CWDM薄膜滤光片制造技术

技术编号:10461272 阅读:128 留言:0更新日期:2014-09-24 15:36
本实用新型专利技术公开了一种CWDM薄膜滤光片,它是由玻璃基板、高反膜和增透膜构成,高反膜设在玻璃基板的一侧表面,增透膜设在玻璃基板的另一侧表面,所述高反膜是由69个五氧化二钽反射介质层和69个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的138层结构,第1层至第137层的奇数层为五氧化二钽反射介质层,第2层至第138层的偶数层为二氧化硅反射介质层。由于采用上述的结构形式,本实用新型专利技术通过膜层的材料、厚度和叠放方式以及层数,膜层数从200层较少到138层,产品的生产良率能提高到90%以上;由于减少了层数和各层的厚度设计,故将本实用新型专利技术的滤光片称为超薄型CWDM薄膜滤光片,该滤光片的反射插入损耗可做到0.15DB。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种CWDM薄膜滤光片,它是由玻璃基板、高反膜和增透膜构成,高反膜设在玻璃基板的一侧表面,增透膜设在玻璃基板的另一侧表面,所述高反膜是由69个五氧化二钽反射介质层和69个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的138层结构,第1层至第137层的奇数层为五氧化二钽反射介质层,第2层至第138层的偶数层为二氧化硅反射介质层。由于采用上述的结构形式,本技术通过膜层的材料、厚度和叠放方式以及层数,膜层数从200层较少到138层,产品的生产良率能提高到90%以上;由于减少了层数和各层的厚度设计,故将本技术的滤光片称为超薄型CWDM薄膜滤光片,该滤光片的反射插入损耗可做到0.15DB。【专利说明】
本技术涉及一种滤光片,特别是一种CWDM薄膜滤光片。 CWDM薄膜滤光片
技术介绍
DWDM (即密集波分复用)是当今光纤应用领域的首选技术,但其昂贵的价格令不少 手头不够宽裕的运营商颇为踌躇。那么有没有或能以较低的成本享用波分复用技术呢?面 对这一需求,CWDM (稀疏波分复用)便应运而生了。CWDM调制激光采用非冷却激光,而DWDM 采用的是冷却激光。冷却激光采用温度调谐,非冷却激光采用电子调谐。由于在一个很宽 的波长区段内温度分布很不均匀,因此温度调谐实现起来难度很大,成本也很高。CWDM避开 了这一难点,因则大幅降低了成本。随着光通信市场的不断发展,CWDM器件需求出现连年增 长的趋势,各器件商也对该产品的性能不断升级改进,对器件的性能,外观,尺寸都提出了 较高的要求。作为器件最主要的组成部件CWDM薄膜滤光片也做了一系列升级改进。目前 实际采用的CWDM封装尺寸基本上都是110 X 80 X 12mm3,所采用的CWDM薄膜滤光片的尺寸 为1. 4*1. 4*1. 0 ;CWDM器件损耗的最根本因素是准直器之间的耦合损耗和滤波器损耗。因 此它的损耗也必然较大,尤其是在信道数量较大的时候准直器对的损耗都在〇. 2dB左右。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中的不足,提供一种反射插入损耗低的CWDM 薄膜滤光片。 为实现上述目的,本技术所采用的技术方案是: CWDM薄膜滤光片,它是由玻璃基板、高反膜和增透膜构成,高反膜设在玻璃基板的 一侧表面,增透膜设在玻璃基板的另一侧表面,所述高反膜是由69个五氧化二钽反射介质 层和69个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的138层结构,第1层至第137层的奇数层为 五氧化二钽反射介质层,第2层至第138层的偶数层为二氧化硅反射介质层。 所述偶数层中,其中,第6层的厚度为1658. 65um,第20层的厚度为552. 88um,第 138层的厚度为408. 8um,其余偶数层的厚度均为276. 44um ;所述奇数层中,第19层的厚度 为565. 57um,第137层的厚度为46. 47um,其余奇数层的厚度均为188. 52um。 所述增透膜是由1个五氧化二钽反射介质层和1个二氧化硅反射介质层构成,第1 层为二氧化硅反射介质层,紧贴在玻璃基板的表面,第2层为五氧化二钽反射介质层,紧贴 在第1层的表面。 所述增透膜的厚度为421. 97um。 所述增透膜中,第一层的厚度为66. 37um,第二层的厚度为355. 6um。 