本发明专利技术公开一种用于热辅助磁头滑动块的写部分，包括：面向磁记录媒介的空气承载面；具有媒介面向表面的写元件；波导路，用于引导由安装于热辅助磁头滑动块的衬底之上的光源模块产生的光；及设置于所述写元件附近的等离子体激元单元，所述等离子体激元单元具有一近场光产生表面以传播近场光至所述空气承载面。其中，仅有所述写元件的媒介面向表面上覆盖有碳层。本发明专利技术不仅能防止写部分中的腐蚀性元件被腐蚀，防止写元件磨损，而且可保持等离子体激元单元的热稳定性。本发明专利技术还公开了热辅助磁头滑动块、磁头折片组合、硬盘驱动器及制造方法。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种硬盘驱动器(hard disk drive, HDD),尤其涉及一种写部分、热辅助磁头滑动块以及具有该热辅助磁头滑动块的磁头折片组合(head gimbalassembly, HGA)及硬盘驱动器，以及该写部分和热辅助磁头滑动块的制造方法。
技术介绍
硬盘驱动器是常见的信息存储设备。图1a为一典型硬盘驱动器100的示意图。其包括安装于一主轴马达102上的一系列可旋转磁盘101，以及绕驱动臂轴105旋转用以存取磁盘上的数据的磁头悬臂组合(head stack assembly,HSA) 130。该HSA130包括至少一驱动臂104及HGA150。典型地，还包括一主轴音圈马达(图未示)以控制在驱动臂104的运动。参考图lb，该HGA150包括具有热辅助磁头110的热辅助磁头滑动块103，以及用于支撑该磁头滑动块103的悬臂件190。该悬臂件190包括负载杆106、基板108、绞接件107以及挠性件109，以上元件均装配在一起。在热辅助磁头滑动块103的极尖上埋植一写传感器和读传感器(图未示)以读取或写入数据。当磁盘驱动器运作时，主轴马达102使得磁盘101高速旋转,而热辅助磁头滑动块103因磁盘101旋转而产生的气压而在磁盘101上方飞行。该热辅助磁头滑动块103在音圈马达的控制下，在磁盘101的表面以半径方向移动。对于不同的磁轨，热辅助磁头滑动块103能够从磁盘表面上读取数据或将数据写进磁盘101。请参考图lc，该热辅助磁头滑动块103包括具有空气承载面(airbearingsurface, ABS) 1032的衬底1031以及形成在该衬底1031上的热辅助磁头110。该热辅助磁头110包括具有写元件123的写部分121以及具有读元件124的读部分122。一热能源111安装在衬底1031上用以向热辅助磁头110提供热能，该热能源111可以是位于写部分121附近的激光二极管。传统地，该热能源111可通过焊球连接在衬底1031上。该热能源111向磁记录媒介的一部分提供能量，从而降低该部分的矫顽力。之后，通过在受热的部分施加写磁场从而便于进行写操作。通常，该热辅助磁头110还包括一波导路125以及位于写元件123附近的一等离子体激元天线(plasmon antenna, PA)或等离子体激元发生器(plasmon generator, PG) 127。该波导路125通过PG127的表面将激光至ABS1032上，从而提供近场光。这种提供近场光的方式有别于直接在元件上照射激光而产生近场光的方式。例如美国公开专利N0.2010/0103553A1已公开此种PG和波导路。传统地，为了防止读部分122和写部分121漏磁或被外界环境影响，通常会在上述提及的所有元件的顶面覆盖一表层(例如由类金刚碳(diamond-1 ikecarbon,DLC)制成),从而形成ABS1032。然而，在热辅助磁头滑动块103的写操作过程中，此种DLC层无法经受高温，DLC层会强烈吸收PG127传播的近场光，严重者，DLC层会因受热过度而消熔。