丝锯及用于丝锯的丝线监控系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于丝锯的丝线监控系统和丝锯。所述用于丝锯的丝线监控系统包括：传感器装置；第一丝线定位系统，用于将第一丝线从所述第一丝线的第一位置移动到所述第一丝线的第二位置；第一丝线保持布置，被配置为用于将所述第一丝线保持在所述第二位置处，以便使用所述传感器装置测量所述第一丝线的物理特性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
丝锯及用于丝锯的丝线监控系统
本案的实施方式涉及用于丝锯的丝线监控系统、丝锯。现有丝锯可加装根据本案的丝线监控系统。更具体而言，本案涉及用于测量丝线的物理特性的丝线监控系统。本案具体而言涉及多丝的丝锯。本案的丝锯特别适合于切割或锯切诸如硅块或石英块的硬质材料。
技术介绍
丝锯被用于从诸如硅的一块硬质材料切割块或砖、薄片，例如，半导体晶片。在这种装置中，从绕线管馈送丝线且丝线由丝线导向筒导向并张紧。用于锯切的丝线可设置有研磨材料。作为一种选择，所述研磨材料可设置为浆料。这可在丝线接触待切割的材料之前不久进行。由此，研磨剂通过用于切割材料的丝线被携带到切割位置。作为另一种选择，研磨剂可使用涂层而提供在丝线上，例如如同用金刚线一样。例如，金刚石颗粒可利用涂层而提供在金属丝线上，其中金刚石颗粒嵌入丝线的涂层中。由此，研磨剂与丝线紧固地连接。丝线由丝线导向器导向并/或张紧。这些丝线导向器通常被覆盖有一层合成树月旨，且这些丝线导向器被刻划有凹槽，所述凹槽具有精确的几何形状和尺寸。丝线围绕丝线导向器缠绕且形成网或丝网。在锯切工艺期间，丝线以相当大的速度移动。通常，将待锯切的块件，例如连接到支撑梁或支持件保持的锭料，朝所述丝网推动。在锯切期间，待锯切的块件移动通过丝网，其中此移动的速度决定切割速度和/或可在给定量的时间之内锯切的有效切割面积。通常，存在使用较细丝线以减小切割厚度且由此减少浪费的材料的倾向。还希望使用金刚线。这些较细丝线和金刚线通常更容易受到损坏，且在高应力之下，所述丝线可能更容易断裂。此外，存在增加切割速度以便提高丝锯产量的期望。用于使块件移动通过丝网的最大速度以及在给定量的时间之内的最大有效切割面积受到若干因素的限制，所述因素包括丝线速度、待锯切的材料的馈送速度、待锯切的材料的硬度、干扰影响、期望精确度，等等。当速度增加时，在丝线上的应力通常也增加。避免丝线的损坏、过度磨损、故障或断裂的上述问题在更高的锯切速度下甚至更加关键。重要的是以一种方式操作丝锯，以避免或减少变化的锯切质量、变化的锯切宽度、丝线的振动，乃至丝线的断裂。在最坏的情况下，如果丝线断裂，则不希望的结果可能出现。丝线的松动端可能在机器周围以不可控制的方式移动，这可能损害丝线导向器系统或所述机器的其他部分。此外，如果丝线断裂而继续移动，那么丝线将从待锯切的物体扯出。
技术实现思路
鉴于上文，本案提供一种克服本技术中的至少一些问题的丝锯。此目的至少在某种程度上通过如本技术所述的用于丝锯的丝线监控系统和丝锯来实现。本案的其它方面、优点和特征从权利要求书、说明书和附图显而易见。鉴于上文，本技术提供了一种用于丝锯的丝线监控系统。所述丝线监控系统包括:传感器装置；第一丝线定位系统，用于将第一丝线从所述第一丝线的第一位置移动到所述第一丝线的第二位置；第一丝线保持布置，被设置以用于将所述第一丝线保持在所述第二位置处，以便使用所述传感器装置测量所述第一丝线的物理特性。根据本案的一个方面，现有丝锯可加装如本文所述的丝线监控系统。根据本案的另一方面，提供了包括至少两个丝线导向筒和如本文所述的丝线监控系统的丝锯。进一步为了更好的理解，描述了用于监控至少一个丝线的物理特性的方法，其中所述方法包括:将至少一个丝线从第一位置移动到第二位置；保持所述至少一个丝线的第二位置；以及在所述第二位置处测量所述至少一个丝线的物理特性。本案还针对用于进行所描述的方法的设备且包括用于执行所描述的各方法步骤的设备部件。本案的其它方面、优点和特征从从属权利要求、说明书和附图显而易见。