一种真空实验平台制造技术

本实用新型专利技术属于无机化学仪器分析领域，具体涉及一种真空实验平台。目的在于提供一种启动速度快、灵敏度高、漏点定位准确同时又具备抽空功能的真空实验平台。该平台包括真空系统、为真空系统各部件提供电源的电源控制系统、与被检工件进行匹配连接的接口系统，其中真空系统为被检工件提供真空环境和真空指示；电源控制系统控制整机、机械泵、分子泵、离子泵、复合真空计等部件的电源。接口系统为待抽系统、工件提供形态各异的接口和转换头。本平台在准确定位焊接器件的漏点、质谱计制造真空系统辅助抽空、真空系统辅助运行中效果明显，同时，在质谱仪真空实验中，能为离子源等试验提供真空环境；具备抽速快、启动迅速、使用方便、多功能等特点。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种真空实验平台
本技术属于无机化学仪器分析领域，具体涉及一种真空实验平台。
技术介绍
使用氦质谱检漏仪对质谱仪真空组件进行检漏，由于高真空设备及组件漏点很小，而氦质谱检漏仪检漏时，氦气扩散面大，漏点只能确定在一定范围内，不能快速、准确的判断漏点，这样给寻找漏点及漏点的处理带来一定困难。每台质谱仪在安装调试之前必须对其对各真空组件进行全面检漏，需检漏的部分包括:各阀门组件、管道、四通和分析管等。这些真空组件接口大小不一，形体差异大，数量较多，为了快速、准确的判断漏点，因此需要一种启动速度快、灵敏度高、漏点定位准确同时又具备抽空功能的设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种启动速度快、灵敏度高、漏点定位准确同时又具备抽空功能的真空实验平台。本技术是这样实现的:一种真空实验平台，包括为被检工件提供真空环境和用于真空指示的真空系统，为真空系统各部件提供电源的电源控制系统，与被检工件进行匹配连接的接口系统；所述真空系统包括依次相连的机械泵、分子泵、离子泵；还包括复合真空计，所述真空系统包括位于真空泵和被检工件系统通道的电阻真空规和位于离子泵端的冷阴极真空规，所述复合真空计为冷阴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空实验平台，其特征在于：包括为被检工件提供真空环境和用于真空指示的真空系统，为真空系统各部件提供电源的电源控制系统，与被检工件进行匹配连接的接口系统；所述真空系统包括依次相连的机械泵、分子泵、离子泵；还包括复合真空计，所述真空系统包括位于真空泵和被检工件系统通道的电阻真空规和位于离子泵端的冷阴极真空规，所述复合真空计为冷阴极真空规和电阻真空规提供电源，并测量和显示冷阴极真空规和电阻真空规检测的真空度。

【技术特征摘要】
1.一种真空实验平台，其特征在于:包括为被检工件提供真空环境和用于真空指示的真空系统，为真空系统各部件提供电源的电源控制系统，与被检工件进行匹配连接的接口系统；所述真空系统包括依次相连的机械泵、分子泵、离子泵；还包括复合真空计，所述真空系统包括位于真空泵和被检工件系统通道的电阻真空规和位于离子泵端的冷阴极真空规，所述复合真空计为冷阴极真空规和电阻真空规提供电源，并测量和显示冷阴极真空规和电阻真空规检测的真空度。2.根据权利要求1所述的一种真空实验平台，其特征在于:所述机械泵和分子泵之间置有第六挡板阀门(F6)，在分子泵和离子泵之间置有第四、五挡板阀门(F4、F5)，冷阴极真空规位于第四、五挡板阀门(F4、F5)之间，第四、五挡板阀门(F4、F5)之间的位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：李振中，陈颖川，佘永东，韩雅琦，
申请(专利权)人：四川红华实业有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51