真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵。该电机转子，在用于驱动真空泵的泵转子旋转轴的电机中使用，该电机包括；具有孔部的多个钢板在轴线方向上层叠而成的转子铁心；设置在上述孔部的永磁铁；以及安装在上述转子铁心的轴线方向上的两端部的侧板，上述钢板的整个表面涂布有粘接剂，通过该粘接剂上述多个钢板相互之间以及侧板被面接合。根据本发明专利技术，使永磁铁不发生腐蚀。

【技术实现步骤摘要】
真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵
本专利技术涉及一种电机转子，特别是涉及一种真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵。
技术介绍
例如，在半导体制造工艺中，在各种各样的工序中真空技术被利用。列举几个例子，用于形成金属薄膜的真空镀膜法，用于进行抗蚀剂除去或蚀刻工序的等离子蚀刻法，用于不纯物的扩散工序的离子注入法，用于二氧化硅膜或氮化硅膜形成工序的减压CVD或等离子CVD法等。这些工序工艺中任一个均在真空(或者减压)环境下进行，半导体制造工艺中真空所起的作用很大。作为用于半导体制造装置等中的真空泵，如图6所示，具有多级罗茨型容积式的真空泵101。该图中所示的是3级的真空泵101。即，合计具有6个泵转子103 (但是图6(A)中对应的泵转子重合在一起，故在各级均只能看见一个泵转子103)。该真空泵101的泵转子旋转轴105利用一对齿轮107彼此相反方向地以相同周期旋转。相互相对的转子103之间以及转子103和外壳108不接触，保持一点点的缝隙地进行旋转并将气体向外部排出。该图6 (A)中，设置在右端的是电机M。该电机M中，泵转子旋转轴105上安装有电机转子1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电机转子，在用于驱动真空泵的泵转子旋转轴的电机中使用，其特征在于，包括；具有孔部的多个钢板在轴线方向上层叠而成的转子铁心；设置在上述孔部的永磁铁；以及安装在上述转子铁心的轴线方向上的两端部的侧板，上述钢板的整个表面涂布有粘接剂，通过该粘接剂，上述多个钢板相互之间以及侧板被面接合。

【技术特征摘要】
2013.02.22 JP 2013-0335841.一种电机转子，在用于驱动真空泵的泵转子旋转轴的电机中使用，其特征在于， 包括；具有孔部的多个钢板在轴线方向上层叠而成的转子铁心；设置在上述孔部的永磁铁；以及安装在上述转子铁心的轴线方向上的两端部的侧板， 上述钢板的整个表面涂布有粘接剂，通过该粘接剂，上述多个钢板相互之间以及侧板被面接合。2.如权利要求1所述的电机转子，其特征在于，上述侧板的接合面的整个表面在接合前涂布有上述粘接剂。3.如权利要求1或者2所述的电机转子，其特征在于，上述转子铁心用的钢板是硅钢板。4.如权利要求1-3中任一项所述的电机转子，其特征在于，上述电机转子安装在泵转子旋转轴的端部。5.如权利要求1-4中任一项所述的电机转子,其特征在于,上述侧板是非磁性的金属板或者树脂板。6.如权利要求1-5中任一项所述的电机转子，其特征在于，上述永磁铁的轴线方向长度比上述转子铁心的轴线方向长度短，上述永磁铁和各侧板之间形成规定的两端部缝隙，该缝隙中填充有上述粘接剂。7.如权利要求1-6中任一项所述的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：小岛善德，稻田高典，吉田真也，中泽敏治，真武幸三，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP