【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种双敏感源的声表面波传感器，属于电子功能材料与器件
。该传感器包括衬底基片，所述衬底基片为LGS衬底基片，衬底基片上设置有界面谐振器及AlN薄膜层，AlN薄膜层完全覆盖界面谐振器，AlN薄膜层上设置有表面谐振器，且表面谐振器在竖直方向的投影与界面谐振器的竖直投影重合，所述界面谐振器与表面谐振器皆为声表面波谐振器，声表面波谐振器中的金属薄膜电极的材质为耐高温金属。器件结构简单，能够同时对应力及温度进行有效监测，由于材质为LGS、AlN及耐高温金属，因而可适用于高温复杂环境，无源无线，稳定性强。本专利技术适用于对应力和温度同时进行监测。【专利说明】
本专利技术属于电子功能材料与器件
，涉及一种双敏感源的声表面波传感 器，尤其是基于LGS与A1N相复合的、同时监测应力和温度的双敏感源的声表面波传感器。 双敏感源声表面波传感器
技术介绍
声表面波，泛指在弹性体自由表面产生并限制在表面或者界面附近传播的各种模 式的波。基于声表面波技术所制作的器件因其具有尺寸小、价格低廉、工艺简单、性能优良 等特点，故在无线通信系...
【技术保护点】
双敏感源的声表面波传感器，包括衬底基片，其特征在于，所述衬底基片为LGS衬底基片，衬底基片上设置有界面谐振器及AlN薄膜层，AlN薄膜层完全覆盖界面谐振器，AlN薄膜层上设置有表面谐振器，且表面谐振器在竖直方向的投影与界面谐振器的竖直投影重合，所述界面谐振器与表面谐振器皆为声表面波谐振器，声表面波谐振器中的金属薄膜电极的材质为耐高温金属。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴钊，舒琳，彭斌，张万里，王瑜，李川，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51
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