一种涉及光电阴极产品领域，尤指一种应用于光电阴极制作时的影像增强器，用于影像增强器中含氧结构阴极制作的控制装置，是精确控制含氧量，提高光电阴极质量的一种有效的氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置。本实用新型专利技术通过充氧电磁阀、氧输入流量率调节阀和真空压力测量仪等部件组合为一整体的光电阴极氧元素控制装置，该装置与主真空系统相互连接，端口与影像增强器相互连接。主要解决如何设计一种简单有效的控制结构等有关技术问题。本实用新型专利技术的有益效果是：能精确的判断出合适的含氧量，并能针对不同的增强器性能的差异，充入不同量的氧，更适合每个管子所需的充氧量，具有控制直观、有效以及操作方便、质量可靠等优点。
【技术实现步骤摘要】
氧-铺-铯光电阴极氧元素控制装置
本技术涉及光电阴极产品领域，尤指一种主要应用于光电阴极制作时的影像增强器，用于影像增强器中多碱金属光电阴极改进型的含氧结构阴极制作，是精确控制含氧量，提高光电阴极质量的一种有效的控制装置。
技术介绍
含氧结构阴极制作过程中的，要充入合适的纯氧，由于每个影像增强器所需的氧量非常少，而且每个都有差异。虽然这种方法制成的阴极具有逸出功低、抗干扰能力强。但要精确控制这些氧量，是十分困难的。而且，每一个管子在在完成第一层锑-铯阴极后，其性状还存在着一定的差异，它们对氧量的需求也就是各不相同的。目前，市场尚无能精确控制含氧量的控制装置，所以，在应用于工业生产时，还需考虑投入成本，控制直观、有效。但目前，由于没有现成的资料可参考，怎么结合影像增强器的特点，找到一种简单有效的控制结构、应用于这种装置是必需结合产品的特点，如何自己摸索出有效的方法，也是必须考虑的问题。
技术实现思路
为了克服上述不足之处，本技术的主要目的旨在提供一种含氧结构阴极制作过程中的控制装置，该装置利用阴极制作光电流的变化，结合该系统真空度的变化，精确的判断出合适的含氧量，并能针对不同的增强器性能的差异，充入不同量的氧，更适合每个管子所需的充氧量，达到降低成本、结构合理以及更有利于提高影像增强器光均匀性的氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置。本技术要解决的技术问题是:主要解决如何设计一种简单有效的控制结构问题；要解决如何设计为结合各个产品特点的结构等有关技术问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:该装置包括影像增强器、主真空系统及其光电阴极等部件，还包括:氧气入口、充氧电磁阀、氧输入流量率调节阀、真空压力测量仪、氧输出流量率调节阀、氮气入口、充氮气动阀、手动调节阀、充氧系统真空阀、充气气动阀、端口、高真空气动阀、涡轮分子真空泵和氧暂存器，上述各部件组合为一整体的光电阴极氧元素控制装置，该光电阴极氧元素控制装置与主真空系统相互连接，端口与影像增强器相互连接，该光电阴极氧元素控制装置至少包括有:氧气入口通过不锈钢管道依次与充氧电磁阀、氧输入流量率调节阀)的一端相互联接，氧输入流量率调节阀另一端的第一路与真空压力测量仪的一端相互联接，第二路与氧输出流量率调节阀的一端相互联接，第三路与氧暂存器的一端相互联接；氧输出流量率调节阀另一端的第一路通过手动调节阀与充氮气动阀和充气气动阀的连接点相互联接，第二路通过充氧系统真空阀)与高真空气动阀和涡轮分子真空泵的连接点相互联接；氮气入口通过不锈钢管道依次与充氮气动阀和充气气动阀的一端相互联接，充气气动阀的另一端与端口和高真空气动阀的连接点相互联接；涡轮分子真空泵与高真空气动阀的一端相互联接，高真空气动阀的另一端与端口相互联接。进一步的，所述的氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置的不锈钢管道的内径为8毫米，并在其管道上缠绕有加热带。本技术的有益效果是:该装置利用阴极制作光电流的变化，结合该系统真空度的变化，能精确的判断出合适的含氧量，并能针对不同的增强器性能的差异，充入不同量的氧，更适合每个管子所需的充氧量，达到降低成本、结构合理以及更有利于提高影像增强器光均匀性的要求，具有控制直观、有效以及操作方便、质量可靠等优点。【附图说明】下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图1是本技术整体结构示意图；附图中标号说明:1一氧气入口 ；8—手动调节阀；2—充氧电磁阀；9一充氧系统真空阀；3—氧输入流量率调节阀； 10—充气气动阀；4一真空压力测量仪；11一端口 ；5—氧输出流量率调节阀； 12—高真空气动阀；6—氮气入口；13—涡轮分子真空泵；7—充氮气动阀；14 一氧暂存器；【具体实施方式】请参阅附图1所示，本技术包括:影像增强器、主真空系统及其光电阴极等部件，还包括:氧气入口 1、充氧电磁阀2、氧输入流量率调节阀3、真空压力测量仪4、氧输出流量率调节阀5、氮气入口 6、充氮气动阀7、手动调节阀8、充氧系统真空阀9、充气气动阀10、端口 11、高真空气动阀12、涡轮分子真空泵13和氧暂存器14，上述各部件组合为一整体的光电阴极氧元素控制装置，该光电阴极氧元素控制装置与主真空系统相互连接，端口 11与影像增强器相互连接，该光电阴极氧元素控制装置至少包括有:氧气入口 I通过不锈钢管道依次与充氧电磁阀2、氧输入流量率调节阀3的一端相互联接，氧输入流量率调节阀3另一端的第一路与真空压力测量仪4的一端相互联接，第二路与氧输出流量率调节阀5的一端相互联接，第三路与氧暂存器14的一端相互联接；氧输出流量率调节阀5另一端的第一路通过手动调节阀8与充氮气动阀7和充气气动阀10的连接点相互联接，第二路通过充氧系统真空阀9与高真空气动阀12和涡轮分子真空泵13的连接点相互联接；氮气入口 6通过不锈钢管道依次与充氮气动阀7和充气气动阀10的一端相互联接，充气气动阀10的另一端与端口 11和高真空气动阀12的连接点相互联接；涡轮分子真空泵13与高真空气动阀12的一端相互联接，高真空气动阀12的另一端与端口 11相互联接。