一种晶盒仓储柜搁架的配置方法技术

本发明专利技术公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，包括以下步骤：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3、控制单元控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位未存满，则机械手将晶盒配置到同类型的晶盒位上；如同类型的晶盒位已存满，则机械手将晶盒配置到仓储柜搁架上其他已预设优先级的晶盒位上，配置晶盒顺序按晶盒位的优先级的顺序排列。本发明专利技术通过检测单元获取晶盒类型，同时控制单元判断同类型的晶盒位是否已存满，通过机械手可将晶盒配置到其他已预设优先级的晶盒位上，提高了仓储柜搁架的利用率，使仓储柜搁架的使用更加灵活。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体
，特别涉及半导体晶盒仓储柜搁架的配置方法。
技术介绍
由于集成电路的发展速度快，晶圆厂建设成本高，同时半导体制造设备价格昂贵，所以晶盒厂对半导体设备的有效利用率的要求也不断提高，其中，半导体设备包括立式氧化炉、低温退火炉、高温退火炉等批处理设备，而半导体晶圆被放在FOUP(晶圆传送盒，简称晶盒)中，每个FOUP能够携带25个300毫米直径的晶圆。现有仓储柜搁架一般设有16个晶盒位，每个晶盒位配置一晶盒，晶盒及晶盒位通常包括4种类型，分别为Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor。通常仓储柜搁架的16个晶盒位对应配置的晶盒位的类型为:8个Product+Ι个Dummy+5个Extra Dummy+2个Monitor,即4种类型晶盒位,共16个晶盒位。如图1所示，图1为现有晶盒仓储柜搁架的配置方法步骤流程图。现有技术中，将晶盒配置在仓储柜搁架上的步骤为:步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；其中，晶盒包括4种类型，即Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor中的任意一种；步本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，仓储柜搁架上设有固定数量的不同类型的晶盒位，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；步骤S2、所述控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3、所述控制单元发出命令控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位未存满，则机械手将晶盒配置到同类型的晶盒位上；如同类型的晶盒位已存满，则机械手将晶盒配置到仓储柜搁架上其他已预设优先级的晶盒位上，配置晶盒顺序按晶盒位的优先级的顺序排列，直至将待置晶盒配置完毕。

【技术特征摘要】
1.一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，仓储柜搁架上设有固定数量的不同类型的晶盒位，其特征在于，包括以下步骤: 步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元； 步骤S2、所述控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满； 步骤S3、所述控制单元发出命令控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位未存满，则机械手将晶盒配置到同类型的晶盒位上；如同类型的晶盒位已存满，则机械手将晶盒配置到仓储柜搁架上其他已预设优先级的晶盒位上，配置晶盒顺序按晶盒位的优先级的顺序排列，直至将待置晶盒配置完毕。2.根据权利要求1所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，若仓储柜搁架上的晶盒被运出，则所述控制单元将该晶盒位恢复到默认配置的类型。3.根据权利要求1所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，所述控制单元对仓储柜搁架上同类...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟结实，刘建涛，黄扬君，张立超，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11