【技术实现步骤摘要】
一种OGS触摸屏的制作工艺
本专利技术涉及触摸屏领域,特别是一种OGS触摸屏的制作工艺。
技术介绍
目前OGS电容式触摸屏普遍采用的边框工艺为丝网印刷或BM光阻剂(与ITO层在同一面),可以基本满足OGS触摸屏的使用要求,但无论是丝网印刷还是BM光阻剂都无法耐受高温,即温度不能高于230°C,即ITO膜层沉积时不能采用超过230°C的温度造成ITO膜层沉积质量较低,从产品的良品率不高。
技术实现思路
本专利技术所要达到的目的是提供一种OGS触摸屏的制作工艺,可使用超过230°C的温度沉积ITO导电膜层。为了达到上述目的,本专利技术采用如下技术方案:一种OGS触摸屏的制作工艺,包括下述步骤,在玻璃基板的一面沉积金属化合物,使用蚀刻工艺制作形成金属边框层,金属化合物为TiCN或TiN ;在金属边框层上沉积一层五氧化二铌;在五氧化二铌上覆盖一层二氧化硅与五氧化二铌共同构成消影膜;在消影膜上溅射氧化铟锡并使用340°C _360°C的温度退火处理形成ITO导电膜,在ITO导电膜上蚀刻电路;在ITO导电膜上覆盖OC绝缘层绝缘;在OC绝缘膜层上沉积一层金属膜层,在金属膜层上蚀刻过桥和电路;在金属膜层上覆盖一层保护层;进行一遍或两遍边框丝印制成OGS触摸传感器;使用OCA光学胶将显示屏贴合在OGS触摸传感器带有保护层的一面制成OGS触摸屏。进一步的,在玻璃基板的一面反应溅射沉积金属化合物时温度在280°C -320°C。进一步的,所述消影膜的沉积镀膜温度为210°C _230°C。进一步的,在OC绝缘层上沉积金属膜层的温度为215°C _225°C。进一步的,所 ...
【技术保护点】
一种OGS触摸屏的制作工艺,其特征在于:包括下述步骤,(A)在玻璃基板的一面沉积金属化合物,使用蚀刻工艺制作形成金属边框层,金属化合物为TiCN或TiN;(B)在金属边框层上沉积一层五氧化二铌;(C)在五氧化二铌上覆盖一层二氧化硅与五氧化二铌共同构成消影膜;(D)在消影膜上溅射氧化铟锡并使用340℃‑360℃的温度退火处理形成ITO导电膜,在ITO导电膜上蚀刻电路;(E)在ITO导电膜上覆盖OC绝缘层绝缘;(F)在OC绝缘膜层上沉积一层金属膜层,在金属膜层上蚀刻过桥和电路;(G)在金属膜层上覆盖一层保护层;(H)进行一遍或两遍边框丝印制成OGS触摸传感器;(I)使用OCA光学胶将显示屏贴合在OGS触摸传感器带有保护层的一面制成OGS触摸屏。
【技术特征摘要】
1.一种OGS触摸屏的制作工艺,其特征在于:包括下述步骤, (A)在玻璃基板的一面沉积金属化合物,使用蚀刻工艺制作形成金属边框层,金属化合物为TiCN或TiN ; (B)在金属边框层上沉积一层五氧化二铌; (C)在五氧化二铌上覆盖一层二氧化硅与五氧化二铌共同构成消影膜; (D)在消影膜上溅射氧化铟锡并使用340°C_360°C的温度退火处理形成ITO导电膜,在ITO导电膜上蚀刻电路; (E)在ITO导电膜上覆盖OC绝缘层绝缘; (F)在OC绝缘膜层上沉积一层金属膜层,在金属膜层上蚀刻过桥和电路; (G)在金属膜层上覆盖一层保护层; (H)进行一遍或两遍边框丝印制成OG...
【专利技术属性】
技术研发人员:张吉,
申请(专利权)人:浙江金指科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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