本实用新型专利技术公开了一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，它包括真空气压监控装置、装载框架（1）、曝光箱（2）和装载箱（3），装载框架（1）包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）的底面上设置有上透光板（8），下框架（18）的凹槽（9）的底面上设置有下透光板（10），下框架（18）设置有抽真空通道、抽真空气孔（11）和抽真空接头（12），真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器。本实用新型专利技术的有益效果是：提高了曝光效率，装载工作方便、容易进行，能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板和上透光板之间的真空气压数值，从而保证曝光质量。
【技术实现步骤摘要】
一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置
本技术涉及一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置。
技术介绍
在FPC板制造工艺中，主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光显影、图像电镀极大工序。其中，在曝光显影工序中有一道外层曝光的工序，该工序使用一种手动曝光机。该手动曝光机包括一个玻璃台面，用以放置待曝光的FPC板，以及一个贴膜层，用以贴敷定位所述FPC板。玻璃台面与贴敷膜层之间，还设有抽气口，工作时，先将FPC板放置于所述玻璃台面上，再将贴敷膜层贴敷在所述FPC板的表面，然后通过所述抽气口抽气，开启光源，对待曝光的FPC板的下表面进行曝光。此装置仅能完成FPC板的单面曝光，对于需要双面曝光的FPC板需要进行两次曝光操作，效率低，耗时长。并且，目前使用的曝光机一般通过目测凭经验估计腔体内的的真空度，误差大，且无法控制腔体内的真空度，可能会引起真空度抽气过度而导致玻璃盖板爆裂，或者由于真空度太低，空气残留过多，造成曝光不良。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种方便装载、提高曝光效率、具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现:一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，它包括真空气压监控装置、装载框架、以及依次连接为一体的曝光箱和装载箱，曝光箱和装载箱上均设置有用于安装装载框架的水平导轨，曝光箱位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源，所述的装载框架包括上框架和下框架，上框架和下框架通过设置于后侧面上的合页连接为一体，上框架的底面上设置有上透光板，下框架的顶面上设置有容置上框架的凹槽，该凹槽的底面上设置有下透光板，下框架内部设置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之间的部分上设置有抽真空气孔，下框架上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头，抽真空接头通过抽真空通道与抽真空气孔连通，所述的下框架的左右两侧均设置有水平凸棱，下框架的水平凸棱滑动安装于曝光箱和装载箱的水平导轨内，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。所述的上框架的前端面上安装有把手。所述的上框架的前端面设置有凸块，下框架上设置有与凸块相配合的缺口，凸块的前端面与下框架的前端面相平齐，把手安装于凸块的前端面上。本技术具有以下优点:本技术可以同时对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光，从而提高了曝光效率，装载框架的结构设计使得装载装置与曝光光源安装结构为分体结构，装载工作方便、容易进行。通过设置真空气压监控装置，从而能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板和上透光板之间的真空气压数值，从而保证曝光质量；当抽真空达到要求的真空气压数值时，控制器会控制电磁阀关闭、控制真空泵停止工作，从而延长真空泵的使用寿命。【附图说明】图1为本技术的结构示意图图2为本技术的装载框架的俯视结构示意图图3为图2沿A-A截面的剖视图图4为本技术的下框架的剖视结构示意图图5为本技术曝光时的结构示意图图6为本技术真空气压监控装置的框图图中，1-装载框架，2-曝光箱，3-装载箱，4-水平导轨A，5_水平导轨B，6_曝光光源，7-合页，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空气孔，12-抽真空接头，13-水平凸棱，14-把手，15-凸块，16-缺口，17-上框架，18-下框架。【具体实施方式】下面结合附图对本技术做进一步的描述，本技术的保护范围不局限于以下所述:如图1所示，一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，它包括真空气压监控装置、装载框架1、以及依次连接为一体的曝光箱2和装载箱3，曝光箱2和装载箱3上均设置有用于安装装载框架I的水平导轨，曝光箱2内的水平导轨A4与装载箱3的水平导轨B5连接为连续的水平导轨，曝光箱2位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源6，如图2、图3、图4所示，所述的装载框架I包括上框架17和下框架18，上框架17和下框架18通过设置于后侧面上的合页7连接为一体，上框架17的底面上设置有上透光板8，下框架18的顶面上设置有容置上框架17的凹槽9,该凹槽9的底面上设置有下透光板10,上框架17和下框架18均为由四个边框围成的矩形框架，透光板的四个边缘均与对应侧的边框紧密固定连接，下框架18内部设置有抽真空通道，下框架18位于上透光板8和下透光板10之间的部分上设置有抽真空气孔11，下框架18上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头12，抽真空接头12通过抽真空通道与抽真空气孔11连通，所述的下框架18的左右两侧均设置有水平凸棱13，下框架18的水平凸棱13滑动安装于曝光箱2和装载箱3的水平导轨内，如图6所示，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头12通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架18的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。