进一步的，所述的氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置的不锈钢管道的内径为8毫米，并在其管道上缠绕有加热带。本技术利用阴极制作光电流的变化(该测量装置在设备中已存在，用作阴极制作时光电流的测量)，结合该系统真空度的变化，精确的判断出合适的氧量。避开了使用高精度微量流量的测量，降低了设备的投入成本。同时，能针对不同的增强器性能的差异，充入不同量的氧，更适合每个管子所需的充氧量，比单纯使用气体微量控制方法，更有利于提高影像增强器的光均匀性。本装置与主真空系统相连接，端口 11连接到影像增强器。端口 I为氧气入口。连接各个阀门的管道为内径8毫米的不锈钢管。其工作过程为:I)、关闭高真空气动阀12，断开影像增强器与涡轮分子真空泵13的连通，打开充氧系统真空阀9，使用主系统的涡轮分子真空泵13对氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置抽真空；2)、氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置的真空到达10-2或者更低时，关闭充氧系统真空阀9，打开充氧电磁阀2，使得氧气充入氧暂存器14，使得氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置的压力在到达几十个torr，然后关闭充氧电磁阀2。氧输入流量率调节阀3用于调节氧流量率，使之控制精度得以提高。3)、打开充氧系统真空阀9，使用主系统的涡轮分子真空泵13对氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置再次抽真空；4)、氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置的真空到达Itorr左右或者更低时，关闭充氧系统真空阀9 ;5)、打开充气气动阀10，观察真空压力测量仪4，当到达规定的压力时，而且阴极光电流下降到规定的区域时，关闭充气气动阀10。其中氧输入流量率调节阀3、氧输出流量率调节阀5和手动调节阀8用于调节气体的流量率，使得控制更加精准。氮气入口 6连接纯氮气源，由充氮气动阀7控制，用于系统清理等。虽然本技术已参照当前的具体实施例来描述，但是本
中的普通技术人员应该认识到，以上的实施例仅仅是用来说明本技术，在没有脱离本技术精神的情况下还可作出各种等效的变化和修改，因此，只要在本技术的实质精神范围内对上述实施例的变化，变换都将落在本技术权利要求本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种氧‑锑‑铯光电阴极氧元素控制装置，包括影像增强器、主真空系统及其光电阴极，其特征在于还包括：氧气入口(1)、充氧电磁阀(2)、氧输入流量率调节阀(3)、真空压力测量仪(4)、氧输出流量率调节阀(5)、氮气入口(6)、充氮气动阀(7)、手动调节阀(8)、充氧系统真空阀(9)、充气气动阀(10)、端口(11)、高真空气动阀(12)、涡轮分子真空泵(13)和氧暂存器(14)，上述各部件组合为一整体的光电阴极氧元素控制装置，该光电阴极氧元素控制装置与主真空系统相互连接，端口(11)与影像增强器相互连接，该光电阴极氧元素控制装置至少包括有： 氧气入口(1)通过不锈钢管道依次与充氧电磁阀(2)、氧输入流量率调节阀(3)的一端相互联接，氧输入流量率调节阀(3)另一端的第一路与真空压力测量仪(4)的一端相互联接，第二路与氧输出流量率调节阀(5)的一端相互联接，第三路与氧暂存器(14)的一端相互联接；氧输出流量率调节阀(5)另一端的第一路通过手动调节阀(8)与充氮气动阀(7)和充气气动阀(10)的连接点相互联接，第二路通过充氧系统真空阀(9)与高真空气动阀(12)和涡轮分子真空泵(13)的连接点相互联接； 氮气入口(6)通过不锈钢管道依次与充氮气动阀(7)和充气气动阀(10)的一端相互联接，充气气动阀(10)的另一端与端口(11)和高真空气动阀(12)的连接点相互联接； 涡轮分子真空泵(13)与高真空气动阀(12)的一端相互联接，高真空气动阀(12)的另一端与端口(11)相互联接。...
【技术特征摘要】
1.一种氧-锑-铯光电阴极氧元素控制装置，包括影像增强器、主真空系统及其光电阴极，其特征在于还包括:氧气入口(I)、充氧电磁阀(2)、氧输入流量率调节阀(3)、真空压力测量仪(4)、氧输出流量率调节阀(5)、氮气入口(6)、充氮气动阀(7)、手动调节阀(8)、充氧系统真空阀(9)、充气气动阀(10)、端口(11)、高真空气动阀(12)、涡轮分子真空泵(13)和氧暂存器(14)，上述各部件组合为一整体的光电阴极氧元素控制装置，该光电阴极氧元素控制装置与主真空系统相互连接，端口(11)与影像增强器相互连接，该光电阴极氧元素控制装置至少包括有: 氧气入口(I)通过不锈钢管道依次与充氧电磁阀(2)、氧输入流量率调节阀(3)的一端相互联接，氧输入流量率调节阀(3)另一端的第一路与真空压力测量仪(4)的一端相互联...
【专利技术属性】
技术研发人员：章振昂，吴明康，王新军，张丹，
申请(专利权)人：上海泰雷兹电子管有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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