一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置包括：包括依次连接的信号接收对比模块、信号产生模块和信号驱动模块；其中，所述信号接收对比模块，用于接收参考信号和测量信号经过转换比较后给出脉冲信号及正交脉冲信号的数量和方向；所述信号产生模块，用于接收所述信号接收对比模块给出的所有信息，然后产生正确数量和方向的所述正交脉冲信号；所述信号驱动模块，发送所述正交脉冲信号至信号线上。本实用新型专利技术将激光测量信号转换为正交脉冲信号输出，控制器可以直接采集干涉仪的位移测量数据，并省略了总线控制器等不必要得环节，使系统结构简单化，提高激光干涉仪在纳米级精度测量应用中的灵活性与通用型。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置
本技术涉及激光光学
，特别涉及一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置。
技术介绍
双频激光干涉仪具有内在的高精度测量特征，激光干涉仪测量分辨率取决于激光器的波长，国际上通用的氦氖激光器波长为633nm，远比一般编码尺的栅距精细的多。通过电子细分，激光干涉仪很容易实现纳米级乃至亚纳米级分辨率，因此在高精度位移测量领域有着广泛的应用。两相正交脉冲输出信号广泛应用在工业测量中，通过两个信号就可以判断信号的方向和相对位移。如编码尺输出信号包括A、B两个相位相差四分之一周期的信号，通过判断A、B信号的相对位置就可以确定编码尺的方向，通过计数A、B的脉冲个数就可以确定位移。在现有的位移测量反馈系统中，运动控制器普遍采用两相正交脉冲信号接口。在一些纳米级精度位移测量系统中，激光干涉仪作为反馈系统，除了保证有高精度的测量能力，还需要有灵活的接口形式。目前的激光干涉仪测量系统，大多采用控制总线的方式将位移数据传输到运动控制器，这使得整个系统变得复杂，并且通用性差。因此本技术将激光测量信号转换为正交脉冲信号输出，以提高激光干涉仪在纳米级测量精本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置，其特征在于，包括依次连接的信号接收对比模块、信号产生模块和信号驱动模块；其中，所述信号接收对比模块，用于接收参考信号和测量信号经过转换比较后给出脉冲信号及正交脉冲信号的数量和方向；所述信号产生模块，用于接收所述信号接收对比模块给出的所有信息，然后产生正确数量和方向的所述正交脉冲信号；所述信号驱动模块，发送所述正交脉冲信号至信号线上。

【技术特征摘要】
1.一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置，其特征在于，包括依次连接的信号接收对比模块、信号产生模块和信号驱动模块；其中， 所述信号接收对比模块，用于接收参考信号和测量信号经过转换比较后给出脉冲信号及正交脉冲信号的数量和方向； 所述信号产生模块，用于接收所述信号接收对比模块给出的所有信息，然后产生正确数量和方向的所述正交脉冲信号； 所述信号驱动模块，发送所述正交脉冲信号至信号线上。2.如权利要求1所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置，其特征在于，所述信号接收对比模块包括: 信号接收模块，用于接收参考信号和测量信号，并将参考信号和测量信号转换成电信号，进而转换成脉冲信号； 与所述信号接收模块连接的信号细分模块，用于对参考信号和测量信号进行电子细分； 与所述信号细分模块连接的鉴相模块，用于比较参考信号和测量信号出现的次数和先后顺序，确定正交脉冲信号产生的个数和方向。3.如权利要求2所述的正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置，其特征在于，所述信号产生模块包括: 与所述鉴相模块连接的正交信号产生模块，用于根据所述鉴相模块生成相应的所述正交脉冲信号输出； 与所述正交信号产生模块连接的毛刺滤波模块，用于滤出所述正交信号产生模块产生的毛刺，并将滤波后的所述正交脉冲信号发送至信号驱动模块； 所述信号驱动模块，用于将所述滤波后的正交脉冲信号发送至信号线上。...

【专利技术属性】
技术研发人员：高为官，池峰，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31