一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置制造方法及图纸

一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，设置原料净化单元、燃烧吸收单元和产品提纯单元；原料净化单元设备包括黄磷漂洗槽、空气洗涤塔和高位供磷槽，燃烧吸收单元设备包括矩形管气化黄磷燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、文丘里管、电除雾器和引风机，产品提纯单元设备包括调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、隔板结晶器、脱硫过滤机和产品调配槽；黄磷漂洗槽、高位供磷槽、矩形管气化黄磷燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、隔板结晶器、脱硫过滤机和产品调配槽依次连接，其中矩形管气化黄磷燃烧炉并与空气洗涤塔连接，副吸收塔另与依次连接和文丘里管、电除雾器和引风机依次连接。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置
本技术属于化工设备
，涉及一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置。
技术介绍
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器（TFT-IXD) 等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、导电 性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用 于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻，由于不溶性固体颗粒或者金属离子都可能在微细电路 之间导通电流，使之短路，所以电子级磷酸对不溶性固体颗粒和绝大多数金属离子含量都 有苛刻的要求。 由于电子级磷酸中要求金属离子杂质含量极少，分离难度较大，通常以食品级磷 酸或初步提纯过的工业级磷酸为原料来制备电子级磷酸。目前，磷酸的净化方法一般有：溶 剂萃取法、离子交换法、电渗析法、结晶法等。与其它几种方法相比，结晶法有着能耗低、设 备简单、操作成本小、污染小的优点，同时产品纯度高，色度好，一直被作为电子级磷酸制备 的重点研究方法。 中国专利CN200910094409. 3, 一种用黄磷直接制取电子级磷酸的方法涉及磷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，设置原料净化单元、燃烧吸收单元和产品提纯单元；原料净化单元设备包括黄磷漂洗槽（0）、空气洗涤塔（3）和高位供磷槽（5），燃烧吸收单元设备包括矩形管气化黄磷燃烧炉（6）、主吸收塔（8）、副吸收塔（10）、文丘里管（13）、电除雾器（14）和引风机（15），产品提纯单元设备包括调酸槽（16）、脱砷反应器（17）、脱砷过滤机（19）、脱硫塔（20）、隔板结晶装置（22）、板框压滤机（25）和产品调配槽（27）；黄磷漂洗槽（0）、高位供磷槽（5）、矩形管气化黄磷燃烧炉（6）、主吸收塔（8）、副吸收塔（10）、调酸槽（16）、脱砷反应器（17）、脱砷过滤机（19）、脱硫...

【技术特征摘要】
1. 一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，设置原料净化单元、燃烧吸收单元和产品提 纯单元；原料净化单元设备包括黄磷漂洗槽（0 )、空气洗涤塔（3 )和高位供磷槽（5 )，燃烧吸 收单元设备包括矩形管气化黄磷燃烧炉（6)、主吸收塔（8)、副吸收塔（10)、文丘里管（13)、 电除雾器（14)和引风机（15)，产品提纯单元设备包括调酸槽（16)、脱砷反应器（17)、脱砷 过滤机（19)、脱硫塔（20)、隔板结晶装置（22)、板框压滤机（25)和产品调配槽（27);黄磷漂 洗槽（〇)、高位供磷槽（5)、矩形管气化黄磷燃烧炉（6)、主吸收塔（8)、副吸收塔（10)、调酸 槽（16)、脱砷反应器（17)、脱砷过滤机（19)、脱硫塔（20)、隔板结晶装置（22)、板框压滤机 (25 )和产品调配槽（27 )依次连接，其中矩形管气化黄磷燃烧炉（6 )与空气洗涤塔（3 )连接， 副吸收塔（10)另与文丘里管（13)、电除雾器（14)和引风机（15)依次连接。2. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 黄磷漂洗槽（〇)设有水洗循环泵（1 )，并设有加热夹套和黄磷出料口，加热夹套的进水口与 矩形管气化黄磷燃烧炉（6)顶部的出水口连接，黄磷出料口与高位供磷槽（5)顶部的进料 口连接。3. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 高位供磷槽（5)主要设有计量器、夹套，高位供磷槽（5)的熔磷出口与调节阀采用耐酸管连 接，计量器前后与调节阀采用耐酸管连接，矩形管气化黄磷燃烧炉（6)下段的熔磷进口与调 节阀采用耐酸管连接，熔磷槽的进水口采用保温水管与燃烧炉上段的出水口连接。4. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 空气洗涤塔（3)包括净化塔、酸储槽、酸循环泵（2)，空气洗涤塔（3)顶部设置喷洒头，并采 用耐酸管与酸循环泵（2)连接，空气洗涤（3)下段采用耐酸管与酸储槽和酸循环泵（2)依次 连接，或连接在热法磷酸生产装置中，供风机与空气洗涤塔（3)下段采用耐酸管连接。5. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 矩形管气化黄磷燃烧炉（6 )包括燃烧炉内设有矩形气化管、托钩和支撑架，矩形气化管的一 端从矩形角斜向下延伸至燃烧炉底部中间，并且在矩形气化管尾端设置喷嘴，另一端通过 燃烧炉的炉夹套设置的套管与熔磷槽连接。6. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 主吸收塔（8)和副吸收塔（10)采用常规的磷酸水合吸收塔，所述的主吸收塔（8)附设有浓 酸泵（9 )和浓酸槽（7 )，所述的浓酸槽（7 )的进酸口分别与矩形管气化黄磷燃烧炉（6 )上段 的出酸口和主吸收塔（8)下端的出酸口连接，所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林军，吴小海，苏杰文，
申请(专利权)人：广西明利化工有限公司，
类型：新型
国别省市：广西;45