阻小,有利于降低对输出信号的干扰。 本专利技术的有益效果是:结构简单、制造成本低廉、自清洁能力强、监测灵敏、可靠。 【专利附图】【附图说明】 图1为本专利技术一种湿度监测装置结构示意图; 附图中,各标号所代表的部件列表如下:1、陶瓷基板,2、阳极引线,3、阴极引线,4、第二接触点,5、厚膜感应层,6、过滤器,7、第一梳形电极,8、第一接触点,9、第二梳形电极。 【具体实施方式】 以下结合附图对本专利技术的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本专利技术,并非用于限定本专利技术的范围。 如图1所示,一种湿度监测装置,包括陶瓷基板,所述陶瓷基板I 一端上设置有阳极引线2、阴极引线3,所述阳极引线2、阴极引线3分别与第一接触点8、第二接触点连接4,所述第一接触点8、第二接触点4设置在第一梳形电极7、第二梳形电极9上,所述第一梳形电极7、第二梳形电极9前端设置有厚膜感应层5,所述厚膜感应层5上方设置有滤光器6。 所述厚膜感应层5将吸收的水分,电离产生氢气,所述电离的氢气改变厚膜感应层5的阻抗,并将监测到的电信号通过第一梳形电极7、第二梳形电极9输出,实现湿度与电信号的转换,所述过滤器6用于防止膜感应层5被污染。 所述厚膜感应层5厚度为I?10 μ m,所述厚膜感应层5太薄不利于水分的吸收与电离,太厚不利于电阻抗变化的感应,本专利技术所述厚膜感应层5最佳厚度为I?10 μ m,但不局限于此;所述厚膜感应层5为多孔结构的ZrO2厚膜,所述多孔结构的ZrO2厚膜,由于有较大表面积的多孔结构,有利于水分的吸收,并且ZrO2厚膜可以将水分电离;所述厚膜感应层5设置有碱金属层,用于稳定阻抗值的调整过程;所述阳极引线2、阴极引线3为铜金属线,所述铜金属线电阻小,有利于降低对输出信号的干扰。 以上所述仅为本专利技术的较佳实施例,并不用以限制本专利技术,凡在本专利技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本专利技术的保护范围之内。【权利要求】1.一种湿度监测装置,其特征在于,包括陶瓷基板,所述陶瓷基板一端上设置有阳极引线、阴极引线,所述阳极引线、阴极引线分别与第一接触点、第二接触点连接,所述第一接触点、第二接触点设置在第一梳形电极、第二梳形电极上,所述第一梳形电极、第二梳形电极前端设置有厚膜感应层,所述厚膜感应层上方设置有滤光器。2.根据权利要求1所述一种湿度监测装置,其特征在于,所述厚膜感应层厚度为I?10 μ m03.根据权利要求1所述一种湿度监测装置,其特征在于,所述厚膜感应层为多孔结构的ZrO2厚膜。4.根据权利要求1所述一种湿度监测装置,其特征在于,所述厚膜感应层设置有碱金属层。5.根据权利要求1所述一种湿度监测装置,其特征在于,所述阳极引线、阴极引线为铜金属线。【文档编号】G01N27/12GK104237324SQ201410521108【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2014年9月30日 【专利技术者】李 杰 申请人:重庆泽嘉机械有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿度监测装置,其特征在于,包括陶瓷基板,所述陶瓷基板一端上设置有阳极引线、阴极引线,所述阳极引线、阴极引线分别与第一接触点、第二接触点连接,所述第一接触点、第二接触点设置在第一梳形电极、第二梳形电极上,所述第一梳形电极、第二梳形电极前端设置有厚膜感应层,所述厚膜感应层上方设置有滤光器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李杰
申请(专利权)人:重庆泽嘉机械有限公司
类型:发明
国别省市:重庆;85

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