一种片式宽域氧传感器芯片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种片式宽域氧传感器芯片，包括包括由上至下依次层叠设置的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片、第五层流延基片以及第六层流延基片，其中，第二层流延基片上设有扩散空腔，第四层流延基片上设有反应空腔，第三层流延基片上设有连通扩散空腔和反应空腔的扩散通道；第三层流延基片的上表面设有容置于扩散空腔内的信号外泵电极，第三层流延基片的上表面还印制有覆盖在信号外泵电极上的保护层；第四层流延基片上表面设有一凹槽，凹槽内设置有绝缘层，绝缘层内设置有参比电极。本实用新型专利技术在结构设计上更加合理，强度更高，而且信号更稳定。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种片式宽域氧传感器芯片，包括包括由上至下依次层叠设置的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片、第五层流延基片以及第六层流延基片，其中，第二层流延基片上设有扩散空腔，第四层流延基片上设有反应空腔，第三层流延基片上设有连通扩散空腔和反应空腔的扩散通道；第三层流延基片的上表面设有容置于扩散空腔内的信号外泵电极，第三层流延基片的上表面还印制有覆盖在信号外泵电极上的保护层；第四层流延基片上表面设有一凹槽，凹槽内设置有绝缘层，绝缘层内设置有参比电极。本技术在结构设计上更加合理，强度更高，而且信号更稳定。【专利说明】一种片式宽域氧传感器芯片
本技术涉及传感器技术，尤其涉及一种片式宽域氧传感器芯片。
技术介绍
稀薄燃烧技术可以提高燃油效率降低尾气污染物的排放，但稀燃烧容易造成发动机熄火，且混合不合理会产生过量的NOx化合物，导致环境污染，宽域氧传感器可以精确监测全范围汽车尾气中的准确氧含量，来反应发动机运行状况，然后发动机电脑(ECU)才能根据其实时状况进行调整，从而提高燃烧效率、降低污染排放量和检测三元催化运行状况。 在现有技术中，有的传感器的气体通道孔在芯片制备过程中容易变形造成堵塞，在使用过程中也易被堵塞，从而使信号偏离，有的传感器采用空气参比通道，由于尾气附近空气的浓度变化，会造成信号的偏移。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于:提供一种片式宽域氧传感器芯片，不仅结构更加合理，通气孔不容易堵塞，有效的提高了传感器的强度，而且控制范围更广，信号更稳定。 为解决上述技术问题，本技术提出了一种片式宽域氧传感器芯片，包括由上至下依次层叠设置的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片、第五层流延基片以及第六层流延基片，其中， 所述第二层流延基片上设有扩散空腔，所述第四层流延基片上设有反应空腔，所述第三层流延基片上设有连通扩散空腔和反应空腔的扩散通道； 所述第三层流延基片的上表面设有容置于扩散空腔内的信号外泵电极，所述第三层流延基片的上表面还印制有覆盖在信号外泵电极上的保护层； 所述第四层流延基片上表面设有一凹槽，所述凹槽内设置有第一绝缘层，所述第一绝缘层内设置有参比电极； 所述反应空腔内设有若干信号内泵电极，所述反应空腔内设有将信号内泵电极与扩散通道隔离的扩散障碍层； 所述第五层流延基片与第六层流延基片之间设有第二绝缘层，所述第二绝缘层内设有加热电极，所述加热电极通过电极引脚引到传感器的表面。 进一步地，所述信号内泵电极分别对称设置在第三层流延基片的下表面和第五层流延基片的上表面。 优选地，所述扩散障碍层为带有气孔的蜂窝状结构。 进一步地，所述第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片、第五层流延基片以及第六层流延基片的材质均为氧化锆。 进一步地，所述信号外泵电极、信号内泵电极和参比电极的材质均为钼与氧化锆陶瓷形成的多孔材料。 优选地，所述钼与氧化锆陶瓷的粉体的粒度都小于lum。 进一步地,所述加热电极是由贵金属钼制成。 优选地，所述钼的粒度小于0.5um。 进一步地，所述第一绝缘层和第二绝缘层的材质为致密氧化铝质。 上述技术方案至少具有如下有益效果:本技术通过采用由上至下依次层叠设置的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片、第五层流延基片以及第六层流延基片的结构，结构设计更加合理，结构更牢固，强度更高，而且扩散空腔、扩散通道以及反应空腔都不容易堵塞，有效的提高了传感器的检测精度，控制范围更广，信号更稳定。 