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本实用新型提供一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置包括：包括依次连接的信号接收对比模块、信号产生模块和信号驱动模块；其中，所述信号接收对比模块，用于接收参考信号和测量信号经过转换比较后给出脉冲信号及正交脉冲信号的数量和方向；所述信号产生...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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