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一种真空实验平台制造技术
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文档序号:10368077
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本实用新型属于无机化学仪器分析领域,具体涉及一种真空实验平台。目的在于提供一种启动速度快、灵敏度高、漏点定位准确同时又具备抽空功能的真空实验平台。该平台包括真空系统、为真空系统各部件提供电源的电源控制系统、与被检工件进行匹配连接的接口系统,...
该专利属于四川红华实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川红华实业有限公司授权不得商用。
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