本发明专利技术提供一种真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵。该电机转子，在用于驱动真空泵的泵转子旋转轴的电机中使用，该电机包括；具有孔部的多个钢板在轴线方向上层叠而成的转子铁心；设置在上述孔部的永磁铁；以及安装在上述转子铁心的轴线方向上的两端部的侧板，上述钢板的整个表面涂布有粘接剂，通过该粘接剂上述多个钢板相互之间以及侧板被面接合。根据本发明专利技术，使永磁铁不发生腐蚀。
【技术实现步骤摘要】
真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵
本专利技术涉及一种电机转子，特别是涉及一种真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵。
技术介绍
例如，在半导体制造工艺中，在各种各样的工序中真空技术被利用。列举几个例子，用于形成金属薄膜的真空镀膜法，用于进行抗蚀剂除去或蚀刻工序的等离子蚀刻法，用于不纯物的扩散工序的离子注入法，用于二氧化硅膜或氮化硅膜形成工序的减压CVD或等离子CVD法等。这些工序工艺中任一个均在真空(或者减压)环境下进行，半导体制造工艺中真空所起的作用很大。作为用于半导体制造装置等中的真空泵，如图6所示，具有多级罗茨型容积式的真空泵101。该图中所示的是3级的真空泵101。即，合计具有6个泵转子103 (但是图6(A)中对应的泵转子重合在一起，故在各级均只能看见一个泵转子103)。该真空泵101的泵转子旋转轴105利用一对齿轮107彼此相反方向地以相同周期旋转。相互相对的转子103之间以及转子103和外壳108不接触，保持一点点的缝隙地进行旋转并将气体向外部排出。该图6 (A)中，设置在右端的是电机M。该电机M中，泵转子旋转轴105上安装有电机转子109，该电机转子109的周围隔开规定缝隙设置有电机定子111。该结构的电机M中，电机转子109和电机定子111存在在相同空间内。图6 (B)是沿该真空泵101的泵转子旋转轴105的截面图。从该图可以看出，三叶状的泵转子103被安装在相互平行的2根泵转子旋转轴105上。另一方面，图7所示的真空泵121是具有使电机的耐腐蚀性提高的密封式电机M3的例子。密封式电机M3是指，具有将电机转子129用筒状壳体141覆盖的结构的电机，其具有即使不具备轴密封结构也能保持气密性的结构。即，其是夹装有筒状的壳体141以便于隔开电机转子129和电机定子131之间的结构。在壳体141的开口端形成有规定的凸缘部，该凸缘部被固定在泵转子侧的泵外壳。因此，电机转子129和电机定子131之间完全地维持气密性。即便是密封式电机M3的情况下，电机转子129所存在的空间也和真空泵的内部空间直接连通。因此，是一种在半导体制造工艺中是被直接暴露在所排出的气体中的结构。半导体制造工艺中所使用或者产生的气体中，包含腐蚀性气体，密封式电机M3的构件需要耐腐蚀性较高的材料、结构。特别，在使用永磁铁类型的电机中，由于永磁铁自身具有易被腐蚀的特征，所以需要提高耐锈以及耐腐蚀性的技术。作为提高电机转子的耐腐蚀性的技术，提出了几个技术方案。例如，第I例中，层叠圆环状的多个铁心板材而形成的转子铁心，其磁铁插入孔部中插入固定有永磁铁。此时，永磁铁是轴线方向上成列的多个2个单位磁铁通过树脂涂覆且形成为棒状。该专利技术的目的在于，通过用树脂涂覆永磁铁，来抑制永磁铁的表面产生的涡电流，通过防止永磁铁的温度上升，来防止永磁铁的特性劣化，防止旋转电机的性能下降(专利文献1，参照摘要)。另外，第2例中，多个圆盘状的转子铁心所层叠而成的转子被固设在旋转轴，包括:具有孔部的转子铁心；被插入在孔部的磁铁；被注入到孔部内的树脂部；以及在转子铁心的轴线方向的两端部所设置的端板，其是呈磁铁和端板接触的结构的转子(专利文献2，参照摘要)。该例中特别注重孔部和磁铁之间的空间的密封。此外，第3例中，穿设在转子铁心的磁铁插入孔的磁铁插入空间被设定为纵宽度、横宽度以及长度的各尺寸比永磁铁的纵宽度、横宽度以及长度各尺寸大的尺寸。因此，在磁铁插入孔中通过间隙配合而插入的永磁铁，其成为完全地埋没在磁铁插入孔内的形态，在磁铁插入空间的内壁面和永磁铁的周围之间形成有空间，另外，转子铁心的两端面侧也形成有空间。在永磁铁插入后的磁铁插入孔填充有在覆盖永磁铁全部表面的空间作为非磁性体的树脂。由此，防止永磁铁的腐蚀(专利文献3，参照摘要)。如上述这样，专利文献I?3所涉及的专利技术是为了提高用于电机转子的永磁铁的耐锈性。即，包括层叠多个钢板构成的转子铁心和在轴线方向贯通于该转子铁心的孔部中所插入的永磁铁，使树脂夹在该永久磁铁的表面的涂覆和插入孔部的缝隙中，使成为腐蚀原因的水分不能侵入。现有技术文献专利文献1:日本特开2005 - 94845号公报专利文献2:日本特许第4685661号公报专利文献3:日本特开2012 - 213310号公报专利技术要解决的问题然而，上述各专利文献所涉及的专利技术中，存在以下的问题点。