【附图说明】以可详细理解本案上述特征的方式，通过参考实施方式可对上文所简要总结的本案作更具体的描述。附图涉及本案的实施方式且附图描述在下文中。典型的实施方式描绘于附图中且详述在以下的描述中。在所述附图中:图1示出根据本文所述的实施方式的包括丝线监控系统的丝锯的示意侧视图；图2示出根据本文所述的实施方式的丝线监控系统的示意侧视图，其中第一丝线处于第一位置；图3示出根据图2的丝线监控系统的示意侧视图，其中所述第一丝线处于第二位置；图4示出根据本文所述的实施方式的丝线监控系统的示意侧视图；其中所述第一丝线处于第一位置且第二丝线处于第一位置；图5示出根据图4的丝线监控系统的示意侧视图，其中所述第一丝线处于第二位置且所述第二丝线处于第二位置；图6示出根据本文所述的实施方式的丝线监控系统的示意侧视图，其中在所述第一丝线的第二位置中的第一丝线通过第一保持布置保持，且在所述第二丝线的第二位置中的第二丝线通过第二保持布置保持；图7为了对本文所述的丝线监控系统和丝锯有更好的理解，描述了用于监控至少一个丝线的物理特性的方法。【具体实施方式】现将对各种实施方式进行详细参考，所述实施方式的一个或多个示例图示于各图中。各示例作为说明而提供且并不意味作为限制。例如，图示或描述为一个实施方式一部分的特征可用于任何其他实施方式或结合任何其他实施方式一起使用，以产生另一实施方式。本案旨在包括这样的修改和变化。在附图的以下描述中，相同标号代表相同或类似元件。通常，仅描述相对于各实施方式的差异。除非另外说明，否则在一个实施方式中的部分或方面的描述也可应用在另一实施方式中的相应部分或方面。如图1中示意性示出地，根据本文所述的实施方式的丝锯100的监控系统10包括传感器装置50、第一丝线定位系统21以及第一丝线保持布置41。根据实施方式，可应用第一丝线定位系统21将第一丝线31从第一丝线的第一位置移动到第一丝线的第二位置。根据实施方式，第一丝线保持布置41可被配置用于将第一丝线31保持在第二位置。在第一丝线31的第二位置处，可通过传感器装置50测量第一丝线31的物理特性。根据实施方式，监控系统10可定位于其中单个丝线横跨在两个辊、绕线管或圆筒之间的丝锯的区域中。例如，如图1中示例性地示出，监控系统10可定位在供应绕线管134之间，单个丝线从所述供应绕线管134供应至导向筒112。虽然没有明确示出，但是监控系统10也可替代地定位在导向筒118之间，单个丝线由收紧绕线管138从导向筒118接收。或者，监控系统10可被定位在垂直丝网处，例如定位于在图1中所示的导向筒114和导向筒116之间的丝网处或导向筒112和导向筒118之间的丝网处。根据实施方式，可提供两个或超过两个的监控系统，例如在供应绕线管134之间的第一监控系统和在另一个导向筒118之间的第二监控系统，单个丝线从所述供应绕线管134供应至导向筒112，单个丝线从所述导向筒118由收紧绕线管138接收。根据实施方式，提供了如本文所述的包括至少两个丝线导向筒和丝线监控系统的丝锯100。根据实施方式，如图1中示例性地示出，丝锯100可包括例如用于输送和导向丝线的四个丝线导向筒112、114、116和118。导向筒112、114、116和118可以恒定或渐进的间距开槽，以便形成平行丝线层。在本案中，在两个导向筒之间的丝线层也被称为丝网200。在丝网的相邻丝线之间的间距可由在丝线导向筒112、114、116和118的周边上的刻槽界定，所述刻槽决定锯切切片的厚度。如本文所理解的丝锯可以是截断器、裁方器、或晶片切割丝锯。根据实施方式，所述丝锯是多丝丝锯。多丝丝锯允许对于半导体和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于丝锯的丝线监控系统(10)，包含： 传感器装置(50)； 第一丝线定位系统(21)，用于将第一丝线(31)从第一丝线(31)的第一位置移动到第一丝线(31)的第二位置；和 第一丝线保持布置(41)，被配置为用于将所述第一丝线(31)保持在所述第二位置处，以便使用所述传感器装置(50)测量所述第一丝线(31)的物理特性。

【技术特征摘要】
