一种基于可见到近红外波段吸收膜系结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于可见到近红外波段吸收膜系结构，在任意衬底上采用气相沉积、液相沉积依次生长金属薄膜层、介质薄膜层，其后利用气相沉积或气相沉积结合退火工艺在介质薄膜层上生长金属颗粒无序分布层。其中金属薄膜层厚度为80nm-1μm，介质薄膜层厚度为1nm-200nm，金属颗粒无序分布层中等效薄膜层平均高度为5nm-100nm，颗粒平均尺寸为10nm-200nm，金属颗粒表面覆盖率为3%-90%。此可见到近红外波段吸收膜系结构具有在可见到近红外特定波段吸收率达到99%的近完美吸收特性。本实用新型专利技术的优点是：工艺简单，成本低，偏正不敏感，角度不敏感，可控性好，协调性高，可大面积生长，对衬底无要求、纳米加工技术成熟。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种基于可见到近红外波段吸收膜系结构
本技术涉及一种吸收膜，具体指金属薄膜层-介质薄膜层-金属颗粒无序分布层多层膜系结构。
技术介绍
随着信息技术的高速发展，电磁材料对当前的信息、国防、经济、医学等领域产生了愈来愈广泛而深度的影响。近年来，新型人工电磁材料中的近完美吸收得到了越来越广泛的关注，并应用于热辐射器、探测器、传感器、光伏、空间分辨等领域。本技术针对红外波段近完美吸收技术提出了可利用于探测器、空间分辨等领域的多层周期性膜系的制备方法。一直以来，在金属-介电层-金属多层薄膜表面刻蚀周期性结构是近完美吸收技术中的主流思想。而在可见到近红外波段实现近完美吸收，材料表面的周期结构必须要在数百纳米的范围内，在金属表面的小周期的高精度的是很难进行大面积的刻蚀，此外这种蚀刻需要很平的表面，成为阻碍可见到近红外特定波段近完美吸收技术发展的一大障碍。在探测器、光伏、空间分辨领域中，大面积、简单、可控和兼容性好的制备方法是其产业化的重要标志。而本技术针对表面周期性结构进行调整，采用无序结构金属纳米颗粒，实现在可见到近红外特定波段近完美吸收的效果，具有对入射光偏正不敏感，角度不敏感，工艺简本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于可见到近红外波段吸收膜系结构，其结构为：在衬底（1）上依次是金属薄膜层（2）、介质薄膜层（3）和金属颗粒无序分布层（4），其特征在于：所述的金属薄膜层（2）是金、银、铂、铝或铜薄膜层，厚度为80nm‑1μm；所述的介质薄膜层（3）是指对可见及近红外波段透明的薄膜层，薄膜层的厚度为1nm‑200nm；所述的金属颗粒无序分布层（4）为金、银、铂、铝或铜纳米颗粒无序分布的等效薄膜层，等效薄膜层的平均高度为5nm‑100nm，金属颗粒的平均尺寸为10nm‑200nm，金属颗粒的表面覆盖率为3%‑90%。

【技术特征摘要】
1.一种基于可见到近红外波段吸收膜系结构，其结构为:在衬底(I)上依次是金属薄膜层(2 )、介质薄膜层(3 )和金属颗粒无序分布层(4 )，其特征在于: 所述的金属薄膜层(2)是金、银、钼、铝或铜薄膜层，厚度为SOnm-1 μπι; 所述的介质薄膜层(3)是指对可...

【专利技术属性】
技术研发人员：张云，陈鑫，孙艳，魏调兴，董文静，张克难，戴宁，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：上海;31