【专利附图】【附图说明】 图1是本技术片式宽域氧传感器芯片的纵向剖视图。 图2是本技术片式宽域氧传感器芯片的横向剖视图。 【具体实施方式】 需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图对本技术做进一步描述。 如图1、图2所示，本技术实施例的片式宽域氧传感器芯片，包括由上至下依次层叠设置的第一层流延基片1、第二层流延基片2、第三层流延基片3、第四层流延基片4、第五层流延基片5以及第六层流延基片6，以上流片流延基片的材质均为氧化锆，其中， 第二层流延基片2上设有扩散空腔21，第四层流延基片4上设有反应空腔41，第三层流延基片3上设有连通扩散空腔21和反应空腔41的扩散通道31。 第三层流延基片3的上表面设有容置于扩散空腔21内的信号外泵电极7，第三层流延基片3的上表面还印制有覆盖在信号外泵电极7上的保护层8。 第三层流延基片3与第四层流延基片4之间设有第一绝缘层12，绝缘第一层12内设置有参比电极13 ;反应空腔41内设有若干信号内泵电极9，反应空腔41内设有将信号内泵电极9与扩散通道31隔离的扩散障碍层10，具体地，本实施例中，信号内泵电极9分别对称设置在第三层流延基片3的下表面和第五层流延基片5的上表面，并通过导线连接，扩散障碍层10为带有气孔的蜂窝状结构，蜂窝状结构更有利于气体的流动。 第五层流延基片5与第六层流延基片6之间设有第二绝缘层16，第二绝缘层16内设有加热电极14，加热电极14通过电极引脚15引到传感器的表面。 信号外泵电极7、信号内泵电极9和参比电极13的材质均为钼与氧化锆陶瓷形成的多孔材料，其中，钼与氧化锆陶瓷的粉体的粒度都小于lum。 加热电极14是由贵金属钼制成，所述钼的粒度小于0.5um，加热电极14是为了提高加热速率并满足芯片工作时的热分布要求。 第一绝缘层12和第二绝缘层16的材质为致密氧化铝质。 宽域氧传感器的工作原理为:扩散空腔21起采集尾气样品的作用，采集到的尾气样品通过扩散通道31经过环形扩散障碍层10进入到反应空腔41中，根据尾气浓度的不同，信号内泵电极9与参比电极13之间将产生一个能斯特电动势。 本技术通过采用由上至下依次层叠设置的第一层流延基片1、第二层流延基片2、第三层流延基片3、第四层流延基片4、第五层流延基片5以及第六层流延基片6的结构，结构设计更加合理，结构更牢固，强度更高，而且扩散空腔21、扩散通道31以及反应空腔41都不容易堵塞，有效的提高了传感器的检测精度，控制范围更广，信号更稳定。 以上所述是本技术的【具体实施方式】，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本技术的保护范围。【权利要求】1.一种片式宽域氧传感器芯片，其特征在于，包括由上至下依次层叠设置的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片、第五层流延基片以及第六层流延基片，其中， 所述第二层流延基片上设有扩散空腔，所述第四层流延基片上设有反应空腔，所述第三层流延基片上设有连通扩散空腔和反应空腔的扩散通道； 所述第三层流延基片的上表面设有容置于扩散空腔内的信号外泵电极，所述第三层流延基片的上表面还印制有覆盖在信号外泵电极上的保护层； 所述第四层流延基片上表面设有一凹槽，所述凹槽内设置有第一绝缘层，所述第一绝缘层内设置有参比电极； 所述反应空腔内设有若干信号内泵电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种片式宽域氧传感器芯片，其特征在于，包括由上至下依次层叠设置的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片、第五层流延基片以及第六层流延基片，其中，所述第二层流延基片上设有扩散空腔，所述第四层流延基片上设有反应空腔，所述第三层流延基片上设有连通扩散空腔和反应空腔的扩散通道；所述第三层流延基片的上表面设有容置于扩散空腔内的信号外泵电极，所述第三层流延基片的上表面还印制有覆盖在信号外泵电极上的保护层；所述第四层流延基片上表面设有一凹槽，所述凹槽内设置有第一绝缘层，所述第一绝缘层内设置有参比电极；所述反应空腔内设有若干信号内泵电极，所述反应空腔内设有将信号内泵电极与扩散通道隔离的扩散障碍层；所述第五层流延基片与第六层流延基片之间设有第二绝缘层，所述第二绝缘层内设有加热电极，所述加热电极通过电极引脚引到传感器的表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄海琴，宗红军，黄海军，
申请(专利权)人：深圳市普利斯通传感科技有限公司，江澍，
类型：新型
国别省市：广东;44