因此，目前在热辅助磁头滑动块中，此种DLC层已被具有低消光系数(低光吸收系数)的层体131取代，此种层体131采用的材料例如是SiOx, SiNx, SiOxNy, TaOx, TaNx, TaOxNy,氢化非晶碳等。此层体131覆盖在上述元件的媒体面向表面上从而形成ABS1032，从而为写操作带来较好的热稳定性。然而，由于除了 PG127之外，由腐蚀性材料制成的写元件123、波导路125和读元件124的媒介面向表面均被由氧化物材料制成的层体131覆盖，而且该层体131相较DLC层而言具有较差的阻氧能力，因此这些写元件123、波导路125和读元件124等腐蚀性元件会被入侵的氧气所腐蚀。再且，由氧化物材料制成的层体131的硬度较DLC层小，因此在多次读写操作时意外接触媒介表面，会发生磨损，因此不适宜长期使用。因此，亟待一种改进的写部分、热辅助磁头滑动块、HGA、HDD以及写部分和热辅助磁头滑动块的制造方法，以克服上述缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的之一在于提供一种用于热辅助磁头滑动块的写部分，其不仅能防止写部分中的腐蚀性元件被腐蚀，防止写元件磨损，而且可保持等离子体激元单元的热稳定性。本专利技术的另一目的在于提供一种热辅助磁头滑动块，其不仅能防止写部分中的腐蚀性元件被腐蚀，防止写元件磨损，而且可保持等离子体激元单元的热稳定性。本专利技术的又一目的在于提供一种具有热辅助磁头滑动块的HGA，其不仅能防止写部分中的腐蚀性元件被腐蚀，防止写元件磨损，而且可保持等离子体激元单元的热稳定性。本专利技术的又一目的在于提供一种具有热辅助磁头滑动块的HDD，其不仅能防止写部分中的腐蚀性元件被腐蚀，防止写元件磨损，而且可保持等离子体激元单元的热稳定性。本专利技术的再一目的在于提供一种用于热辅助磁头滑动块的写部分的制造方法，其不仅能防止写部分中的腐蚀性元件被腐蚀，防止写元件磨损，而且可保持等离子体激元单元的热稳定性。本专利技术的再一目的在于提供一种热辅助磁头滑动块的制造方法，其不仅能防止写部分中的腐蚀性元件被腐蚀，防止写元件磨损，而且可保持等离子体激元单元的热稳定性。为实现上述目的，本专利技术提供一种用于热辅助磁头滑动块的写部分，包括:面向磁记录媒介的空气承载面；具有媒介面向表面的写元件；波导路，用于引导由安装于热辅助磁头滑动块的衬底之上的光源模块产生的光；及设置于所述写元件附近的等离子体激元单元，所述等离子体激元单元具有一近场光产生表面以传播近场光至所述空气承载面。其中，仅有所述写元件的媒介面向表面上覆盖有碳层。作为一个优选实施例，所述等离子体激元单元的近场光产生表面上覆盖有低光吸收层。较佳地,所述低光吸收层包括以下一种或多种材料:Ta0x, SiOx, AlOx, WOx, BCxNy,AlNx, SiNx, AlOxNy, SiOxNy, TiOx, MgOx, ZrOx, ZrOxNy, YOx, NbOx,以及 GaNx0作为一个优选实施例，所述低光吸收层延伸至覆盖于所述碳层的表面以及波导路的媒介面向表面上。可选地，所述碳层由碳化物或类金刚碳制成。本专利技术提供一种热辅助磁头滑动块，包括衬底，所述衬底具有光源模块以及面向磁记录媒介表面的空气承载面；读部分，所述读部分具有读元件；写部分，所述写部分包括具有媒介面向表面的写元件、用于引导由所述光源模块产生的光的波导路，以及设置于所述写元件附近的等离子体激元单元，所述等离子体激元单元具有一近场光产生表面以传播近场光至所述空气承载面。其中，在所述写部分中，仅有所述写元件的媒介面向表面上覆盖有第一碳层。作为一个优选实施例，在所述读元件的媒介面向表面上覆盖有第二碳层。作为另一优选实施例，所述等离子体激元单元的近场光产生表面上覆盖有第一低光吸收层。