【技术实现步骤摘要】
一种基于光学天线的太赫兹探测器
本专利技术涉及太赫兹信号探测领域，更涉及一种利用光学天线作为信号接收部件的 探测器结构，能够实现更大的响应。
技术介绍
太赫兹是一种频率介于红外和微波之间的电磁波，其具有很多独特的性能。由于 太赫兹的频率很高，其空间分辨率和时间分辨率很高。同时许多非金属极性材料对太赫兹 射线吸收较小，因此能够探测材料内部信息，加之太赫兹电磁能量较小，不会对物质产生破 坏作用，且生物分子振动和转动频率的共振频率均在太赫兹波段，因此太赫兹在农业和食 品加工行业也有着良好的应用前景。目前太赫兹已经给宽带通信、雷达、医学成像、无损检 测、安全检查等领域带来了深远的影响。 目前已经有了多种太赫兹信号探测器结构的报道，如文献【F Schuster，Optics Express, Vol. 19, No. 8, April2011】中报道的利用顶层金属制作微带天线构成的太赫兹探 测器，其结构如图1所示，顶层金属制作的微带天线104和105经过通孔分别与晶体管的源 101和漏102相连接，工作时在晶体管栅极103上加合适偏置电压，微...
【技术保护点】
一种基于光学天线的太赫兹探测器，其特征是包括多晶硅材料层制成的光学天线、晶体管或场效应管；光学天线分别置于晶体管的源极和漏极两端，天线边缘距离晶体管栅极边缘间距为100～500nm，光学天线与晶体管源端、漏端和栅端通过标准工艺中填充氧化物隔开；光学天线与晶体管栅极采用同一层多晶硅材料，但掺杂通过其他工艺来单独实现，其厚度为100～300nm；光学天线采用偶极子天线、领结形天线天线结构，材料为掺杂多晶硅材料，多晶硅材料的掺杂浓度为1017～1020；光学天线的太赫兹探测器工作方案为，在晶体管栅极上加上直流偏置电压，源极接地，漏极浮空，信号电压从漏极输出。
【技术特征摘要】
1. 一种基于光学天线的太赫兹探测器，其特征是包括多晶硅材料层制成的光学天线、 晶体管或场效应管；光学天线分别置于晶体管的源极和漏极两端，天线边缘距离晶体管栅 极边缘间距为100?500nm，光学天线与晶体管源端、漏端和栅端通过标准工艺中填充氧化 物隔开；光学天线与晶体管栅极采用同一层多晶硅材料，但掺杂通过其他工艺来单独实现， 其厚度为1〇〇?300nm ;光学天线采用偶极子天线、领结形天线天线结构，材料为掺杂多晶 硅材料，多晶硅材料的掺杂浓度为1〇17?1〇 2° ;光学天线的太赫兹探测器工作方案为，在晶 体管栅极上加上直流偏置电压，源极接地，漏极浮空，信号电压从漏极输出。2. 根据权利要求1所述的基于光学天线的太赫兹探测器，其特征是采用多晶硅作为天 线材料，晶体管栅极部位303位于天线间隙的中间，晶体管栅极303亦为多晶硅层，栅长尺 寸为50?300nm。晶体管栅极303做娃金属化（silicide)工艺，以改善导电性，而光学天...
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