所述的凹槽9仅设置于非安装合页7的边框上，为了提高气密性，上框架17在安装合页7的边框的下表面设置有密封条，上框架17在非安装合页7的边框的凹槽9的侧面设置有密封条；为了进一步提高气密性，下框架18在安装合页7的边框的上表面设置有密封条，下框架18在非安装合页7的边框的侧面设置有密封条，所述的抽真气孔设置于下框架18非安装合页7的边框上。所述的上框架17的前端面上安装有把手14。所述的上框架17的前端面设置有凸块15，下框架18上设置有与凸块15相配合的缺口 16，凸块15的前端面与下框架18的前端面相平齐，把手14安装于凸块15的前端面上。本技术的工作过程如下:通过把手14翻开上框架17，上框架17绕合页7旋转打开，将待曝光的贴有感光膜的薄板放置于下框架18的下透光板10上部，然后盖合上框架17，由真空泵通过抽真空气孔11对下透光板10和上透光板8之间进行抽真空，由上透光板8和下透光板10压紧薄板，此时，操作者可使用滚筒、压板等装置在上透光板8上滚压或推压，以将下透光板10、薄板、上透光板8之间的空气完全抽出，气压传感器实时监测抽真空通道内的气压变化，并将感应信号传输至控制器，当抽真空通道内的气压达到设定值时，控制器控制关闭电磁阀、真空泵停止工作，此时便可推动下框架18沿导轨滑动，整个装载框架I进入曝光箱2，由分别位于装载框架I上部和下部的光源对装载于上透光板8和下透光板10之间的薄板的两个表面同时进行曝光，如图5所示。在此过程中，若气压传感器监测到抽真空通道内的气压变化至未达到设定值时，控制器控制真空泵开始工作、打开电磁阀，对下透光板10和上透光板8之间进行抽真空，保证下透光板10和上透光板8之间的真空气压数值，从而保证曝光质量。本技术可以同时对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光，从而提高了曝光效率，装载框架I的结构设计使得装载装置与曝光光源6安装结构为分体结构，装载工作方便、容易进行，同时能够满足真空条件的工况需求。本技术通过设置本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，其特征在于：它包括真空气压监控装置、装载框架（1）、以及依次连接为一体的曝光箱（2）和装载箱（3），曝光箱（2）和装载箱（3）上均设置有用于安装装载框架（1）的水平导轨，曝光箱（2）位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源（6），所述的装载框架（1）包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）和下框架（18）通过设置于后侧面上的合页（7）连接为一体，上框架（17）的底面上设置有上透光板（8），下框架（18）的顶面上设置有容置上框架（17）的凹槽（9），该凹槽（9）的底面上设置有下透光板（10），下框架（18）内部设置有抽真空通道，下框架（18）位于上透光板（8）和下透光板（10）之间的部分上设置有抽真空气孔（11），下框架（18）上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头（12），抽真空接头（12）通过抽真空通道与抽真空气孔（11）连通，所述的下框架（18）的左右两侧均设置有水平凸棱（13），下框架（18）的水平凸棱（13）滑动安装于曝光箱（2）和装载箱（3）的水平导轨内，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头（12）通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架（18）的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。...
【技术特征摘要】
1.一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，其特征在于:它包括真空气压监控装置、装载框架(I)、以及依次连接为一体的曝光箱(2)和装载箱(3)，曝光箱(2)和装载箱(3)上均设置有用于安装装载框架(I)的水平导轨，曝光箱(2)位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源(6)，所述的装载框架(I)包括上框架(17)和下框架(18)，上框架(17)和下框架(18)通过设置于后侧面上的合页(7)连接为一体，上框架(17)的底面上设置有上透光板(8)，下框架(18)的顶面上设置有容置上框架(17)的凹槽(9)，该凹槽(9)的底面上设置有下透光板(10)，下框架(18)内部设置有抽真空通道，下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之间的部分上设置有抽真空气孔(11)，下框架(18)上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头(12)，抽真空接头(12)通过抽真空通道与抽真空气孔(11)连通，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘维军，郭宝贵，
申请(专利权)人：遂宁市维海电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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