较佳地，所述第一低光吸收层延伸至覆盖于所述第一碳层和所述第二碳层的表面以及波导路的媒介面向表面上。较佳地，所述第一碳层的表面上、所述波导路和所述读元件的媒介面向表面上覆盖有第二低光吸收层。本专利技术提供一种HGA，包括热辅助磁头滑动块及支撑所述热辅助磁头滑动块的悬臂件。所述热辅助磁头滑动块包括具有光源模块以及面向磁记录媒介表面的空本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于热辅助磁头滑动块的写部分，包括：面向磁记录媒介的空气承载面；具有媒介面向表面的写元件；波导路，用于引导由安装于热辅助磁头滑动块的衬底之上的光源模块产生的光；及设置于所述写元件附近的等离子体激元单元，所述等离子体激元单元具有一近场光产生表面以传播近场光至所述空气承载面；其特征在于：仅有所述写元件的媒介面向表面上覆盖有碳层。
【技术特征摘要】
1.一种用于热辅助磁头滑动块的写部分，包括: 面向磁记录媒介的空气承载面； 具有媒介面向表面的写元件； 波导路，用于引导由安装于热辅助磁头滑动块的衬底之上的光源模块产生的光；及 设置于所述写元件附近的等离子体激元单元，所述等离子体激元单元具有一近场光产生表面以传播近场光至所述空气承载面； 其特征在于:仅有所述写元件的媒介面向表面上覆盖有碳层。2.如权利要求1所述的写部分，其特征在于:所述等离子体激元单元的近场光产生表面上覆盖有低光吸收层。3.如权利要求2所述的写部分，其特征在于:所述低光吸收层包括以下一种或多种材 14:TaOx, SiOx, AlOx, WOx, BCxNy, AlNx, SiNx, AlOxNy, SiOxNy, TiOx, MgOx, ZrOx,ZrOxNy, YOx, NbOx,以及 GaNx。4.如权利要求2所述的写部分，其特征在于:所述低光吸收层延伸至覆盖于所述碳层的表面以及波导路的媒介面向表面上。5.如权利要求1所述的写部分，其特征在于:所述碳层由碳化物或类金刚碳制成。6.如权利要求1所述的 写部分，其特征在于:所述写元件包括第一磁极、第二磁极以及层夹于所述第一磁极和第二磁极之间的线圈。7.一种热辅助磁头滑动块，包括: 衬底，所述衬底具有光源模块以及面向磁记录媒介表面的空气承载面； 读部分，所述读部分具有读元件； 写部分，所述写部分包括具有媒介面向表面的写元件、用于引导由所述光源模块产生的光的波导路，以及设置于所述写元件附近的等离子体激元单元，所述等离子体激元单元具有一近场光产生表面以传播近场光至所述空气承载面； 其特征在于:在所述写部分中，仅有所述写元件的媒介面向表面上覆盖有第一碳层。8.如权利要求7所述的热辅助磁头滑动块，其特征在于:在所述读元件的媒介面向表面上覆盖有第二碳层。9.如权利要求7所述的热辅助磁头滑动块，其特征在于:所述等离子体激元单元的近场光产生表面上覆盖有第一低光吸收层。10.如权利要求9所述的热辅助磁头滑动块，其特征在于:所述第一低光吸收层延伸至覆盖于所述第一碳层和所述第二碳层的表面以及波导路的媒介面向表面上。11.如权利要求7所述的热辅助磁头滑动块，其特征在于:所述第一碳层的表面上、所述波导路和所述读元件的媒介面向表面上覆盖有第二低光吸收层。12.一种磁头折片组合，包括热辅助磁头滑动块及支撑所述热辅助磁头滑动块的悬臂件，所述热辅助磁头滑动块包括具有光源模块以及面向磁记录媒介表面的空气承载面的衬底，具有读元件的读部分以及写部分，所述写部分包括具有媒介面...
【专利技术属性】
技术研发人员：西岛夏夫，李东升，
申请(专利权)人：新科实业有限公司，
类型：发明
国别省市：中国香港;81
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