2013.06.21 EP 13173234.91.一种用于丝锯的丝线监控系统(10)，包含: 传感器装置(50)； 第一丝线定位系统(21)，用于将第一丝线(31)从第一丝线(31)的第一位置移动到第一丝线(31)的第二位置；和 第一丝线保持布置(41)，被配置为用于将所述第一丝线(31)保持在所述第二位置处，以便使用所述传感器装置(50)测量所述第一丝线(31)的物理特性。2.如权利要求1所述的用于丝锯的丝线监控系统(10)，其特征在于， 所述第一丝线定位系统(21)包含两个第一丝线导向滑轮(22，23)，所述两个第一丝线导向滑轮(22，23)用于在所述第一丝线(31)的所述第一位置在所述两个丝线导向滑轮(22，23)之间导向所述第一丝线(31)，和 至少一个第一可移动定位滑轮(24)，布置在所述两个第一丝线导向滑轮(22，23)之间， 其中所述至少一个第一可移动定位滑轮(24)适于将所述第一丝线(31)从所述第一丝线(31)的所述第一位置携带到所述第一丝线(31)的所述第二位置。3.如权利要求1所述的用于丝锯的丝线监控系统(10)，其特征在于，所述丝线监控系统(10)进一步包含: 第二丝线定位系统(25)，用于将第二丝线(32)从第二丝线(32)的第一位置移动到第二丝线(32)的第二位置， 其中所述第一丝线保持布置(41)被配置为用于将所述第二丝线(32)保持在所述第二位置，以便当所述第二丝线(32)处于所述第二丝线(32)的所述第二位置时测量所述第二丝线(32)的物理特性。4.如权利要求2所述的用于丝锯的丝线监控系统(10)，其特征在于，所述丝线监控系统(10)进一步包含: 第二丝线定位系统(25)，用于将第二丝线(32)从所述第二丝线(32)的第一位置移动到所述第二丝线(32)的第二位置， 其中所述第一丝线保持布置(41)被配置为用于将所述第二丝线(32)保持在所述第二位置，以便当所述第二丝线(32)处于所述第二丝线(32)的所述第二位置时测量所述第二丝线(32)的物理特性。5.如权利要求1所述的用于丝锯的丝线监控系统(10)，其特征在于，所述丝线监控系统(10)进一步包含: 第二丝线定位系统(25)，用于将第二丝线(32)从所述第二丝线(32)的第一位置移动到所述第二丝线(32)的第二位置，和 第二丝线保持布置(42)，被配置为用于将所述第二丝线(32)保持在所述第二位置，以便当所述第二丝线(32)处于所述第二丝线(32)的所述第二位置时测量所述第二丝线(32)的物理特性。6.如权利要求2所述的用于丝锯的丝线监控系统(10)，其特征在于，所述丝线监控系统(10)进一步包含: 第二丝线定位系统(25)，用于将第二丝线(32)从所述第二丝线(32)的第一位置移动到所述第二丝线(32)的第二位置，和第二丝线保持布置(42)，被配置为用于将所述第二丝线(32)保持在所述第二位置，以便当所述第二丝线(32)处于所述第二丝线(32)的所述第二位置时测量所述第二丝线(32)的物理特性。7.如权利要求6所述的用于丝锯的丝线监控系统(10)，其特征在于，所述第二丝线保持布置(42)和所述第一丝线保持布置(41)被布置，以使得当所述第一丝线处于所述第一丝线的所述第二位置且所述第二丝线处于所述第二丝线的所述第二位置时，所述第一丝线(31)和所述第二丝线(32)相交。8.如权利要求4所述的用于丝锯的丝线监控系统(10)，其特征在于，所述第二丝线定位系统(25)包含:两个第二丝线导向滑轮(26，27)，用于在所述第二丝线的所述第一位置处在所述两个第二丝线导向滑轮(26，27)之间导向所述第二丝线(32);和至少一个第二可移动定位滑轮(28)，被布置在所述两个第二丝线导向滑轮(26，27)之间，其中所述至少一个第二可移动定位滑轮(28)适于将所述第二丝线(32)从所述第二丝线(32)的所述第一位置携带到所述第二丝线(32)的所述第二位置。9.如权利要求6所述的用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·佐米尼，A·施密特，
申请(专利权)人：应用材料瑞士有限责任公司，
类型：新型
国别省市：瑞士;CH