一种列管结晶生产电子级磷酸的方法技术

本发明专利技术公开了一种列管结晶生产电子级磷酸的方法，将原料酸输送至装有立式列管的储酸槽中，向立式列管通入冷却介质，将磷酸半水晶种投加至立式列管的外壁上，诱发结晶，待结晶层厚度达4.5~6cm时，停止通入并排出立式列管中的冷却介质，排出储酸槽中的，用洗晶液洗涤晶体表面及储酸槽内残余的液相并排尽；向立式列管通入热水，结晶层逐级发汗熔融，进行四级发汗；最后调节磷酸的温度及浓度制得成品电子级磷酸。本发明专利技术操作简单，能耗低，产品纯度高，产品回收率高，充分利用能源，降低了生产成本，具有良好的经济效益。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，将原料酸输送至装有立式列管的储酸槽中，向立式列管通入冷却介质，将磷酸半水晶种投加至立式列管的外壁上，诱发结晶，待结晶层厚度达4.5~6cm时，停止通入并排出立式列管中的冷却介质，排出储酸槽中的，用洗晶液洗涤晶体表面及储酸槽内残余的液相并排尽；向立式列管通入热水，结晶层逐级发汗熔融，进行四级发汗；最后调节磷酸的温度及浓度制得成品电子级磷酸。本专利技术操作简单，能耗低，产品纯度高，产品回收率高，充分利用能源，降低了生产成本，具有良好的经济效益。【专利说明】
本专利技术属于磷化工
，涉及。
技术介绍
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-1XD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、导电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻，由于不溶性固体颗粒或者金属离子都可能在微细电路之间导通电流，使之短路，所以电子级磷酸对不溶性固体颗粒和绝大多数金属离子含量都有苛刻的要求。由于电子级磷酸中要求金属离子杂质含量极少，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林军，吴小海，苏杰文，王文营，
申请(专利权)人：广西明利化工有限公司，
类型：发明
国别省市：