本技术的有益效果:由于采用上述的结构形式,本技术通过膜层的材料、 厚度和叠放方式以及层数,经过大量实验和尝试,膜层数从200层较少到138层,Surface quality (40/20)指标良率提商到90%以上;由于减少了层数,故将本技术的滤光片称 为超薄型CWDM薄膜滤光片,能使现有的CWDM器件封装盒减小了 10倍;另外,该滤光片的反 射插入损耗可做到0. 15DB。 【专利附图】【附图说明】 下面结合附图和【具体实施方式】对本技术作进一步详细说明: 图1为本技术的结构示意图。 图中:1、玻璃基板;2、高反膜;3、增透膜。 【具体实施方式】 如图1所示,CWDM薄膜滤光片,它是由玻璃基板1、高反膜2和增透膜3构成,高 反膜2设在玻璃基板1的一侧表面,增透膜3设在玻璃基板1的另一侧表面,所述高反膜 2是由69个五氧化二钽反射介质层和69个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的138层结 构,第1层至第137层的奇数层为五氧化二钽反射介质层,第2层至第138层的偶数层为 二氧化硅反射介质层。所述偶数层中,其中,第6层的厚度为1658. 65um,第20层的厚度为 552. 88um,第138层的厚度为408. 8um,其余偶数层的厚度均为276. 44um ;所述奇数层中,第 19层的厚度为565. 57um,第137层的厚度为46. 47um,其余奇数层的厚度均为188. 52um。 所述增透膜3是由1个五氧化二钽反射介质层和1个二氧化硅反射介质层构成, 第1层为二氧化硅反射介质层,紧贴在玻璃基板的表面,第2层为五氧化二钽反射介质层, 紧贴在第1层的表面。所述增透膜的厚度为421. 97um。所述增透膜中,第一层的厚度为 66. 37um,第二层的厚度为355. 6um。 以上所述是本技术的优选实施方式而已,当然不能以此来限定本技术之 权利范围,应当指出,对于本
的普通技术人员来说,对本技术的技术方案进行 修改或者等同替换,都不脱离本技术技术方案的保护范围。【权利要求】1. 一种CWDM薄膜滤光片,其特征在于:它是由玻璃基板、高反膜和增透膜构成,高反膜 设在玻璃基板的一侧表面,增透膜设在玻璃基板的另一侧表面,所述高反膜是由69个五氧 化二钽反射介质层和69个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的138层结构,第1层至第 137层的奇数层为五氧化二钽反射介质层,第2层至第138层的偶数层为二氧化硅反射介质 层。2. 根据权利要求1所述的CWDM薄膜滤光片,其特征在于:所述偶数层中,其中,第6 层的厚度为1658. 65um,第20层的厚度为552. 88um,第138层的厚度为408. 8um,其余偶 数层的厚度均为276. 44um ;所述奇数层中,第19层的厚度为565. 57um,第137层的厚度为 46. 47um,其余奇数层的厚度均为188. 52um。3. 根据权利要求1或2所述的CWDM薄膜滤光片,其特征在于:所述增透膜是由1个五 氧化二钽反射介质层和1个二氧化硅反射介质层构成,第1层为二氧化硅反射介质层,紧贴 在玻璃基板的表面,第2层为五氧化二钽反射介质层,紧贴在第1层的表面。4. 根据权利要求3所述的CWDM薄膜滤光片,其特征在于:所述增透膜的厚度为 421. 97um。5. 根据权利要求4所述的CWDM薄膜滤光片,其特征在于:所述增透膜中,第一层的厚 度为66. 37um,第二层的厚度为355. 6um。【文档编号】G02B1/11GK203849447SQ201420278483【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年5月28日 优先权日:2014年5月28日 【专利技术者】王朋飞 申请人:奥普镀膜技术(广州)有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种CWDM薄膜滤光片,其特征在于:它是由玻璃基板、高反膜和增透膜构成,高反膜设在玻璃基板的一侧表面,增透膜设在玻璃基板的另一侧表面,所述高反膜是由69个五氧化二钽反射介质层和69个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的138层结构,第1层至第137层的奇数层为五氧化二钽反射介质层,第2层至第138层的偶数层为二氧化硅反射介质层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王朋飞
申请(专利权)人:奥普镀膜技术广州有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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