即，任一个对比文件中，被层叠的圆盘状的转子铁心材料是硅钢板。微观地观察硅钢板时，由于表面的隆起等原因，相邻硅钢板相互之间产生缝隙。水分或腐蚀性气体等通过该缝隙，侵入到永磁铁所插入的孔部。在永磁铁的表面实施耐腐蚀性处理并且在永磁铁和插入孔部的缝隙填充树脂，则永磁铁不会直接暴露在水分或腐蚀性气体中。但是，永磁铁的耐腐蚀性膜、树脂的膜厚非常薄。因此，永磁铁的表面、树脂上存在划伤、针孔等时，水分或腐蚀性气体通过，导致永磁铁的原材料的锈蚀、腐蚀。该点上,永磁铁的耐锈性、耐腐蚀性不充分。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而做的，其目的在于提供一种真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵，其能更加可靠地提高耐锈性、耐腐蚀性的效果。第I方法中，一种电机转子，在用于驱动真空泵的泵转子旋转轴的电机中使用，包括:具有孔部的多个钢板在轴线方向上层叠而成的转子铁心；设置在上述孔部的永磁铁；以及安装在上述转子铁心的轴线方向上的两端部的侧板，上述钢板的整个表面涂布有粘接齐U，通过该粘接剂，上述多个钢板相互之间以及侧板被面接合。提高采用这样的构成，在层叠的钢板之间，通过被涂布的粘接剂使钢板之间的缝隙消失。与此同时，电机转子的两端部的侧板也通过粘接剂被面接合，从而永磁铁所插入的孔部通过被层叠的钢板成为完全的密封结构。由此孔部的永磁铁被从外部的环境(水分、腐蚀性气体)完全阻断，能更加可靠地提高耐锈性、耐腐蚀性的效果。另外，第2方法中，上述侧板的接合面的整个表面在接合前涂布有上述粘接剂。通过采用这样的构成，除上述作用之外，转子铁心的两端部的钢板和侧板之间也可靠地夹装有粘接剂。另外，第3方法中，上述转子铁心用的钢板是硅钢板。通过采用这样的构成，除上述作用之外，不会损失纯铁的较高的磁导率，使比电导率下降，实现作为电磁钢板必要的较低的铁损。另外，第4方法中，上述电机转子安装在泵转子旋转轴的端部。通过采用这样的结构，除上述作用之外，由于可以使泵转子旋转轴通过电机直接旋转，所以结构变得简单。另外，第5方法中，上述侧板是非磁性的金属板或者树脂板。通过采用这样的结构，除上述作用之外，由于侧板由非磁性体构成，所以不会通过永磁铁的磁场向侧板内部形成磁通路，有效率地在定子铁心内形成磁通路，不会损害电机特性。另外，第6方法中，上述永磁铁的轴线方向长度比上述转子铁心的轴线方向长度短，上述永磁铁和各侧板之间形成规定的两端部缝隙，该缝隙中填充有上述粘接剂。另外，第7方法中，上述孔部和永磁铁之间的缝隙中填充有上述粘接剂。通过这样的结构，除上述作用之外，上述转子铁心的孔部和永磁铁的缝隙，以及永磁铁和两侧板的缝隙填充有粘接齐U，空间被密封。并且，即使被层叠的钢板主体由于某些原因存在针孔等，水分、腐蚀性气体侵入转子铁心的内部，永磁铁的周围的粘接剂也能够阻断水分、腐蚀性气体。因此，能够得到永磁铁本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电机转子，在用于驱动真空泵的泵转子旋转轴的电机中使用，其特征在于，包括；具有孔部的多个钢板在轴线方向上层叠而成的转子铁心；设置在上述孔部的永磁铁；以及安装在上述转子铁心的轴线方向上的两端部的侧板，上述钢板的整个表面涂布有粘接剂，通过该粘接剂，上述多个钢板相互之间以及侧板被面接合。
【技术特征摘要】
2013.02.22 JP 2013-0335841.一种电机转子，在用于驱动真空泵的泵转子旋转轴的电机中使用，其特征在于， 包括；具有孔部的多个钢板在轴线方向上层叠而成的转子铁心；设置在上述孔部的永磁铁；以及安装在上述转子铁心的轴线方向上的两端部的侧板， 上述钢板的整个表面涂布有粘接剂，通过该粘接剂，上述多个钢板相互之间以及侧板被面接合。2.如权利要求1所述的电机转子，其特征在于，上述侧板的接合面的整个表面在接合前涂布有上述粘接剂。3.如权利要求1或者2所述的电机转子，其特征在于，上述转子铁心用的钢板是硅钢板。4.如权利要求1-3中任一项所述的电机转子，其特征在于，上述电机转子安装在泵转子旋转轴的端部。5.如权利要求1-4中任一项所述的电机转子,其特征在于,上述侧板是非磁性的金属板或者树脂板。6.如权利要求1-5中任一项所述的电机转子，其特征在于，上述永磁铁的轴线方向长度比上述转子铁心的轴线方向长度短，上述永磁铁和各侧板之间形成规定的两端部缝隙，该缝隙中填充有上述粘接剂。7.如权利要求1-6中任一项所述的电...
【专利技术属性】
技术研发人员：小岛善德，稻田高典，吉田真也，中泽敏治，真武幸三，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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